CCD கம்பி விட்ட உணரிகள், குறைக்கடத்தித் தகடு செயல்முறைகளின் மேம்பாட்டிற்கு ஆற்றல் அளிக்கின்றன.

குறைக்கடத்தி உற்பத்தி நானோமீட்டர் சகாப்தத்தில் நுழையும் நிலையில், சில்லுகளின் மையத் தாங்கிகளான வேஃபர்கள், செயலாக்கம் மற்றும் போக்குவரத்தின் போது தங்களின் நிலைத் துல்லியம் மற்றும் கோண நிலைத்தன்மை ஆகியவற்றின் மூலம் உற்பத்தி அளவு மற்றும் செலவை நேரடியாக நிர்ணயிக்கின்றன.

 

துண்டாக்குதல், அரைத்தல், பூசுதல், சிறு துண்டுகளாக்குதல், முன்-பொதி சீரமைப்பு மற்றும் பிற செயல்முறைகள் முழுவதும், இயந்திர அதிர்வு, செலுத்தல் பிழைகள் மற்றும் கருவி விலகல்கள் காரணமாக வேஃபர்கள் மிகச்சிறிய விலகல்கள், கோணச் சாய்வுகள் மற்றும் பாதை விலகல்களுக்கு உள்ளாகின்றன. மைக்ரான் அளவிலான விலகல்கள் கூட, வெட்டுச் சிதைவு, மேலடுக்கு விலகல் மற்றும் பிணைப்புத் தோல்வி போன்ற பெரும் சிக்கல்களுக்கு வழிவகுத்து, உற்பத்தித் திறனையும் விளைச்சல் மேம்பாட்டையும் கடுமையாகக் கட்டுப்படுத்துகின்றன. பாரம்பரிய இயந்திர நிலைப்படுத்தல் மற்றும் கைமுறை சீரமைப்பு முறைகள் குறைந்த துல்லியத்தையும் மெதுவான பதிலளிப்பையும் கொண்டிருப்பதால், அதிவேகப் பெருமளவு உற்பத்திக்கு ஏற்பத் தங்களைத் தகவமைத்துக் கொள்வதிலும் மேம்பட்ட செயல்முறைகளின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதிலும் தோல்வியடைகின்றன.

 

இந்தச் சூழலில், லான்பாவோ CCD கம்பி விட்டம் திருத்தும் சென்சார், அதன் தொடுதலற்ற, உயர் துல்லியம் மற்றும் மாறும் நிகழ்நேரத் திருத்தம் ஆகிய முக்கியத் திறன்களுடன், குறைக்கடத்தி வேஃபர் உற்பத்தி செயல்முறைகளில் துல்லியமான சீரமைப்பு மற்றும் விலகல் திருத்தத்திற்கான ஒரு முக்கியத் துணைச் சாதனமாக உருவெடுத்துள்ளது. இது தானியங்கு துல்லிய உற்பத்திக்கு நம்பகமான உத்தரவாதங்களை வழங்குகிறது.

சிசிடி-1

 

செயல்பாட்டின் போது, ​​டிரான்ஸ்மிட்டர் வேஃபர் விளிம்பை உள்ளடக்கிய ஒரு சீரான இணையான ஒளித் திரையை உருவாக்குகிறது. பெறும் முனையின் CCD மேட்ரிக்ஸ், தடுக்கப்பட்ட ஒளி-இருள் எல்லையைப் படம்பிடித்து, வேஃபர் ஆஃப்செட் மதிப்புகளை நிகழ் நேரத்தில் வெளியிடுகிறது, அவற்றை உற்பத்தி வரிசைக் கட்டுப்பாட்டு அமைப்புக்குத் திருப்பி அனுப்புகிறது, மேலும் மில்லிசெகண்ட் அளவிலான டைனமிக் திருத்தத்தை முடிக்க UVW தளத்தை இயக்குகிறது, இதன் மூலம் அளவீடு – கணக்கீடு – திருத்தம் ஆகியவற்றின் ஒரு மூடிய-சுற்று கட்டுப்பாட்டை உருவாக்குகிறது. இந்த முழு செயல்முறையும் தரவு அடிப்படையிலான நிலை உணர்தலை மட்டுமே செய்கிறது; இதில் புகைப்படம் எடுத்தல், படமாக்குதல் அல்லது குறைபாடு கண்டறிதல் எதுவும் இல்லை. இது வேகமான பதில்வினை, வலுவான நிலைத்தன்மை மற்றும் குறைந்த செலவை வழங்குகிறது, மேலும் குறைக்கடத்தி பெருமளவு உற்பத்திச் சூழல்களுடன் கச்சிதமாகப் பொருந்துகிறது.

சிசிடி-2

 

லான்பாவோ CCD கம்பி விட்டம் திருத்தும் சென்சார், இலக்கு சார்ந்த உகப்பாக்கத்திற்கு உட்படுத்தப்பட்டு, ±1 μm என்ற மிக உயர்ந்த சேகரிப்புத் துல்லியத்தை அடைந்துள்ளது. இது 8/12-அங்குல வேஃபர் விளிம்புகளின் மிகச்சிறிய இடப்பெயர்வுகள் மற்றும் கோண விலகல்களைத் துல்லியமாகப் படம்பிடிக்கிறது. டைனமிக் வெப்பநிலை சறுக்கல் ஈடுசெய்யும் அல்காரிதத்துடன் பொருத்தப்பட்டுள்ளதால், இது ±8 μm/℃ என்ற மிகக் குறைந்த வெப்பநிலை குணகத்தைக் கொண்டுள்ளது. இது பணிமனை வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்கள், சிறிய அதிர்வுகள் மற்றும் தூசி குறுக்கீடுகளைத் திறம்பட எதிர்க்கிறது. நீண்ட கால தொடர்ச்சியான செயல்பாட்டின் போது, ​​இது சறுக்கல் அல்லது அளவுத்திருத்தப் பிழைகள் இல்லாமல் நிலையான தரவைப் பராமரிக்கிறது. 24/7 தடையற்ற அதிவேக டைனமிக் திருத்தத்தை ஆதரிப்பதன் மூலம், இது நானோமீட்டர் அளவிலான சீரமைப்புத் துல்லியத்தை உறுதிசெய்கிறது. அதே நேரத்தில், உற்பத்தி வரிசை ஓட்டத் திறனை கணிசமாக மேம்படுத்தி, துல்லியம் மற்றும் செயல்திறனைச் சமநிலைப்படுத்துகிறது.

சிசிடி-3

 

பல ஆண்டுகளாகக் குவிக்கப்பட்ட தொழில்துறை உணர்தல் தொழில்நுட்பத்துடன், லான்பாவோ CCD கம்பி விட்டம் திருத்தும் சென்சார், குறைக்கடத்தி பெருமளவு உற்பத்தியின் கடுமையான தேவைகளைத் துல்லியமாகப் பூர்த்திசெய்து, வேஃபர் திருத்தத்தில் மூன்று முக்கிய நன்மைகளை வழங்குகிறது:

• உயர் துல்லியமான இயக்கவியல் திருத்தம்:விளிம்புக் கம்பியின் விட்டம் மற்றும் நிலைத் தரவுகளை நிகழ் நேரத்தில் சேகரிப்பதுடன், விலகல் திருத்தத்திற்காக மில்லிநொடி அளவிலான துரிதப் பதிலளிப்பையும் வழங்குகிறது. இது நிலையான சீரமைப்பின் தாமதத்தை நீக்கி, அதிவேகத் தானியங்கு உற்பத்தித் தொடர்களுக்கு ஏற்பத் தன்னைத் தகவமைத்துக் கொள்கிறது.

• உயர் நிலைத்தன்மை மற்றும் குறுக்கீடு எதிர்ப்புச் செயல்பாடு:ஒளிச்சிதறல் தடுப்பு வடிகட்டித் தொகுதியுடன் பொருத்தப்பட்டுள்ள இது, குறைக்கடத்திப் பட்டறைகளின் உயர் தூய்மை மற்றும் அதிக குறுக்கீடு கொண்ட பணிச்சூழல்களுக்கு ஏற்ப, 3000 லக்ஸ் ஒளியூட்டத்தின் கீழ் நிலையாகச் செயல்படுகிறது.

• நேரடித் தொடர்பு இன்றி, சேதமின்றி மாற்றியமைத்தல்:ஆப்டிகல் லைட் கர்டைன் தொடுதலற்ற அளவீட்டு முறையைப் பயன்படுத்துவதால், வேஃபரின் மேற்பரப்பு மற்றும் விளிம்புடன் தொடர்பு ஏற்படுவதைத் தவிர்க்கிறது. இது மிக மெல்லிய வேஃபர்களில் (≤200 μm) கீறல்கள் மற்றும் அழுத்தத்தால் ஏற்படும் சேதங்களை முழுமையாகத் தடுத்து, வேஃபரின் ஒருமைப்பாட்டை உறுதி செய்கிறது.

 

தற்போது, ​​லான்பாவோ CCD கம்பி விட்டம் திருத்தும் சென்சார், வேஃபர் முன்-சீரமைப்பு, அசெம்பிளி லைன் பரிமாற்றத் திருத்தம், முன்-துண்டாக்கும் சீரமைப்பு மற்றும் முன்-பேக்கேஜிங் நிலைப்படுத்தல் போன்ற முக்கிய செயல்முறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இது நிகழ்நேர நிலை விலகல் கண்காணிப்பு, தரவு பின்னூட்டம் மற்றும் டைனமிக் திருத்த மூடிய-சுற்று கட்டுப்பாட்டைச் செய்ய முடியும், இதன் மூலம் செயல்முறை முழுவதும் வேஃபர்கள் நிலையான செயலாக்க நிலைகளையும் பரிமாற்றப் பாதைகளையும் பராமரிப்பதை உறுதி செய்கிறது. சீரமைப்பு விலகல்களால் ஏற்படும் குறைபாடுள்ள தயாரிப்புகள், மூலப்பொருள் இழப்புகள் மற்றும் செயல்முறை மறுவேலை போன்ற பெருமளவு உற்பத்திச் சிக்கல்களை இது அடிப்படையில் தீர்க்கிறது. அளவிடப்பட்ட தரவுகளின்படி, லான்பாவோ CCD திருத்தும் தீர்வுடன், கைமுறை அளவுத்திருத்தச் செலவுகள் 80% குறைக்கப்படுகின்றன, மேலும் உபகரணச் செயலிழப்பு நேரம் கணிசமாகக் குறைக்கப்படுகிறது. இது செலவுக் குறைப்பு, செயல்திறன் மேம்பாடு மற்றும் தர மேம்பாடு ஆகிய இரட்டை இலக்குகளை அடைய நிறுவனங்களுக்கு உதவுகிறது.

 

PDM லேசர் CCD கம்பி விட்டம் அளவீட்டு சென்சார்

பிடிஎம்

நேர்த்தியான வடிவமைப்பு, எடை குறைந்த அலுமினிய உறை, பொருத்துவதற்கும் அகற்றுவதற்கும் எளிதானது.

பயன்படுத்த எளிதான டிஜிட்டல் காட்சியுடன் கூடிய வசதியான செயல்பாட்டுப் பலகம்

சிறிய சென்சார் மற்றும் கட்டுப்படுத்தி, நிறுவும் இடத்தை மிச்சப்படுத்துகிறது.

பரந்த அளவீட்டு வரம்பு மற்றும் உயர் துல்லியம், பல அளவீட்டு முறைகள் உள்ளன.

சிறப்பான செயல்பாடுகள், எளிதான உள்ளமைவு, பரந்த அளவிலான பயன்பாடுகள்

பிடிஎம் 2

 

 

PDT ஒளிமின்னியல் தொலைவு அளக்கும் சென்சார்

பிடிடி

ஒன்றுக்கு இரண்டு இணைப்பு, பல கட்டுப்படுத்தி அடுக்குமுறை மற்றும் ஈதர்கேட் வலையமைப்பு ஆகியவற்றுடன் இணக்கமானது.
பல்வேறு முறைகளில் பரந்த அளவிலான, உயர் துல்லியமான அளவீடு வசதி உள்ளது.
நேர்த்தியான வடிவமைப்பு, உறுதியான மற்றும் எடை குறைந்த அலுமினிய உறை
இரட்டை டிஜிட்டல் காட்சியுடன் கூடிய வசதியான செயல்பாட்டுப் பலகம்
எளிதான நிறுவல் மற்றும் சீரமைப்புக்கான ஒளியியல் அச்சு சீரமைப்பு காட்டி

 பிடிடி 2

 

தொழில்துறை உணர்தலில் ஆழமாக ஈடுபட்டுள்ள ஒரு உயர் தொழில்நுட்ப நிறுவனமாக, லான்பாவோ சென்சிங், குறைக்கடத்தி நுண்ணறிவு உற்பத்தியில் உள்ள சிக்கல்களைத் தீர்ப்பதிலும், உயர்தர உற்பத்திக்கு ஏற்றவாறு திருத்தம் மற்றும் தொலைவு அளவிடும் உணர் கருவிகளை உருவாக்குவதிலும் கவனம் செலுத்துகிறது. அதன் CCD கம்பி விட்டம் திருத்த உணரியானது, வேஃபர் துல்லிய செயலாக்கச் சூழல்களுக்காக பிரத்தியேகமாகத் தனிப்பயனாக்கப்பட்டுள்ளது. இது குறைக்கடத்தித் துறையின் உயர் துல்லியம், உயர் நிலைத்தன்மை மற்றும் உயர் நம்பகத்தன்மை கொண்ட பெருமளவு உற்பத்தித் தரநிலைகளைத் துல்லியமாகப் பூர்த்தி செய்கிறது. EtherCAT தொழில்துறை பஸ்ஸை ஆதரிப்பதால், இது பல்வேறு தானியங்கி வேஃபர் உற்பத்தி வரிசைகளுடன் தடையின்றி இணைக்க முடியும். எதிர்காலத்தில், லான்பாவோ சென்சிங் குறைக்கடத்தித் துறையில் தனது இருப்பைத் தொடர்ந்து ஆழப்படுத்தி, உணர்தல் திருத்தத் தொழில்நுட்பம் மற்றும் தயாரிப்பு செயல்திறனைத் தொடர்ச்சியாக மேம்படுத்தி, வலுவான தொழில்துறை உணர்தல் திறன்களுடன் சீனாவின் குறைக்கடத்தித் துறையின் பெரிய அளவிலான, துல்லியமான மற்றும் திறமையான மேம்பாட்டிற்கு வலு சேர்க்கும்.

 


பதிவிட்ட நேரம்: ஜூன்-10-2026