CCD vírþvermálsskynjarar knýja uppfærslu á hálfleiðaraþverferlum

Þegar framleiðsla hálfleiðara gengur inn í nanómetratímabilið ákvarða skífur, sem kjarnaflutningsaðilar örgjörva, beint afköst og kostnað með staðsetningarnákvæmni þeirra og hornsamkvæmni við vinnslu og flutning.

 

Við sneiðingu, mala, húðun, teningaskurð, forpökkun og aðrar aðferðir eru skífur viðkvæmar fyrir smávægilegum frávikum, hornhalla og brautarfrávikum vegna vélrænna titrings, flutningsvillna og frávika í verkfærum. Jafnvel frávik á míkrómetrastigi geta leitt til vandamála í massa eins og flísunar í skurði, frávika í yfirborði og bilunar í límingu, sem takmarkar verulega framleiðslugetu og aukna afköst. Hefðbundnar aðferðir við vélræna staðsetningu og handvirkar aðferðir við röðun eru með litla nákvæmni og hæga svörun, aðlagast ekki miklum fjöldaframleiðslu og uppfylla ekki kröfur háþróaðra ferla.

 

Í ljósi þessa hefur Lanbao CCD vírþvermálsleiðréttingarskynjari orðið að kjarnabúnaði fyrir nákvæma röðun og fráviksleiðréttingu í framleiðsluferlum á hálfleiðurum, með kjarnaeiginleikum sínum snertilausri, mikilli nákvæmni og kraftmikilli rauntímaleiðréttingu. Hann veitir áreiðanlegar tryggingar fyrir sjálfvirka nákvæmnisframleiðslu.

 

Meðan á notkun stendur býr sendandinn til einsleitt samsíða ljóstjald sem hylur brún skífunnar. CCD-fylkið á móttökuendanum fangar lokuð ljós-myrkur mörk, sendir frá sér skífubreytingargildi í rauntíma, sendir þau aftur til stjórnkerfis framleiðslulínunnar og knýr UVW-pallinn til að ljúka leiðréttingu á millisekúndna stigi, sem myndar lokaða lykkjustýringu á mælingum, útreikningum og leiðréttingum. Allt ferlið framkvæmir eingöngu gagnabundna staðsetningarskynjun, án ljósmyndunar, myndgreiningar eða gallagreiningar. Það skilar hraðari svörun, sterkari stöðugleika og lægri kostnaði, sem passar fullkomlega við framleiðslu á hálfleiðurum í fjöldaframleiðslu.

 

CCD vírþvermálsleiðréttingarskynjarinn frá Lanbao hefur verið markvisst fínstilltur og náð mjög mikilli nákvæmni upp á ±1 μm, sem getur fangað örsmáar tilfærslur og hornfrávik á brúnum 8/12 tommu skífu. Hann er búinn reiknirit fyrir breytilega hitastigsbreytingu og státar af hitastuðli allt niður í ±8 μm/℃, sem þolir á áhrifaríkan hátt hitastigssveiflur í verkstæði, minniháttar titring og ryktruflanir. Hann viðheldur stöðugum gögnum án rekstrar- eða kvörðunarvillna við langvarandi samfellda notkun. Hann styður ótruflaða, hraðvirka breytilega leiðréttingu allan sólarhringinn og tryggir nákvæmni í röðun á nanómetrastigi, bætir verulega skilvirkni framleiðslulínunnar og jafnar nákvæmni og skilvirkni.

 

Með áralangri uppsöfnun iðnaðarskynjunartækni býður Lanbao CCD vírþvermálsleiðréttingarskynjari upp á þrjá kjarnakosti í leiðréttingu á skífum og uppfyllir nákvæmlega strangar kröfur fjöldaframleiðslu hálfleiðara:

• Nákvæm leiðrétting á virkni:Safnar gögnum um þvermál og staðsetningu brúnarvírs í rauntíma, með svörun á millisekúndustigi til að leiðrétta frávik. Það útrýmir töfinni við kyrrstæða röðun og aðlagast sjálfvirkum framleiðslulínum með miklum hraða.

• Mikil stöðugleiki og truflunarvörn:Það er búið glampavörn og starfar stöðugt við 3000 lux lýsingu og aðlagast þannig miklu hreinlæti og mjög truflandi vinnuskilyrðum í hálfleiðaraverkstæðum.

• Snertilaus og skemmdalaus aðlögun:Notar snertilausa mælingu á ljóstjaldi og forðast snertingu við yfirborð og brún skífunnar. Kemur í veg fyrir rispur og skemmdir vegna útdráttar á örþunnum skífum (≤200 μm) og tryggir heilleika skífunnar.

 

Eins og er er CCD-leiðréttingarskynjari Lanbao fyrir vírþvermál mikið notaður í lykilferlum eins og forstillingu á skífum, leiðréttingu á flutningi á samsetningarlínu, forstillingu á skurðarvél og staðsetningu fyrir umbúðir. Hann getur framkvæmt rauntíma eftirlit með staðsetningarfrávikum, gagnaendurgjöf og lokaða lykkjustýringu á virkri leiðréttingu, sem tryggir að skífurnar haldi stöðluðum vinnslustöðum og flutningsferlum í gegnum allt ferlið. Hann leysir í grundvallaratriðum vandamál í fjöldaframleiðslu eins og gallaðar vörur, efnistap og endurvinnslu ferla sem orsakast af frávikum í stillingu. Mæligögn sýna að með CCD-leiðréttingarlausn Lanbao er kostnaður við handvirka kvörðun lækkaður um 80% og niðurtími búnaðar er verulega styttur, sem hjálpar fyrirtækjum að ná tvöföldum markmiðum um kostnaðarlækkun, aukna skilvirkni og gæðauppfærslu.

 

 

 

Sem hátæknifyrirtæki sem hefur djúpa reynslu af iðnaðarskynjun leggur Lanbao Sensing áherslu á að takast á við vandamál í greindri framleiðslu á hálfleiðurum og þróa leiðréttingar- og mælikvarðaskynjara sem eru sniðnir að háþróaðri framleiðslu. CCD-vírþvermálsleiðréttingarskynjari þeirra er sérsniðinn fyrir nákvæmnivinnslu á skífum og uppfyllir nákvæmlega kröfur hálfleiðaraiðnaðarins um mikla nákvæmni, mikla stöðugleika og mikla áreiðanleika í fjöldaframleiðslu. Með því að styðja EtherCAT iðnaðarrútuna getur skynjarinn tengst óaðfinnanlega ýmsum sjálfvirkum skífuframleiðslulínum. Í framtíðinni mun Lanbao Sensing halda áfram að styrkja viðveru sína í hálfleiðaraiðnaðinum, endurtekið hámarka leiðréttingartækni skynjunar og afköst vöru og gera stórfellda, nákvæma og skilvirka uppfærslu á kínverska hálfleiðaraiðnaðinum kleift að nýta öfluga iðnaðarskynjunargetu.