സെമികണ്ടക്ടർ വേഫർ പ്രക്രിയകളുടെ നവീകരണത്തിന് സിസിഡി വയർ വ്യാസം സെൻസറുകൾ ശക്തി പകരുന്നു.

സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണം നാനോമീറ്റർ യുഗത്തിലേക്ക് പ്രവേശിക്കുമ്പോൾ, ചിപ്പുകളുടെ കോർ കാരിയറുകൾ എന്ന നിലയിൽ വേഫറുകൾ, പ്രോസസ്സിംഗിലും ഗതാഗതത്തിലും അവയുടെ സ്ഥാന കൃത്യതയിലൂടെയും കോണീയ സ്ഥിരതയിലൂടെയും വിളവും ചെലവും നേരിട്ട് നിർണ്ണയിക്കുന്നു.

 

സ്ലൈസിംഗ്, ഗ്രൈനിംഗ്, കോട്ടിംഗ്, ഡൈസിംഗ്, പ്രീ-പാക്കേജിംഗ് അലൈൻമെന്റ്, മറ്റ് പ്രക്രിയകൾ എന്നിവയിലുടനീളം, മെക്കാനിക്കൽ വൈബ്രേഷൻ, ട്രാൻസ്മിഷൻ പിശകുകൾ, ടൂളിംഗ് വ്യതിയാനങ്ങൾ എന്നിവ കാരണം വേഫറുകൾ ചെറിയ ഓഫ്‌സെറ്റുകൾ, കോണീയ ടിൽറ്റുകൾ, ട്രാജക്ടറി വ്യതിയാനങ്ങൾ എന്നിവയ്ക്ക് സാധ്യതയുണ്ട്. മൈക്രോൺ-ലെവൽ വ്യതിയാനങ്ങൾ പോലും കട്ടിംഗ് ചിപ്പിംഗ്, ഓവർലേ ഓഫ്‌സെറ്റ്, ബോണ്ടിംഗ് പരാജയം, ഉൽ‌പാദന ശേഷിയെ ഗുരുതരമായി നിയന്ത്രിക്കൽ, വിളവ് മെച്ചപ്പെടുത്തൽ തുടങ്ങിയ മാസ് പ്രശ്‌നങ്ങളിലേക്ക് നയിച്ചേക്കാം. പരമ്പരാഗത മെക്കാനിക്കൽ പൊസിഷനിംഗും മാനുവൽ അലൈൻമെന്റ് രീതികളും കുറഞ്ഞ കൃത്യതയും മന്ദഗതിയിലുള്ള പ്രതികരണവും നൽകുന്നു, ഉയർന്ന വേഗതയുള്ള മാസ് പ്രൊഡക്ഷനുമായി പൊരുത്തപ്പെടുന്നതിലും വിപുലമായ പ്രക്രിയകളുടെ ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റുന്നതിലും പരാജയപ്പെടുന്നു.

 

ഈ പശ്ചാത്തലത്തിൽ, അർദ്ധചാലക വേഫർ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയകളിൽ കൃത്യമായ അലൈൻമെന്റിനും ഡീവിയേഷൻ തിരുത്തലിനും വേണ്ടിയുള്ള ഒരു കോർ സപ്പോർട്ടിംഗ് ഉപകരണമായി ലാൻബാവോ സിസിഡി വയർ വ്യാസം തിരുത്തൽ സെൻസർ മാറിയിരിക്കുന്നു, അതിന്റെ പ്രധാന കഴിവുകളായ നോൺ-കോൺടാക്റ്റ്, ഉയർന്ന കൃത്യത, ഡൈനാമിക് റിയൽ-ടൈം തിരുത്തൽ എന്നിവയിലൂടെ. ഓട്ടോമേറ്റഡ് പ്രിസിഷൻ ഉൽപ്പാദനത്തിന് ഇത് വിശ്വസനീയമായ ഗ്യാരണ്ടി നൽകുന്നു.

 

പ്രവർത്തന സമയത്ത്, ട്രാൻസ്മിറ്റർ വേഫറിന്റെ അരികിൽ ഒരു ഏകീകൃത സമാന്തര പ്രകാശ കർട്ടൻ സൃഷ്ടിക്കുന്നു. റിസീവിംഗ്-എൻഡ് സിസിഡി മാട്രിക്സ് തടഞ്ഞ ലൈറ്റ്-ഡാർക്ക് ബൗണ്ടറി പിടിച്ചെടുക്കുന്നു, വേഫർ ഓഫ്‌സെറ്റ് മൂല്യങ്ങൾ തത്സമയം ഔട്ട്‌പുട്ട് ചെയ്യുന്നു, അവയെ പ്രൊഡക്ഷൻ ലൈൻ കൺട്രോൾ സിസ്റ്റത്തിലേക്ക് തിരികെ ഫീഡ് ചെയ്യുന്നു, കൂടാതെ UVW പ്ലാറ്റ്‌ഫോമിനെ മില്ലിസെക്കൻഡ്-ലെവൽ ഡൈനാമിക് കറക്ഷൻ പൂർത്തിയാക്കാൻ നയിക്കുന്നു, ഇത് മെഷർമെന്റ് - കണക്കുകൂട്ടൽ - തിരുത്തലിന്റെ ഒരു ക്ലോസ്ഡ്-ലൂപ്പ് നിയന്ത്രണം രൂപപ്പെടുത്തുന്നു. ഫോട്ടോഗ്രാഫി, ഇമേജിംഗ് അല്ലെങ്കിൽ വൈകല്യ കണ്ടെത്തൽ ഇല്ലാതെ, മുഴുവൻ പ്രക്രിയയും ഡാറ്റാ അധിഷ്ഠിത പൊസിഷൻ സെൻസിംഗ് മാത്രമേ നടത്തുന്നുള്ളൂ. ഇത് വേഗതയേറിയ പ്രതികരണം, ശക്തമായ സ്ഥിരത, കുറഞ്ഞ ചെലവ്, സെമികണ്ടക്ടർ മാസ് പ്രൊഡക്ഷൻ സാഹചര്യങ്ങൾ എന്നിവ തികച്ചും പൊരുത്തപ്പെടുന്നു.

 

ലാൻബാവോ സിസിഡി വയർ വ്യാസം തിരുത്തൽ സെൻസർ ടാർഗെറ്റുചെയ്‌ത ഒപ്റ്റിമൈസേഷന് വിധേയമായിട്ടുണ്ട്, ±1 μm എന്ന അൾട്രാ-ഹൈ കളക്ഷൻ കൃത്യത കൈവരിക്കുന്നു, ഇത് 8/12-ഇഞ്ച് വേഫർ അരികുകളുടെ ചെറിയ ഡിസ്‌പ്ലേസ്‌മെന്റുകളും കോണീയ വ്യതിയാനങ്ങളും കൃത്യമായി പിടിച്ചെടുക്കാൻ കഴിയും. ഒരു ഡൈനാമിക് ടെമ്പറേച്ചർ ഡ്രിഫ്റ്റ് കോമ്പൻസേഷൻ അൽഗോരിതം കൊണ്ട് സജ്ജീകരിച്ചിരിക്കുന്ന ഇത് ±8 μm/℃ വരെ താഴ്ന്ന താപനില ഗുണകത്തെ പ്രശംസിക്കുന്നു, വർക്ക്‌ഷോപ്പ് താപനിലയിലെ ഏറ്റക്കുറച്ചിലുകൾ, ചെറിയ വൈബ്രേഷനുകൾ, പൊടി ഇടപെടൽ എന്നിവയെ ഫലപ്രദമായി പ്രതിരോധിക്കുന്നു. ദീർഘകാല തുടർച്ചയായ പ്രവർത്തന സമയത്ത് ഡ്രിഫ്റ്റ് അല്ലെങ്കിൽ കാലിബ്രേഷൻ പിശകുകൾ ഇല്ലാതെ ഇത് സ്ഥിരതയുള്ള ഡാറ്റ നിലനിർത്തുന്നു. 24/7 തടസ്സമില്ലാത്ത ഹൈ-സ്പീഡ് ഡൈനാമിക് തിരുത്തലിനെ പിന്തുണയ്ക്കുന്ന ഇത് നാനോമീറ്റർ-ലെവൽ അലൈൻമെന്റ് കൃത്യത ഉറപ്പാക്കുന്നു, അതേസമയം പ്രൊഡക്ഷൻ ലൈൻ ഫ്ലോ കാര്യക്ഷമത, കൃത്യത, കാര്യക്ഷമത എന്നിവ ഗണ്യമായി മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നു.

 

വർഷങ്ങളായി ശേഖരിച്ചുവച്ചിരിക്കുന്ന വ്യാവസായിക സെൻസിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യ ഉപയോഗിച്ച്, ലാൻബാവോ സിസിഡി വയർ വ്യാസം തിരുത്തൽ സെൻസർ വേഫർ തിരുത്തലിൽ മൂന്ന് പ്രധാന ഗുണങ്ങൾ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു, സെമികണ്ടക്ടർ മാസ് പ്രൊഡക്ഷന്റെ കർശനമായ ആവശ്യങ്ങൾ കൃത്യമായി നിറവേറ്റുന്നു:

• ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള ഡൈനാമിക് തിരുത്തൽ:വ്യതിയാന തിരുത്തലിനായി മില്ലിസെക്കൻഡ് ലെവൽ പ്രതികരണത്തോടെ, എഡ്ജ് വയർ വ്യാസവും സ്ഥാന ഡാറ്റയും തത്സമയം ശേഖരിക്കുന്നു. ഇത് സ്റ്റാറ്റിക് അലൈൻമെന്റിന്റെ കാലതാമസം ഇല്ലാതാക്കുകയും ഹൈ-സ്പീഡ് ഓട്ടോമേറ്റഡ് പ്രൊഡക്ഷൻ ലൈനുകളുമായി പൊരുത്തപ്പെടുകയും ചെയ്യുന്നു.

• ഉയർന്ന സ്ഥിരതയും ഇടപെടലുകൾക്കെതിരായ പ്രവർത്തനവും:ആന്റി-ഗ്ലെയർ ഫിൽട്ടർ മൊഡ്യൂൾ കൊണ്ട് സജ്ജീകരിച്ചിരിക്കുന്ന ഇത്, സെമികണ്ടക്ടർ വർക്ക്‌ഷോപ്പുകളുടെ ഉയർന്ന വൃത്തിയും ഉയർന്ന ഇടപെടലും ഉള്ള പ്രവർത്തന സാഹചര്യങ്ങളുമായി പൊരുത്തപ്പെടുന്ന തരത്തിൽ 3000 ലക്‌സ് പ്രകാശത്തിൽ സ്ഥിരതയോടെ പ്രവർത്തിക്കുന്നു.

• സമ്പർക്കരഹിതവും കേടുപാടുകൾ ഇല്ലാത്തതുമായ പൊരുത്തപ്പെടുത്തൽ:വേഫറിന്റെ ഉപരിതലവും അരികുകളുമായുള്ള സമ്പർക്കം ഒഴിവാക്കിക്കൊണ്ട് ഒപ്റ്റിക്കൽ ലൈറ്റ് കർട്ടൻ നോൺ-കോൺടാക്റ്റ് അളവ് സ്വീകരിക്കുന്നു. ഇത് അൾട്രാ-നേർത്ത വേഫറുകളിലെ (≤200 μm) പോറലുകളും എക്സ്ട്രൂഷൻ കേടുപാടുകളും പൂർണ്ണമായും തടയുന്നു, ഇത് വേഫറിന്റെ സമഗ്രത ഉറപ്പാക്കുന്നു.

 

നിലവിൽ, ലാൻബാവോ സിസിഡി വയർ വ്യാസം തിരുത്തൽ സെൻസർ വേഫർ പ്രീ-അലൈൻമെന്റ്, അസംബ്ലി ലൈൻ ട്രാൻസ്മിഷൻ തിരുത്തൽ, പ്രീ-ഡൈസിംഗ് അലൈൻമെന്റ്, പ്രീ-പാക്കേജിംഗ് പൊസിഷനിംഗ് തുടങ്ങിയ പ്രധാന പ്രക്രിയകളിൽ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഇതിന് റിയൽ-ടൈം പൊസിഷൻ ഡീവിയേഷൻ മോണിറ്ററിംഗ്, ഡാറ്റ ഫീഡ്‌ബാക്ക്, ഡൈനാമിക് കറക്ഷൻ ക്ലോസ്ഡ്-ലൂപ്പ് നിയന്ത്രണം എന്നിവ നടത്താൻ കഴിയും, ഇത് പ്രക്രിയയിലുടനീളം വേഫറുകൾ സ്റ്റാൻഡേർഡ് പ്രോസസ്സിംഗ് പൊസിഷനുകളും ട്രാൻസ്മിഷൻ ട്രാജക്ടറികളും നിലനിർത്തുന്നുവെന്ന് ഉറപ്പാക്കുന്നു. വികലമായ ഉൽപ്പന്നങ്ങൾ, മെറ്റീരിയൽ നഷ്ടങ്ങൾ, അലൈൻമെന്റ് ഓഫ്‌സെറ്റുകൾ മൂലമുണ്ടാകുന്ന പ്രോസസ്സ് റീവർക്ക് തുടങ്ങിയ വൻതോതിലുള്ള ഉൽപ്പാദന പ്രശ്‌നങ്ങൾ ഇത് അടിസ്ഥാനപരമായി പരിഹരിക്കുന്നു. ലാൻബാവോ സിസിഡി തിരുത്തൽ പരിഹാരം ഉപയോഗിച്ച്, മാനുവൽ കാലിബ്രേഷൻ ചെലവ് 80% കുറയുകയും ഉപകരണങ്ങളുടെ പ്രവർത്തനരഹിതമായ സമയം ഗണ്യമായി കുറയുകയും ചെയ്യുന്നു, ഇത് ചെലവ് കുറയ്ക്കൽ, കാര്യക്ഷമത മെച്ചപ്പെടുത്തൽ, ഗുണനിലവാരം ഉയർത്തൽ എന്നീ ഇരട്ട ലക്ഷ്യങ്ങൾ കൈവരിക്കാൻ സംരംഭങ്ങളെ സഹായിക്കുന്നു.

 

 

 

വ്യാവസായിക സെൻസിംഗിൽ ആഴത്തിൽ ഏർപ്പെട്ടിരിക്കുന്ന ഒരു ഹൈടെക് സംരംഭമെന്ന നിലയിൽ, ലാൻബാവോ സെൻസിംഗ്, സെമികണ്ടക്ടർ ഇന്റലിജന്റ് നിർമ്മാണത്തിലെ പെയിൻ പോയിന്റുകൾ പരിഹരിക്കുന്നതിലും ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള നിർമ്മാണത്തിനായി രൂപകൽപ്പന ചെയ്ത തിരുത്തൽ, റേഞ്ചിംഗ് സെൻസിംഗ് ഉപകരണങ്ങൾ വികസിപ്പിക്കുന്നതിലും ശ്രദ്ധ കേന്ദ്രീകരിക്കുന്നു. സെമികണ്ടക്ടർ വ്യവസായത്തിന്റെ ഉയർന്ന കൃത്യത, ഉയർന്ന സ്ഥിരത, ഉയർന്ന വിശ്വാസ്യത എന്നിവയുള്ള മാസ് പ്രൊഡക്ഷൻ മാനദണ്ഡങ്ങൾ കൃത്യമായി പാലിക്കുന്ന, വേഫർ പ്രിസിഷൻ പ്രോസസ്സിംഗ് സാഹചര്യങ്ങൾക്കായി മാത്രമായി അതിന്റെ സിസിഡി വയർ വ്യാസം കറക്ഷൻ സെൻസർ ഇച്ഛാനുസൃതമാക്കിയിരിക്കുന്നു. ഈതർകാറ്റ് ഇൻഡസ്ട്രിയൽ ബസിനെ പിന്തുണയ്ക്കുന്നതിലൂടെ, ഇതിന് വിവിധ ഓട്ടോമേറ്റഡ് വേഫർ പ്രൊഡക്ഷൻ ലൈനുകളുമായി തടസ്സമില്ലാതെ ബന്ധിപ്പിക്കാൻ കഴിയും. ഭാവിയിൽ, ലാൻബാവോ സെൻസിംഗ് സെമികണ്ടക്ടർ മേഖലയിൽ അതിന്റെ സാന്നിധ്യം വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നത് തുടരും, സെൻസിംഗ് കറക്ഷൻ സാങ്കേതികവിദ്യയും ഉൽപ്പന്ന പ്രകടനവും ആവർത്തിച്ച് ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്യും, കൂടാതെ ശക്തമായ വ്യാവസായിക സെൻസിംഗ് കഴിവുകളുള്ള ചൈനയുടെ സെമികണ്ടക്ടർ വ്യവസായത്തിന്റെ വലിയ തോതിലുള്ളതും കൃത്യവും കാര്യക്ഷമവുമായ നവീകരണത്തെ ശാക്തീകരിക്കും.