CCD vielos skersmens jutikliai padeda atnaujinti puslaidininkių plokštelių procesus

Puslaidininkių gamybai įžengiant į nanometrų erą, plokštelės, kaip lustų šerdies nešėjai, tiesiogiai lemia išeigą ir sąnaudas dėl savo padėties tikslumo ir kampinio pastovumo apdorojimo ir transportavimo metu.

 

Pjaustymo, šlifavimo, dengimo, kubeliais pjaustymo, išankstinio pakavimo derinimo ir kitų procesų metu plokštelės yra linkusios į nedidelius poslinkius, kampinius pakrypimus ir trajektorijos nuokrypius dėl mechaninės vibracijos, perdavimo paklaidų ir įrankių nuokrypių. Net mikronų lygio nuokrypiai gali sukelti masės problemų, tokių kaip pjovimo nuskilinėjimas, perdengimo poslinkis ir sujungimo gedimai, o tai labai riboja gamybos pajėgumus ir padidina našumą. Tradiciniai mechaninio padėties nustatymo ir rankinio derinimo metodai pasižymi mažu tikslumu ir lėta reakcija, todėl neprisitaiko prie greitos masinės gamybos ir neatitinka pažangių procesų reikalavimų.

 

Atsižvelgiant į tai, „Lanbao CCD“ laido skersmens korekcijos jutiklis tapo pagrindiniu pagalbiniu įrenginiu, skirtu tiksliam suderinimui ir nuokrypių korekcijai puslaidininkių plokštelių gamybos procesuose, pasižymintis pagrindinėmis bekontakčio, didelio tikslumo ir dinaminės korekcijos realiuoju laiku galimybėmis. Jis užtikrina patikimas automatizuotos tikslios gamybos garantijas.

 

Veikimo metu siųstuvas generuoja vienodą lygiagrečią šviesos užuolaidą, dengiančią plokštelės kraštą. Priėmimo galo CCD matrica fiksuoja užblokuotą šviesos ir tamsos ribą, realiuoju laiku išveda plokštelės poslinkio vertes, perduoda jas atgal į gamybos linijos valdymo sistemą ir valdo UVW platformą, kad ji atliktų milisekundžių lygio dinaminę korekciją, sudarydama uždarą matavimo, skaičiavimo ir korekcijos valdymo kilpą. Visas procesas atlieka tik duomenimis pagrįstą padėties nustatymą, be fotografavimo, vaizdavimo ar defektų aptikimo. Tai užtikrina greitesnį atsaką, didesnį stabilumą ir mažesnes sąnaudas, puikiai atitinkančias puslaidininkių masinės gamybos scenarijus.

 

„Lanbao CCD“ laido skersmens korekcijos jutiklis buvo tikslingai optimizuotas, pasiekdamas itin aukštą ±1 μm surinkimo tikslumą, kuris gali tiksliai užfiksuoti mažyčius 8/12 colių plokštelių kraštų poslinkius ir kampinius nuokrypius. Įrengtas dinaminis temperatūros poslinkio kompensavimo algoritmas, jis gali pasigirti vos ±8 μm/℃ temperatūros koeficientu, efektyviai atlaikydamas dirbtuvių temperatūros svyravimus, nedideles vibracijas ir dulkių trukdžius. Jis išlaiko stabilius duomenis be poslinkio ar kalibravimo klaidų ilgalaikio nepertraukiamo veikimo metu. Palaikydamas 24 valandas per parą, 7 dienas per savaitę nepertraukiamą didelės spartos dinaminę korekciją, jis užtikrina nanometrų lygio lygiavimo tikslumą ir tuo pačiu žymiai pagerina gamybos linijos srauto efektyvumą, subalansuodamas tikslumą ir efektyvumą.

 

Turėdamas ilgametę patirtį pramoninių jutiklių srityje, „Lanbao CCD“ vielos skersmens korekcijos jutiklis siūlo tris pagrindinius plokštelių korekcijos privalumus, tiksliai patenkindamas griežtus puslaidininkių masinės gamybos reikalavimus:

• Didelio tikslumo dinaminė korekcija:Renka krašto vielos skersmens ir padėties duomenis realiuoju laiku, o nuokrypių korekcijai naudojamas milisekundės lygio atsakas. Pašalina statinio lygiavimo vėlavimą ir prisitaiko prie greitaeigių automatizuotų gamybos linijų.

• Didelis stabilumas ir apsauga nuo trukdžių:Įrengtas apsaugos nuo akinimo filtro modulis, jis stabiliai veikia esant 3000 liuksų apšvietimui, prisitaikydamas prie puslaidininkių dirbtuvių darbo sąlygų, kai reikalaujama didelės švaros ir yra daug trukdžių.

• Bekontaktis ir nepažeidžiamas prisitaikymas:Naudoja optinės šviesos užuolaidos bekontakčio matavimo principą, vengiant sąlyčio su plokštelės paviršiumi ir kraštu. Tai visiškai apsaugo itin plonas plokšteles (≤200 μm) nuo įbrėžimų ir išstūmimo pažeidimų, užtikrinant plokštelės vientisumą.

 

Šiuo metu „Lanbao CCD“ laido skersmens korekcijos jutiklis yra plačiai naudojamas pagrindiniuose procesuose, tokiuose kaip plokštelių išankstinis lygiavimas, surinkimo linijos perdavimo korekcija, išankstinis lygiavimas kubeliais ir padėties nustatymas prieš pakavimą. Jis gali atlikti realaus laiko padėties nuokrypių stebėjimą, duomenų grįžtamąjį ryšį ir dinaminės korekcijos uždaros kilpos valdymą, užtikrindamas, kad plokštelės išlaikytų standartines apdorojimo pozicijas ir perdavimo trajektorijas viso proceso metu. Jis iš esmės išsprendžia masinės gamybos problemas, tokias kaip brokuoti gaminiai, medžiagų nuostoliai ir proceso perdarymas, kurį sukelia lygiavimo poslinkiai. Išmatuoti duomenys rodo, kad naudojant „Lanbao CCD“ korekcijos sprendimą, rankinio kalibravimo išlaidos sumažinamos 80 %, o įrangos prastovos gerokai sutrumpėja, o tai padeda įmonėms pasiekti dvigubus tikslus: sumažinti išlaidas, pagerinti efektyvumą ir atnaujinti kokybę.

 

 

 

„Lanbao Sensing“, kaip aukštųjų technologijų įmonė, giliai įsitraukusi į pramoninius jutiklius, daugiausia dėmesio skiria probleminių puslaidininkių intelektualios gamybos sričių problemoms spręsti ir kurti korekcinius bei diapazono jutiklius, pritaikytus aukščiausios klasės gamybai. Jos CCD laido skersmens koregavimo jutiklis yra pritaikytas išskirtinai tiksliam plokštelių apdirbimui, tiksliai atitinkant puslaidininkių pramonės didelio tikslumo, stabilumo ir patikimumo masinės gamybos standartus. Palaikydama „EtherCAT“ pramoninę magistralę, ji gali sklandžiai prisijungti prie įvairių automatizuotų plokštelių gamybos linijų. Ateityje „Lanbao Sensing“ ir toliau stiprins savo pozicijas puslaidininkių sektoriuje, iteratyviai optimizuos jutiklių koregavimo technologiją ir produktų našumą bei suteiks galimybę didelio masto, tiksliai ir efektyviai atnaujinti Kinijos puslaidininkių pramonę, pasitelkdama tvirtas pramoninių jutiklių galimybes.