ПЗС-датчики діаметра дроту забезпечують модернізацію процесів виробництва напівпровідникових пластин

Оскільки виробництво напівпровідників вступає в нанометрову еру, пластини, як основні носії мікросхем, безпосередньо визначають вихід продукції та вартість завдяки точності їхнього положення та кутовій узгодженості під час обробки та транспортування.

 

Під час нарізання, шліфування, покриття, нарізання кубиками, вирівнювання попереднього пакування та інших процесів пластини схильні до незначних зміщень, кутових нахилів та відхилень траєкторії через механічну вібрацію, помилки передачі та відхилення інструментів. Навіть відхилення на мікронному рівні можуть призвести до проблем з масою, таких як відколи під час різання, зміщення накладання та порушення склеювання, що суттєво обмежує виробничі потужності та підвищення виходу продукції. Традиційні методи механічного позиціонування та ручного вирівнювання характеризуються низькою точністю та повільною реакцією, не адаптуються до високошвидкісного масового виробництва та не відповідають вимогам передових процесів.

 

На цьому тлі датчик корекції діаметра дроту Lanbao CCD став основним допоміжним пристроєм для точного вирівнювання та корекції відхилень у процесах виробництва напівпровідникових пластин, завдяки своїм основним можливостям безконтактної, високоточної та динамічної корекції в режимі реального часу. Він забезпечує надійні гарантії автоматизованого прецизійного виробництва.

 

Під час роботи передавач генерує рівномірну паралельну світлову завісу, що покриває край пластини. ПЗС-матриця приймального боку фіксує заблоковану межу світла та темряви, виводить значення зміщення пластини в режимі реального часу, передає їх назад до системи керування виробничою лінією та керує платформою UVW для виконання динамічної корекції на мілісекундному рівні, утворюючи замкнутий цикл керування вимірюванням – розрахунком – корекцією. Весь процес виконує лише вимірювання положення на основі даних, без фотографування, візуалізації чи виявлення дефектів. Це забезпечує швидший відгук, більшу стабільність та нижчу вартість, ідеально відповідно до сценаріїв масового виробництва напівпровідників.

 

Датчик корекції діаметра дроту CCD Lanbao пройшов цілеспрямовану оптимізацію, досягши надвисокої точності збору даних ±1 мкм, що дозволяє точно фіксувати крихітні зміщення та кутові відхилення країв пластин розміром 8/12 дюймів. Оснащений алгоритмом динамічної компенсації температурного дрейфу, він може похвалитися температурним коефіцієнтом до ±8 мкм/℃, ефективно протистоячи коливанням температури в цеху, незначним вібраціям та впливу пилу. Він підтримує стабільні дані без дрейфу або помилок калібрування під час тривалої безперервної роботи. Підтримуючи цілодобову безперебійну високошвидкісну динамічну корекцію, він забезпечує точність вирівнювання на нанометровому рівні, водночас значно покращуючи ефективність потоку виробничої лінії, точність балансування та ефективність.

 

Завдяки багаторічному накопиченню промислових сенсорних технологій, датчик корекції діаметра дроту Lanbao CCD пропонує три основні переваги в корекції діаметра пластини, точно задовольняючи жорсткі вимоги масового виробництва напівпровідників:

• Високоточна динамічна корекція:Збирає дані про діаметр і положення крайового дроту в режимі реального часу з відгуком на рівні мілісекунд для корекції відхилень. Це усуває затримку статичного вирівнювання та адаптується до високошвидкісних автоматизованих виробничих ліній.

• Висока стабільність та захист від перешкод:Оснащений модулем антиблікового фільтра, він стабільно працює за освітлення 3000 люкс, адаптуючись до умов високої чистоти та високого рівня перешкод у цехах напівпровідників.

• Безконтактна та безпошкоджувальна адаптація:Використовує безконтактне вимірювання оптичною світловою завісою, уникаючи контакту з поверхнею та краями пластини. Це повністю запобігає подряпинам та пошкодженню внаслідок екструзії надтонких пластин (≤200 мкм), забезпечуючи їх цілісність.

 

Наразі датчик корекції діаметра дроту Lanbao CCD широко використовується в ключових процесах, таких як попереднє вирівнювання пластин, корекція передачі на конвеєрі, вирівнювання перед нарізанням та позиціонування перед упаковкою. Він може виконувати моніторинг відхилення положення в режимі реального часу, зворотний зв'язок за даними та динамічну корекцію замкнутого циклу, забезпечуючи, щоб пластини підтримували стандартні положення обробки та траєкторії передачі протягом усього процесу. Він фундаментально вирішує проблеми масового виробництва, такі як дефектні вироби, втрати матеріалів та переробка процесу, спричинені зміщеннями вирівнювання. Виміряні дані показують, що завдяки рішенню для корекції CCD Lanbao витрати на ручне калібрування зменшуються на 80%, а час простою обладнання значно скорочується, допомагаючи підприємствам досягти подвійних цілей: зниження витрат, підвищення ефективності та підвищення якості.

 

 

 

Як високотехнологічне підприємство, що глибоко займається промисловим сенсорним обладнанням, Lanbao Sensing зосереджується на вирішенні проблемних питань в інтелектуальному виробництві напівпровідників та розробці коригувальних та діапазонних сенсорних пристроїв, адаптованих для високоякісного виробництва. Його CCD-датчик корекції діаметра дроту спеціально розроблений для сценаріїв прецизійної обробки пластин, точно відповідають стандартам масового виробництва напівпровідникової промисловості високої точності, стабільності та надійності. Підтримуючи промислову шину EtherCAT, він може безперешкодно підключатися до різних автоматизованих ліній виробництва пластин. У майбутньому Lanbao Sensing продовжуватиме поглиблювати свою присутність у секторі напівпровідників, ітеративно оптимізувати технологію корекції датчиків та продуктивність продукції, а також розширювати можливості масштабної, точної та ефективної модернізації напівпровідникової промисловості Китаю за допомогою потужних можливостей промислового сенсорного обладнання.