Les capteurs de diamètre de fil CCD permettent de moderniser les procédés de fabrication des plaquettes de semi-conducteurs.

Avec l'entrée de la fabrication des semi-conducteurs dans l'ère nanométrique, les plaquettes, supports essentiels des puces, déterminent directement le rendement et le coût grâce à leur précision de positionnement et à leur cohérence angulaire lors du traitement et du transport.

 

Tout au long des opérations de découpe, de meulage, de revêtement, de découpage, d'alignement avant conditionnement et autres procédés, les plaquettes sont sujettes à de légers décalages, inclinaisons angulaires et déviations de trajectoire dues aux vibrations mécaniques, aux erreurs de transmission et aux défauts d'outillage. Même des écarts de l'ordre du micron peuvent engendrer des problèmes majeurs tels que des ébréchures lors de la découpe, des décalages de superposition et des défauts de collage, limitant fortement la capacité de production et l'amélioration du rendement. Les méthodes traditionnelles de positionnement mécanique et d'alignement manuel présentent une faible précision et une lenteur de réponse, ne permettant pas de s'adapter à la production de masse à grande vitesse ni de répondre aux exigences des procédés avancés.

 

Dans ce contexte, le capteur de correction de diamètre de fil CCD de Lanbao est devenu un dispositif essentiel pour l'alignement précis et la correction des écarts dans les procédés de fabrication de plaquettes de semi-conducteurs, grâce à ses atouts majeurs : correction dynamique en temps réel, sans contact et de haute précision. Il garantit ainsi une production automatisée de précision fiable.

 

En fonctionnement, l'émetteur génère un rideau lumineux parallèle et uniforme recouvrant le bord de la plaquette. La matrice CCD réceptrice capture la limite entre la zone éclairée et la zone sombre, fournit en temps réel les valeurs de décalage de la plaquette, les transmet au système de contrôle de la ligne de production et pilote la plateforme UVW pour effectuer une correction dynamique à la milliseconde près, formant ainsi une boucle de contrôle fermée de mesure, de calcul et de correction. L'ensemble du processus repose exclusivement sur la détection de position à partir de données, sans photographie, imagerie ni détection de défauts. Il offre une réponse plus rapide, une stabilité accrue et un coût réduit, répondant parfaitement aux exigences de la production de masse de semi-conducteurs.

 

Le capteur de correction de diamètre de fil CCD Lanbao a bénéficié d'une optimisation ciblée, atteignant une précision de collecte ultra-élevée de ±1 μm. Il permet ainsi de capturer avec précision les infimes déplacements et déviations angulaires des bords des plaquettes de 8/12 pouces. Doté d'un algorithme de compensation dynamique de la dérive thermique, il affiche un coefficient de température aussi faible que ±8 μm/℃, résistant efficacement aux fluctuations de température ambiante, aux vibrations mineures et aux interférences de poussière. Il garantit des données stables, sans dérive ni erreur d'étalonnage, même en fonctionnement continu et prolongé. Prenant en charge une correction dynamique haute vitesse ininterrompue 24h/24 et 7j/7, il assure une précision d'alignement nanométrique tout en améliorant significativement l'efficacité des lignes de production, pour un équilibre optimal entre précision et rendement.

 

Grâce à des années d'expérience dans le domaine des technologies de détection industrielle, le capteur de correction de diamètre de fil CCD de Lanbao offre trois avantages clés en matière de correction de plaquettes, répondant précisément aux exigences rigoureuses de la production de masse de semi-conducteurs :

• Correction dynamique de haute précision :Collecte en temps réel les données de diamètre et de position du fil de bordure, avec une réponse de l'ordre de la milliseconde pour la correction des écarts. Élimine le délai d'alignement statique et s'adapte aux lignes de production automatisées à haute vitesse.

• Haute stabilité et fonctionnement anti-interférences :Doté d'un module de filtre anti-éblouissement, il fonctionne de manière stable sous un éclairage de 3000 lux, s'adaptant aux conditions de travail hautement propres et très perturbées des ateliers de semi-conducteurs.

• Adaptation sans contact et sans dommage :Ce procédé de mesure sans contact par barrière optique évite tout contact avec la surface et les bords de la plaquette. Il prévient ainsi les rayures et les dommages dus à l'extrusion sur les plaquettes ultra-minces (≤ 200 μm), garantissant leur intégrité.

 

Actuellement, le capteur de correction de diamètre de fil CCD Lanbao est largement utilisé dans des processus clés tels que le pré-alignement des plaquettes, la correction de la transmission sur les lignes d'assemblage, l'alignement avant découpe et le positionnement avant conditionnement. Il assure une surveillance en temps réel des écarts de position, un retour d'information et une correction dynamique en boucle fermée, garantissant ainsi le maintien des plaquettes dans des positions de traitement et des trajectoires de transmission standard tout au long du processus. Il résout fondamentalement les problèmes de production de masse tels que les produits défectueux, les pertes de matière et les retouches dues aux décalages d'alignement. Les données mesurées montrent qu'avec la solution de correction CCD Lanbao, les coûts d'étalonnage manuel sont réduits de 80 % et les temps d'arrêt des équipements sont considérablement diminués, permettant aux entreprises d'atteindre un double objectif : réduction des coûts, amélioration de l'efficacité et montée en gamme de la qualité.

 

 

 

Entreprise de haute technologie spécialisée dans la détection industrielle, Lanbao Sensing s'attache à résoudre les problèmes liés à la fabrication intelligente de semi-conducteurs et à développer des dispositifs de correction et de télémétrie adaptés aux procédés de fabrication haut de gamme. Son capteur CCD de correction du diamètre des fils est conçu spécifiquement pour les applications de traitement de précision des plaquettes, répondant ainsi aux exigences élevées de précision, de stabilité et de fiabilité de la production de masse dans l'industrie des semi-conducteurs. Compatible avec le bus industriel EtherCAT, il s'intègre facilement aux différentes lignes de production automatisées de plaquettes. À l'avenir, Lanbao Sensing entend renforcer sa présence dans le secteur des semi-conducteurs, optimiser en continu ses technologies de correction et les performances de ses produits, et contribuer à la modernisation à grande échelle, précise et efficace de l'industrie chinoise des semi-conducteurs grâce à des capacités de détection industrielle robustes.