CCD утасны диаметр мэдрэгч нь хагас дамжуулагч хавтангийн процессыг сайжруулахад тусалдаг

Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл нанометрийн эрин үе рүү орохын хэрээр чипийн гол тээвэрлэгч болох вафли нь боловсруулалт болон тээвэрлэлтийн явцад байрлалын нарийвчлал болон өнцгийн тогтвортой байдлаараа дамжуулан гарц болон өртгийг шууд тодорхойлдог.

 

Зүсэх, үрэх, бүрэх, хэрчих, урьдчилан савлах зэрэг үйл явцын туршид вафли нь механик чичиргээ, дамжуулалтын алдаа, багаж хэрэгслийн хазайлтаас болж жижиг хазайлт, өнцгийн хазайлт, замын хазайлтад өртөмтгий байдаг. Микрон түвшний хазайлт ч гэсэн зүсэлтийн хагарал, давхаргын хазайлт, холболтын эвдрэл зэрэг массын асуудалд хүргэж, үйлдвэрлэлийн хүчин чадал, гарцын сайжруулалтыг эрс хязгаарладаг. Уламжлалт механик байрлал болон гараар тохируулах аргууд нь нарийвчлал багатай, удаан хариу үйлдэл үзүүлдэг тул өндөр хурдтай массын үйлдвэрлэлд дасан зохицож, дэвшилтэт үйл явцын шаардлагыг хангаж чаддаггүй.

 

Энэхүү нөхцөл байдлын улмаас Lanbao CCD утасны диаметрийн залруулгын мэдрэгч нь хагас дамжуулагч хавтангийн үйлдвэрлэлийн процесст нарийн тохируулга болон хазайлтыг засах гол тулгуур төхөөрөмж болсон бөгөөд холбоо барихгүй, өндөр нарийвчлалтай, динамик бодит цагийн залруулгын гол чадвараараа автоматжуулсан нарийвчлалтай үйлдвэрлэлийн найдвартай баталгааг өгдөг.

 

Ашиглалтын явцад дамжуулагч нь ваферын ирмэгийг бүрхсэн нэгэн жигд зэрэгцээ гэрлийн хөшиг үүсгэдэг. Хүлээн авах төгсгөлийн CCD матриц нь хаагдсан гэрэл-харанхуйн хил хязгаарыг барьж, ваферын офсет утгыг бодит цаг хугацаанд гаргаж, тэдгээрийг үйлдвэрлэлийн шугамын хяналтын системд буцааж дамжуулж, UVW платформыг миллисекундын түвшний динамик залруулгыг дуусгахад хүргэдэг бөгөөд хэмжилт-тооцоо-залруулгын хаалттай гогцооны хяналтыг бий болгодог. Бүхэл бүтэн процесс нь зөвхөн өгөгдөлд суурилсан байрлал мэдрэгчийг гүйцэтгэдэг бөгөөд гэрэл зураг, дүрслэл эсвэл согог илрүүлэх шаардлагагүй. Энэ нь илүү хурдан хариу үйлдэл, илүү хүчтэй тогтвортой байдал, бага өртөгтэй бөгөөд хагас дамжуулагч массын үйлдвэрлэлийн хувилбаруудтай төгс тохирч байна.

 

Lanbao CCD утасны диаметрийн залруулгын мэдрэгч нь зорилтот оновчлолд хамрагдаж, ±1 μм-ийн хэт өндөр цуглуулгын нарийвчлалд хүрсэн бөгөөд энэ нь 8/12 инчийн вафер ирмэгийн жижиг шилжилт болон өнцгийн хазайлтыг нарийн тодорхойлж чаддаг. Динамик температурын зөрүүний нөхөн олговрын алгоритмаар тоноглогдсон бөгөөд ±8 μм/℃ хүртэл бага температурын коэффициенттэй тул цехийн температурын хэлбэлзэл, бага зэргийн чичиргээ болон тоосны хөндлөнгийн оролцоог үр дүнтэй эсэргүүцдэг. Энэ нь урт хугацааны тасралтгүй ажиллагааны үед зөрүү эсвэл тохируулгын алдаагүйгээр тогтвортой өгөгдлийг хадгалдаг. 24/7 тасралтгүй өндөр хурдтай динамик залруулгыг дэмжиж, үйлдвэрлэлийн шугамын урсгалын үр ашгийг мэдэгдэхүйц сайжруулж, нарийвчлал болон үр ашгийг тэнцвэржүүлдэг нанометрийн түвшний тохируулгын нарийвчлалыг баталгаажуулдаг.

 

Олон жилийн турш хуримтлагдсан үйлдвэрлэлийн мэдрэгчийн технологитой Lanbao CCD утасны диаметрийн залруулгын мэдрэгч нь хагас дамжуулагч массын үйлдвэрлэлийн хатуу шаардлагыг яг таг хангаж, вафлийн залруулгад гурван үндсэн давуу талыг санал болгодог.

• Өндөр нарийвчлалтай динамик залруулга:Хазайлтыг засахын тулд миллисекундын түвшний хариу үйлдэл үзүүлэх замаар захын утасны диаметр болон байршлын өгөгдлийг бодит цаг хугацаанд цуглуулдаг. Энэ нь статик тэгшлэлтийн хоцрогдолыг арилгаж, өндөр хурдны автоматжуулсан үйлдвэрлэлийн шугамд дасан зохицдог.

• Өндөр тогтвортой байдал болон хөндлөнгийн оролцоогүй ажиллагаа:Гялбааны эсрэг шүүлтүүрийн модулиар тоноглогдсон тул хагас дамжуулагч цехүүдийн өндөр цэвэр байдал, өндөр хөндлөнгийн оролцоотой ажиллах нөхцөлд дасан зохицож, 3000 люкс гэрэлтүүлгийн дор тогтвортой ажилладаг.

• Хүрэлцэхгүй, гэмтэлгүй дасан зохицох:Оптик гэрлийн хөшигний холбоо барихгүй хэмжилтийг ашиглан вафлийн гадаргуу болон ирмэгтэй харьцахаас зайлсхийдэг. Энэ нь хэт нимгэн вафли (≤200 μм)-д зураас болон шахалтын гэмтэл учруулахаас бүрэн сэргийлж, вафлийн бүрэн бүтэн байдлыг хангадаг.

 

Одоогийн байдлаар Lanbao CCD утасны диаметрийн залруулгын мэдрэгчийг вафлины урьдчилан тохируулга, угсралтын шугамын дамжуулалтын залруулга, жижиглэхээс өмнөх тохируулга, савлахаас өмнөх байрлал зэрэг гол процессуудад өргөн ашиглаж байна. Энэ нь бодит цагийн байрлалын хазайлтын хяналт, өгөгдлийн хариу үйлдэл, динамик залруулгын хаалттай гогцооны хяналтыг гүйцэтгэж, вафли нь үйл явцын туршид стандарт боловсруулалтын байрлал болон дамжуулалтын траекторийг хадгалахыг баталгаажуулдаг. Энэ нь тохируулгын гажигтай бүтээгдэхүүн, материалын алдагдал, тохируулгын гажигтай байдлаас үүдэлтэй процессын дахин боловсруулалт зэрэг массын үйлдвэрлэлийн асуудлыг үндсэндээ шийдвэрлэдэг. Хэмжсэн өгөгдлүүдээс харахад Lanbao CCD залруулгын шийдлийн тусламжтайгаар гараар тохируулгын зардлыг 80% -иар бууруулж, тоног төхөөрөмжийн зогсолт мэдэгдэхүйц буурч, аж ахуйн нэгжүүдэд зардлыг бууруулах, үр ашгийг сайжруулах, чанарыг сайжруулах гэсэн хоёр зорилгод хүрэхэд тусалдаг.

 

 

 

Аж үйлдвэрийн мэдрэгчийн чиглэлээр гүнзгий оролцдог өндөр технологийн аж ахуйн нэгж болох Lanbao Sensing нь хагас дамжуулагч ухаалаг үйлдвэрлэлийн бэрхшээлтэй цэгүүдийг шийдвэрлэх, өндөр зэрэглэлийн үйлдвэрлэлд зориулсан залруулга, хүрээ мэдрэгч төхөөрөмжийг хөгжүүлэхэд анхаарлаа хандуулдаг. Түүний CCD утасны диаметрийн залруулгын мэдрэгчийг зөвхөн вафлийн нарийн боловсруулалтын хувилбаруудад зориулж тохируулсан бөгөөд хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн өндөр нарийвчлалтай, өндөр тогтвортой байдал, өндөр найдвартай массын үйлдвэрлэлийн стандартыг яг таг хангасан. EtherCAT аж үйлдвэрийн автобусыг дэмжсэнээр энэ нь янз бүрийн автомат вафлийн үйлдвэрлэлийн шугамуудтай саадгүй холбогдож чадна. Ирээдүйд Lanbao Sensing нь хагас дамжуулагчийн салбарт байр сууриа гүнзгийрүүлж, мэдрэгчийн залруулгын технологи болон бүтээгдэхүүний гүйцэтгэлийг давтан оновчтой болгож, Хятадын хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн томоохон хэмжээний, нарийвчлалтай, үр ашигтай шинэчлэлтийг хүчирхэг аж үйлдвэрийн мэдрэгчийн чадавхаар хангах болно.