Sensorên Qûtra Têla CCD Nûjenkirina Pêvajoyên Wafer ên Nîvconductor Hêz Didin

Her ku çêkirina nîvconductoran dikeve serdema nanometreyan, wafer, wekî hilgirên sereke yên çîpan, rasterast berhem û lêçûnê bi rêya rastbûna pozîsyona xwe û hevsengiya goşeyî ya di dema hilberandin û veguhastinê de diyar dikin.

 

Di dema perçekirin, hûrkirin, pêçandin, perçekirin, hevrêzkirina pêş-pakêtkirinê û pêvajoyên din de, wafer ji ber lerizîna mekanîkî, xeletiyên veguhastinê û xeletiyên amûran meyldarê veqetînên piçûk, meylên goşeyî û guherînên rêgehê ne. Heta xeletiyên asta mîkronê jî dikarin bibin sedema pirsgirêkên girseyî yên wekî çîpkirina birrînê, veqetîna rûberê û têkçûna girêdanê, ku kapasîteya hilberînê û başkirina hilberînê bi giranî sînordar dike. Rêbazên bicihkirina mekanîkî yên kevneşopî û hevrêzkirina destî xwedî rastbûnek kêm û bersiva hêdî ne, nikarin xwe biguncînin hilberîna girseyî ya bilez û hewcedariyên pêvajoyên pêşkeftî bicîh bînin.

 

Li hember vê paşxaneyê, sensora rastkirina qûtra têlê ya Lanbao CCD, bi kapasîteyên xwe yên bingehîn ên rastkirina bêtemas, rastbûna bilind û dînamîk a rast-dem, bûye amûrek piştgirî ya bingehîn ji bo rastkirina rastbûna rast û devîasyonê di pêvajoyên çêkirina waferên nîvconductor de. Ew garantiyên pêbawer ji bo hilberîna rastbûna otomatîk peyda dike.

 

Di dema xebitandinê de, veguhezkar perdeyeke ronahiyê ya paralel a yekreng çêdike ku qiraxa waferê vedişêre. Matrîksa CCD ya dawiya wergirtinê sînorê ronahî-tariyê yê astengkirî digire, nirxên veqetandina waferê di wextê rast de derdixe, wan vedigerîne pergala kontrola xeta hilberînê, û platforma UVW dimeşîne da ku rastkirina dînamîk a asta milîçirkeyan temam bike, û kontrola xeleka girtî ya pîvandin - hesabkirin - rastkirinê pêk tîne. Tevahiya pêvajoyê tenê hesaskirina pozîsyonê ya li ser bingeha daneyan pêk tîne, bêyî wênegirtin, wênekirin an tespîtkirina kêmasiyan. Ew bersivek zûtir, aramiya bihêztir û lêçûnek kêmtir peyda dike, ku bi senaryoyên hilberîna girseyî ya nîvconductor re bi tevahî li hev dike.

 

Sensora rastkirina qûtra têla Lanbao CCD bi awayekî armanckirî hatiye optimîzasyonkirin, rastbûneke berhevkirinê ya ultra-bilind a ±1 μm bi dest xistiye, ku dikare bi awayekî rast cihguherînên piçûk û guherînên goşeyî yên qiraxên waferê yên 8/12 înç tomar bike. Bi algorîtmayeke tezmînata germahiya dînamîk ve hatî çêkirin, ew xwedan katsayiyeke germahiyê ya bi qasî ±8 μm/℃ ye, ku bi bandor li hember guherînên germahiya atolyeyê, lerizînên piçûk û destwerdana tozê li ber xwe dide. Di dema xebata domdar a demdirêj de, ew daneyên sabît bêyî xeletiyên drift an kalibrasyonê diparêze. Bi piştgiriya rastkirina dînamîk a bilez a bênavber a 24/7, ew rastbûna hevrêziya asta nanometre peyda dike di heman demê de karîgeriya herikîna xeta hilberînê bi girîngî baştir dike, rastbûn û karîgeriyê hevseng dike.

 

Bi salan teknolojiya hestiyariya pîşesaziyê ya berhevkirî, sensora rastkirina qûtra têla Lanbao CCD sê avantajên bingehîn di rastkirina wafer de pêşkêş dike, ku bi tevahî daxwazên hişk ên hilberîna girseyî ya nîvconductor bicîh tîne:

• Rastkirina dînamîk a rastbûna bilind:Daneyên diametera têla qiraxê û pozîsyonê di wextê rast de berhev dike, bi bersiva asta mîlîçirkeyan ji bo rastkirina guherînê. Ew derengketina hevrêziya statîk ji holê radike û li gorî xetên hilberînê yên otomatîk ên bilez diguhere.

• Aramiya bilind û operasyona dijî-destwerdanê:Bi moduleke fîltera dijî-çavvedanê ve hatîye sazkirin, ew di bin ronahiya 3000 lûks de bi awayekî sabît dixebite, û li gorî paqijiya bilind û şert û mercên xebatê yên destwerdana pir zêde ya atolyeyên nîvconductor digunce.

• Guhertoya bêtemas û bêzirar:Pîvana bêtemas a perdeya ronahiya optîkî dipejirîne, ji ber vê yekê têkiliya bi rû û qiraxa waferê re dûr dikeve. Bi tevahî rê li ber xêzkirin û zirara derxistinê ya li ser waferên pir zirav (≤200 μm) digire, û yekparebûna waferê misoger dike.

 

Niha, sensora rastkirina qûtra têla Lanbao CCD bi berfirehî di pêvajoyên sereke de wekî pêş-hevrêzkirina waferan, rastkirina veguhestina xeta montajê, hevrêzkirina pêş-qûtkirinê û pozîsyona pêş-pakkirinê tê bikar anîn. Ew dikare çavdêriya devîasyona pozîsyonê ya rast-dem, bersiva daneyan û kontrola çerxa girtî ya rastkirina dînamîk pêk bîne, piştrast bike ku wafer pozîsyonên pêvajoyê yên standard û rêyên veguhestinê di tevahiya pêvajoyê de diparêzin. Ew bi bingehîn pirsgirêkên hilberîna girseyî yên wekî hilberên xelet, windahiyên materyalan û ji nû ve xebata pêvajoyê ya ji ber veqetandinên hevrêzkirinê çareser dike. Daneyên pîvandî nîşan didin ku bi çareseriya rastkirina CCD ya Lanbao, lêçûnên kalibrkirina destan bi rêjeya %80 kêm dibin, û dema bêkarbûna alavan bi girîngî kêm dibe, ku alîkariya pargîdaniyan dike ku bigihîjin du armancên kêmkirina lêçûn, başkirina karîgeriyê û nûvekirina kalîteyê.

 

 

 

Wekî pargîdaniyek teknolojiya bilind ku bi kûrahî di warê hesaskirina pîşesaziyê de mijûl e, Lanbao Sensing balê dikişîne ser çareserkirina xalên êşê di hilberîna aqilmend a nîvconductor de û pêşxistina cîhazên hesaskirina rastkirin û pîvandinê yên ku ji bo hilberîna asta bilind hatine çêkirin. Sensora wê ya rastkirina qûtra têla CCD bi taybetî ji bo senaryoyên pêvajoya rastbûna waferê hatî çêkirin, bi rastî li gorî standardên hilberîna girseyî ya rastbûna bilind, aramiya bilind û pêbaweriya bilind a pîşesaziya nîvconductor tê. Bi piştgiriya otobusa pîşesaziyê ya EtherCAT, ew dikare bi rengek bêkêmasî bi xetên hilberîna waferê yên otomatîkî yên cûrbecûr ve girêbide. Di pêşerojê de, Lanbao Sensing dê hebûna xwe di sektora nîvconductor de kûrtir bike, teknolojiya rastkirina hesaskirinê û performansa hilberê bi rengek dubarekirî çêtir bike, û nûvekirina mezin, rast û bibandor a pîşesaziya nîvconductor a Çînê bi kapasîteyên hesaskirina pîşesaziyê yên bihêz xurt bike.