ПЗС-датчыкі дыяметра дроту паляпшаюць мадэрнізацыю працэсаў вырабу паўправадніковых пласцін

Па меры таго, як вытворчасць паўправаднікоў уваходзіць у нанаметровую эру, пласціны, як асноўныя носьбіты чыпаў, непасрэдна вызначаюць выхад і кошт праз дакладнасць іх размяшчэння і вуглавую кансістэнцыю падчас апрацоўкі і транспарціроўкі.

 

Падчас нарэзкі, шліфоўкі, пакрыцця, нарэзкі кубікамі, выраўноўвання пасля папярэдняй упакоўкі і іншых працэсаў пласціны схільныя да нязначных зрушэнняў, вуглавых нахілаў і адхіленняў траекторыі з-за механічнай вібрацыі, памылак перадачы і адхіленняў інструментаў. Нават адхіленні на ўзроўні мікрона могуць прывесці да праблем з масай, такіх як сколы пры рэзцы, зрушэнне накладання і пашкоджанне злучэння, што сур'ёзна абмяжоўвае вытворчыя магутнасці і паляпшэнне выхаду. Традыцыйныя метады механічнага пазіцыянавання і ручнога выраўноўвання характарызуюцца нізкай дакладнасцю і павольным водгукам, не адаптуюцца да высакахуткаснай масавай вытворчасці і не адпавядаюць патрабаванням перадавых працэсаў.

 

У сувязі з гэтым, датчык карэкцыі дыяметра дроту Lanbao CCD стаў асноўнай прыладай падтрымкі для дакладнага выраўноўвання і карэкцыі адхіленняў у працэсах вытворчасці паўправадніковых пласцін, дзякуючы сваім асноўным магчымасцям бескантактавай, высокадакладнай і дынамічнай карэкцыі ў рэжыме рэальнага часу. Ён забяспечвае надзейныя гарантыі аўтаматызаванай дакладнай вытворчасці.

 

Падчас працы перадатчык генеруе аднастайную паралельную светлавую заслону, якая пакрывае край пласціны. ПЗС-матрыца прыёмнага боку фіксуе заблакаваную мяжу святла і цемры, выводзіць значэнні зрушэння пласціны ў рэжыме рэальнага часу, перадае іх назад у сістэму кіравання вытворчай лініяй і прыводзіць у дзеянне платформу UVW для выканання дынамічнай карэкцыі на мілісекундным узроўні, утвараючы замкнёны цыкл кіравання вымярэннем — разлікам — карэкцыяй. Увесь працэс выконвае толькі вымярэнне становішча на аснове дадзеных, без фатаграфавання, візуалізацыі або выяўлення дэфектаў. Гэта забяспечвае больш хуткую рэакцыю, больш высокую стабільнасць і меншы кошт, ідэальна адпавядаючы сцэнарыям масавай вытворчасці паўправаднікоў.

 

Датчык карэкцыі дыяметра дроту CCD Lanbao прайшоў мэтанакіраваную аптымізацыю, дасягнуўшы звышвысокай дакладнасці збору ±1 мкм, што дазваляе дакладна фіксаваць нязначныя зрушэнні і вуглавыя адхіленні краёў пласцін памерам 8/12 цалі. Абсталяваны алгарытмам дынамічнай кампенсацыі тэмпературнага дрэйфу, ён мае тэмпературны каэфіцыент да ±8 мкм/℃, эфектыўна супрацьстаячы ваганням тэмпературы ў майстэрні, нязначным вібрацыям і перашкодам ад пылу. Ён падтрымлівае стабільныя дадзеныя без дрэйфу або памылак каліброўкі падчас працяглай бесперапыннай працы. Падтрымліваючы кругласутачную бесперапынную дынамічную карэкцыю з высокай хуткасцю, ён забяспечвае дакладнасць выраўноўвання на нанаметровым узроўні, адначасова значна паляпшаючы эфектыўнасць патоку вытворчай лініі, дакладнасць і эфектыўнасць балансавання.

 

Дзякуючы шматгадоваму назапашанаму прамысловаму вымярэнню, датчык карэкцыі дыяметра дроту Lanbao CCD прапануе тры асноўныя перавагі ў карэкцыі пласцін, дакладна задавальняючы жорсткія патрабаванні масавай вытворчасці паўправаднікоў:

• Высокадакладная дынамічная карэкцыя:Збірае дадзеныя аб дыяметры і становішчы краёвага дроту ў рэжыме рэальнага часу з рэакцыяй на ўзроўні мілісекунды для карэкцыі адхіленняў. Гэта ліквідуе затрымку статычнага выраўноўвання і адаптуецца да высакахуткасных аўтаматызаваных вытворчых ліній.

• Высокая стабільнасць і абарона ад перашкод:Абсталяваны модулем антыблікавага фільтра, ён стабільна працуе пры асвятленні 3000 люкс, адаптуючыся да ўмоў працы з высокай чысцінёй і высокім узроўнем перашкод у паўправадніковых майстэрнях.

• Бескантактавая і безпашкоджавая адаптацыя:Выкарыстоўвае бескантактавае вымярэнне з дапамогай аптычнай светлавой заслоны, пазбягаючы кантакту з паверхняй і краямі пласціны. Гэта цалкам прадухіляе драпіны і пашкоджанні ад экструзіі на ультратонкіх пласцінах (≤200 мкм), забяспечваючы цэласнасць пласціны.

 

У цяперашні час датчык карэкцыі дыяметра дроту Lanbao CCD шырока выкарыстоўваецца ў такіх ключавых працэсах, як папярэдняе выраўноўванне пласцін, карэкцыя перадачы на ​​зборачнай лініі, выраўноўванне перад нарэзкай і пазіцыянаванне перад упакоўкай. Ён можа выконваць маніторынг адхіленняў становішча ў рэжыме рэальнага часу, зваротную сувязь па дадзеных і дынамічную карэкцыю кіравання ў замкнёным контуры, гарантуючы, што пласціны падтрымліваюць стандартныя пазіцыі апрацоўкі і траекторыі перадачы на ​​працягу ўсяго працэсу. Ён фундаментальна вырашае праблемы масавай вытворчасці, такія як дэфектныя вырабы, страты матэрыялаў і перапрацоўка працэсу, выкліканыя зрушэннямі выраўноўвання. Вымераныя дадзеныя паказваюць, што з дапамогай рашэння для карэкцыі CCD Lanbao выдаткі на ручную каліброўку зніжаюцца на 80%, а час прастою абсталявання значна скарачаецца, што дапамагае прадпрыемствам дасягнуць двайных мэтаў: зніжэння выдаткаў, павышэння эфектыўнасці і павышэння якасці.

 

 

 

Як высокатэхналагічнае прадпрыемства, якое глыбока займаецца прамысловымі датчыкамі, Lanbao Sensing засяроджваецца на вырашэнні праблемных момантаў у інтэлектуальнай вытворчасці паўправаднікоў і распрацоўцы карэкцыйных і далёкамерных датчыкаў, прызначаных для высокакласнай вытворчасці. Яе CCD-датчык карэкцыі дыяметра дроту спецыяльна распрацаваны для сцэнарыяў дакладнай апрацоўкі пласцін, дакладна адпавядаючы стандартам масавай вытворчасці паўправадніковай прамысловасці высокай дакладнасці, высокай стабільнасці і высокай надзейнасці. Падтрымліваючы прамысловую шыну EtherCAT, ён можа бесперашкодна падключацца да розных аўтаматызаваных ліній па вытворчасці пласцін. У будучыні Lanbao Sensing будзе працягваць паглыбляць сваю прысутнасць у паўправадніковым сектары, ітэратыўна аптымізаваць тэхналогію карэкцыі датчыкаў і прадукцыйнасць прадукцыі, а таксама пашыраць маштабную, дакладную і эфектыўную мадэрнізацыю паўправадніковай прамысловасці Кітая з дапамогай магутных магчымасцей прамысловых датчыкаў.