Li-sensor tsa Bophara ba Wire tsa CCD li Matlafatsa Ntlafatso ea Mekhoa ea Semiconductor Wafer

Ha tlhahiso ea li-semiconductor e kena mehleng ea nanometer, li-wafer, e le lijari tsa mantlha tsa li-chips, li khetholla ka kotloloho chai le litšenyehelo ka ho nepahala ha tsona le botsitso ba angular nakong ea ts'ebetso le lipalangoang.

 

Nakong ea ho seha, ho sotha, ho koahela, ho arola, ho lokisa liphutheloana pele ho paka le lits'ebetso tse ling, li-wafer li sekamela ho hong ho honyenyane, ho sekamela ha angular le ho kheloha ha tsela ka lebaka la ho thothomela ha mechini, liphoso tsa phetisetso le ho kheloha ha lisebelisoa. Esita le ho kheloha ha boemo ba micron ho ka lebisa mathateng a boima joalo ka ho khaola li-chipping, ho hloleha ha ho koahela le ho hloleha ha ho kopanya, ho thibela haholo bokhoni ba tlhahiso le ntlafatso ea chai. Mekhoa ea setso ea ho beha mechine le ho hokahanya ka letsoho e na le ho nepahala ho tlase le karabelo e liehang, e hlōleha ho ikamahanya le tlhahiso ea boima e potlakileng le ho fihlela litlhoko tsa lits'ebetso tse tsoetseng pele.

 

Khahlanong le boemo bona, sensor ea tokiso ea bophara ba terata ea Lanbao CCD e fetohile sesebelisoa sa mantlha se tšehetsang bakeng sa ho hokahanya ka nepo le tokiso ea ho kheloha lits'ebetsong tsa tlhahiso ea wafer ea semiconductor, ka bokhoni ba eona ba mantlha ba ho se kopane, ho nepahala ho phahameng le tokiso ea nako ea sebele e matla. E fana ka litiisetso tse tšepahalang bakeng sa tlhahiso ea ho nepahala e iketsahalletseng.

 

Nakong ea ts'ebetso, transmitter e hlahisa lesira le tšoanang la khanya le koahelang bohale ba wafer. Matrix ea CCD ea pheletso e amohelang e hapa moeli o koetsoeng oa leseli le lefifi, e ntša boleng ba wafer offset ka nako ea sebele, e li khutlisetsa tsamaisong ea taolo ea mohala oa tlhahiso, 'me e khanna sethala sa UVW ho phethela tokiso e matla ea boemo ba millisecond, e etsa taolo e koetsoeng ea tekanyo - lipalo - tokiso. Ts'ebetso eohle e etsa feela ho lemoha boemo bo thehiloeng ho data, ntle le ho nka lifoto, ho nka litšoantšo kapa ho lemoha liphoso. E fana ka karabelo e potlakileng, botsitso bo matla le litšenyehelo tse tlase, e bapisa hantle maemo a tlhahiso ea bongata ba semiconductor.

 

Sensor ea tokiso ea bophara ba terata ea Lanbao CCD e fetile ntlafatsong e reretsoeng, e fihlella ho nepahala ho phahameng haholo ha pokello ea ±1 μm, e ka hapang ka nepo libaka tse nyane le ho kheloha ha angular ea mathoko a wafer a 8/12-inch. E na le algorithm ea puseletso ea ho kheloha ha mocheso o matla, e ithorisa ka coefficient ea mocheso e tlase ho ±8 μm/℃, e hanela ka katleho ho feto-fetoha ha mocheso oa workshop, ho thothomela ho honyenyane le tšitiso ea lerōle. E boloka data e tsitsitseng ntle le liphoso tsa ho kheloha kapa tsa ho lekanya nakong ea ts'ebetso e tsoelang pele ea nako e telele. E tšehetsa tokiso ea matla e matla ea lebelo le phahameng ea 24/7 e sa sitisoeng, e netefatsa ho nepahala ha ho hokahanya boemo ba nanometer ha e ntse e ntlafatsa haholo katleho ea phallo ea mola oa tlhahiso, ho leka-lekanya ho nepahala le katleho.

 

Ka lilemo tse ngata tsa theknoloji ea ho lemoha ea indasteri e bokelletsoeng, sensor ea tokiso ea bophara ba terata ea Lanbao CCD e fana ka melemo e meraro ea mantlha tokisong ea wafer, e fihlela hantle litlhoko tse thata tsa tlhahiso ea bongata ba semiconductor:

• Tokiso e matla e nepahetseng haholo:E bokella bophara ba terata e ka thoko le data ya boemo ka nako ya sebele, ka karabelo ya boemo ba millisecond bakeng sa tokiso ya ho kheloha. E tlosa ho dieha ha ho otloloha ha ho tsitsisa mme e ikamahanya le mela ya tlhahiso e iketsang ka lebelo le phahameng.

• Ts'ebetso e phahameng ea botsitso le ho thibela tšitiso:E hlomelitsoe ka mojule oa sefe o thibelang khanya e phatsimang, e sebetsa ka botsitso tlas'a khanya ea 3000 lux, e ikamahanya le bohloeki bo phahameng le maemo a sitisang haholo a li-workshop tsa semiconductor.

• Ho ikamahanya le maemo a sa amaneng le a sa senyeheng:E amohela tekanyo e sa amaneng le lesira la leseli la optical, e qoba ho kopana le bokaholimo ba wafer le bohale. E thibela ka ho feletseng ho ngoatheha le tšenyo ea ho tsoa ho li-wafer tse tšesaane haholo (≤200 μm), e netefatsa botšepehi ba wafer.

 

Hajoale, sensor ea tokiso ea bophara ba terata ea Lanbao CCD e sebelisoa haholo lits'ebetsong tsa bohlokoa tse kang ho lokisa li-wafer pele ho nako, tokiso ea phetisetso ea mola oa kopano, ho lokisa li-dicing pele ho nako le ho beha liphutheloana pele ho nako. E ka etsa tlhahlobo ea ho kheloha ha boemo ka nako ea sebele, karabelo ea data le tokiso e matla taolo e koetsoeng, ho netefatsa hore li-wafer li boloka maemo a tloaelehileng a ts'ebetso le litsela tsa phetisetso nakong eohle ea ts'ebetso. E rarolla mathata a tlhahiso ea bongata ka botlalo joalo ka lihlahisoa tse nang le sekoli, tahlehelo ea thepa le ho lokisa bocha ts'ebetso e bakoang ke li-offset tsa alignment. Lintlha tse lekantsoeng li bontša hore ka tharollo ea tokiso ea Lanbao CCD, litšenyehelo tsa ho lekanya ka letsoho li fokotsoa ka 80%, 'me nako ea ho se sebetse ha lisebelisoa e fokotsoa haholo, e thusang likhoebo ho fihlela lipheo tse peli tsa phokotso ea litšenyehelo, ntlafatso ea bokhoni le ntlafatso ea boleng.

 

 

 

Jwalo ka kgwebo ya theknoloji e hodimo e amehang ka botebo ho utlwang diindasteri, Lanbao Sensing e shebane le ho sebetsana le dintlha tse bohloko tlhahisong e bohlale ya semiconductor le ho ntshetsa pele disebediswa tsa ho lokisa le ho lemoha tse fapaneng tse etseditsweng tlhahiso e hodimo. Sensor ya yona ya ho lokisa bophara ba terata ya CCD e etseditswe maemo a ho sebetsana le ho nepahala ha wafer, e fihlella hantle maemo a ho nepahala, botsitso bo hodimo le tshepo e hodimo ya tlhahiso ya bongata ya indasteri ya semiconductor. Ka ho tshehetsa bese ya indasteri ya EtherCAT, e ka hokela ka ho se thekesele mela e fapaneng ya tlhahiso ya wafer e iketsang. Nakong e tlang, Lanbao Sensing e tla tswela pele ho tebisa boteng ba yona lefapheng la semiconductor, e ntlafatse theknoloji ya ho lokisa kutlo le tshebetso ya dihlahiswa ka makgetlo a mangata, le ho matlafatsa ntlafatso e kgolo, e nepahetseng le e sebetsang ya indasteri ya semiconductor ya China ka bokgoni bo matla ba ho utlwa diindasteri.