Cảm biến đường kính dây CCD thúc đẩy việc nâng cấp quy trình sản xuất tấm bán dẫn.

Khi công nghệ sản xuất chất bán dẫn bước vào kỷ nguyên nanomet, các tấm wafer, với vai trò là vật liệu mang cốt lõi của chip, quyết định trực tiếp đến năng suất và chi phí thông qua độ chính xác vị trí và tính nhất quán góc cạnh trong quá trình xử lý và vận chuyển.

 

Trong suốt quá trình cắt lát, mài, phủ lớp, thái hạt lựu, căn chỉnh trước khi đóng gói và các quy trình khác, các tấm wafer dễ bị sai lệch nhỏ, nghiêng góc và lệch quỹ đạo do rung động cơ học, lỗi truyền dẫn và sai lệch dụng cụ. Ngay cả những sai lệch ở mức micromet cũng có thể dẫn đến các vấn đề nghiêm trọng như sứt mẻ khi cắt, lệch lớp phủ và hỏng liên kết, làm hạn chế nghiêm trọng năng lực sản xuất và cải thiện năng suất. Các phương pháp định vị cơ học truyền thống và căn chỉnh thủ công có độ chính xác thấp và phản hồi chậm, không thích ứng được với sản xuất hàng loạt tốc độ cao và đáp ứng được yêu cầu của các quy trình tiên tiến.

 

Trong bối cảnh đó, cảm biến hiệu chỉnh đường kính dây CCD của Lanbao đã trở thành thiết bị hỗ trợ cốt lõi cho việc căn chỉnh chính xác và hiệu chỉnh sai lệch trong quy trình sản xuất tấm bán dẫn, với các khả năng cốt lõi là không tiếp xúc, độ chính xác cao và hiệu chỉnh động theo thời gian thực. Nó cung cấp sự đảm bảo đáng tin cậy cho sản xuất chính xác tự động.

 

Trong quá trình hoạt động, bộ phát tạo ra một màn chắn ánh sáng song song đồng nhất bao phủ mép wafer. Ma trận CCD ở đầu thu thu nhận ranh giới sáng tối bị chặn, xuất ra các giá trị bù wafer theo thời gian thực, truyền chúng trở lại hệ thống điều khiển dây chuyền sản xuất và điều khiển nền tảng UVW để hoàn thành việc hiệu chỉnh động ở mức mili giây, tạo thành một vòng điều khiển khép kín gồm đo lường – tính toán – hiệu chỉnh. Toàn bộ quy trình chỉ thực hiện cảm biến vị trí dựa trên dữ liệu, không chụp ảnh, tạo hình ảnh hay phát hiện khuyết tật. Nó mang lại khả năng phản hồi nhanh hơn, độ ổn định cao hơn và chi phí thấp hơn, hoàn toàn phù hợp với các kịch bản sản xuất hàng loạt chất bán dẫn.

 

Cảm biến hiệu chỉnh đường kính dây CCD Lanbao đã trải qua quá trình tối ưu hóa có mục tiêu, đạt được độ chính xác thu thập cực cao ±1 μm, có thể thu nhận chính xác các dịch chuyển nhỏ và độ lệch góc của các cạnh wafer 8/12 inch. Được trang bị thuật toán bù trôi nhiệt độ động, nó tự hào có hệ số nhiệt độ thấp tới ±8 μm/℃, chống lại hiệu quả sự dao động nhiệt độ trong xưởng, rung động nhỏ và nhiễu bụi. Nó duy trì dữ liệu ổn định mà không bị trôi hoặc lỗi hiệu chuẩn trong quá trình hoạt động liên tục lâu dài. Hỗ trợ hiệu chỉnh động tốc độ cao không gián đoạn 24/7, nó đảm bảo độ chính xác căn chỉnh ở mức nanomet đồng thời cải thiện đáng kể hiệu quả quy trình sản xuất, cân bằng giữa độ chính xác và hiệu quả.

 

Với nhiều năm kinh nghiệm tích lũy trong công nghệ cảm biến công nghiệp, cảm biến hiệu chỉnh đường kính dây CCD của Lanbao mang đến ba ưu điểm cốt lõi trong hiệu chỉnh wafer, đáp ứng chính xác các yêu cầu khắt khe của sản xuất hàng loạt chất bán dẫn:

• Hiệu chỉnh động độ chính xác cao:Thu thập dữ liệu đường kính và vị trí dây dẫn ở mép cắt theo thời gian thực, với độ phản hồi ở mức mili giây để hiệu chỉnh sai lệch. Điều này loại bỏ độ trễ của việc căn chỉnh tĩnh và thích ứng với các dây chuyền sản xuất tự động tốc độ cao.

• Độ ổn định cao và khả năng chống nhiễu:Được trang bị mô-đun lọc chống chói, thiết bị hoạt động ổn định dưới ánh sáng 3000 lux, thích ứng với điều kiện làm việc đòi hỏi độ sạch cao và nhiều nhiễu trong các xưởng sản xuất chất bán dẫn.

• Thích ứng không tiếp xúc và không gây hư hại:Sử dụng phương pháp đo không tiếp xúc bằng màn chắn ánh sáng quang học, tránh tiếp xúc với bề mặt và cạnh của tấm wafer. Phương pháp này hoàn toàn ngăn ngừa trầy xước và hư hỏng do ép đùn đối với các tấm wafer siêu mỏng (≤200 μm), đảm bảo tính toàn vẹn của wafer.

 

Hiện nay, cảm biến hiệu chỉnh đường kính dây CCD của Lanbao được sử dụng rộng rãi trong các quy trình quan trọng như căn chỉnh sơ bộ wafer, hiệu chỉnh truyền tải trên dây chuyền lắp ráp, căn chỉnh trước khi cắt và định vị trước khi đóng gói. Nó có thể thực hiện giám sát độ lệch vị trí theo thời gian thực, phản hồi dữ liệu và điều khiển vòng kín hiệu chỉnh động, đảm bảo wafer duy trì vị trí xử lý tiêu chuẩn và quỹ đạo truyền tải trong suốt quá trình. Điều này giải quyết triệt để các vấn đề sản xuất hàng loạt như sản phẩm lỗi, tổn thất vật liệu và làm lại quy trình do sai lệch căn chỉnh. Dữ liệu đo được cho thấy rằng với giải pháp hiệu chỉnh CCD của Lanbao, chi phí hiệu chuẩn thủ công giảm 80% và thời gian ngừng hoạt động của thiết bị giảm đáng kể, giúp doanh nghiệp đạt được mục tiêu kép là giảm chi phí, nâng cao hiệu quả và nâng cao chất lượng.

 

 

 

Là một doanh nghiệp công nghệ cao hoạt động sâu rộng trong lĩnh vực cảm biến công nghiệp, Lanbao Sensing tập trung giải quyết các vấn đề khó khăn trong sản xuất thông minh chất bán dẫn và phát triển các thiết bị cảm biến hiệu chỉnh và đo khoảng cách chuyên dụng cho sản xuất cao cấp. Cảm biến hiệu chỉnh đường kính dây CCD của hãng được tùy chỉnh độc quyền cho các kịch bản xử lý chính xác wafer, đáp ứng chính xác các tiêu chuẩn sản xuất hàng loạt độ chính xác cao, độ ổn định cao và độ tin cậy cao của ngành công nghiệp bán dẫn. Hỗ trợ bus công nghiệp EtherCAT, nó có thể kết nối liền mạch với nhiều dây chuyền sản xuất wafer tự động khác nhau. Trong tương lai, Lanbao Sensing sẽ tiếp tục củng cố sự hiện diện của mình trong lĩnh vực bán dẫn, liên tục tối ưu hóa công nghệ hiệu chỉnh cảm biến và hiệu suất sản phẩm, và thúc đẩy quá trình nâng cấp quy mô lớn, chính xác và hiệu quả của ngành công nghiệp bán dẫn Trung Quốc với khả năng cảm biến công nghiệp mạnh mẽ.