Cov CCD Wire Diameter Sensors Ua Rau Kev Txhim Kho Cov Txheej Txheem Semiconductor Wafer

Thaum kev tsim khoom semiconductor nkag mus rau hauv lub sijhawm nanometer, wafers, ua cov neeg nqa khoom tseem ceeb ntawm cov chips, txiav txim siab ncaj qha rau cov txiaj ntsig thiab tus nqi los ntawm lawv qhov tseeb ntawm qhov chaw thiab lub kaum sab xis thaum lub sijhawm ua thiab kev thauj mus los.

 

Thoob plaws hauv kev txiav, kev sib tsoo, txheej, kev txiav, kev sib dhos ua ntej ntim khoom thiab lwm yam txheej txheem, cov wafers feem ntau muaj qhov me me, lub kaum sab xis thiab kev hloov pauv ntawm txoj kev vim yog kev co ntawm lub tshuab, kev ua yuam kev kis thiab kev hloov pauv ntawm cov cuab yeej. Txawm tias qhov kev hloov pauv ntawm qib micron tuaj yeem ua rau muaj teeb meem loj xws li kev txiav chipping, kev sib tshooj ntawm qhov sib tshooj thiab kev sib txuas tsis ua haujlwm, txwv tsis pub muaj peev xwm tsim khoom thiab kev txhim kho cov txiaj ntsig. Cov txheej txheem kev teeb tsa tshuab ib txwm muaj thiab kev teeb tsa tes ua haujlwm muaj qhov tseeb qis thiab teb qeeb, tsis ua haujlwm hloov kho rau kev tsim khoom loj ceev thiab ua tau raws li cov kev xav tau ntawm cov txheej txheem siab heev.

 

Nyob rau hauv qhov teeb meem no, Lanbao CCD hlau txoj kab uas hla kho qhov sensor tau dhau los ua lub cuab yeej txhawb nqa rau kev sib phim meej thiab kev kho qhov sib txawv hauv cov txheej txheem tsim khoom semiconductor wafer, nrog nws cov peev xwm tseem ceeb ntawm kev tsis sib cuag, kev ntsuas siab thiab kev kho qhov tseeb tiag tiag. Nws muab kev lees paub txhim khu kev qha rau kev tsim khoom raug.

 

Thaum lub sijhawm ua haujlwm, lub transmitter tsim ib daim ntaub thaiv teeb pom kev zoo sib xws uas npog ntug wafer. Lub CCD matrix uas tau txais-kawg ntes tau qhov ciam teb teeb-tsaus uas raug thaiv, tso tawm cov nqi wafer offset hauv lub sijhawm tiag tiag, pub lawv rov qab mus rau lub kaw lus tswj kab ntau lawm, thiab tsav lub platform UVW kom ua tiav qhov kev kho dynamic theem millisecond, tsim kev tswj hwm kev ntsuas - kev xam - kev kho. Tag nrho cov txheej txheem tsuas yog ua qhov kev ntsuas qhov chaw raws li cov ntaub ntawv, tsis muaj kev thaij duab, kev thaij duab lossis kev kuaj pom qhov tsis zoo. Nws xa cov lus teb sai dua, kev ruaj khov dua thiab tus nqi qis dua, sib haum xeeb zoo meej rau cov xwm txheej tsim khoom semiconductor loj.

 

Lanbao CCD hlau txoj kab uas hla kho qhov sensor tau dhau los ua qhov kev ua kom zoo tshaj plaws, ua tiav qhov tseeb ntawm kev sau ntau ntawm ± 1 μm, uas tuaj yeem ntes tau qhov me me thiab qhov sib txawv ntawm 8/12-nti wafer ntug. Nruab nrog lub dynamic kub drift compensation algorithm, nws muaj qhov kub coefficient qis li ± 8 μm / ℃, zoo tiv taus qhov kub hloov pauv ntawm lub chaw ua haujlwm, kev co me me thiab kev cuam tshuam plua plav. Nws tswj cov ntaub ntawv ruaj khov yam tsis muaj qhov yuam kev lossis calibration thaum lub sijhawm ua haujlwm ntev. Txhawb nqa 24/7 tsis muaj kev cuam tshuam kev kho dynamic ceev ceev, nws ua kom ntseeg tau tias nanometer-qib sib dhos raug thaum txhim kho cov kab ntau lawm ua haujlwm zoo, sib npaug qhov tseeb thiab ua haujlwm tau zoo.

 

Nrog ntau xyoo ntawm kev siv tshuab kev lag luam, Lanbao CCD hlau txoj kab uas hla kho qhov sensor muaj peb qhov zoo tseem ceeb hauv kev kho wafer, ua tau raws li qhov xav tau ntawm kev tsim khoom semiconductor loj:

• Kev kho kom raug siab:Sau cov ntaub ntawv txoj kab uas hla ntawm ntug hlau thiab qhov chaw hauv lub sijhawm tiag tiag, nrog rau kev teb millisecond-level rau kev kho qhov sib txawv. Nws tshem tawm qhov qeeb ntawm kev sib dhos zoo li qub thiab hloov kho rau cov kab ntau lawm ceev ceev.

• Kev ruaj khov siab thiab kev cuam tshuam kev ua haujlwm:Nruab nrog lub module lim dej tiv thaiv kev ci ntsa iab, nws ua haujlwm ruaj khov nyob rau hauv 3000 lux teeb pom kev zoo, hloov kho rau qhov huv si thiab kev cuam tshuam ua haujlwm ntawm cov chaw ua haujlwm semiconductor.

• Kev hloov kho tsis sib chwv thiab tsis ua puas tsuaj:Txais yuav qhov ntsuas tsis sib cuag ntawm lub teeb pom kev zoo, zam kev sib cuag nrog qhov chaw thiab ntug ntawm lub wafer. Nws tiv thaiv tag nrho cov khawb thiab kev puas tsuaj rau cov wafer nyias heev (≤200 μm), kom ntseeg tau tias lub wafer muaj kev ruaj khov.

 

Tam sim no, Lanbao CCD hlau txoj kab uas hla kho qhov sensor yog siv dav hauv cov txheej txheem tseem ceeb xws li wafer pre-alignment, kev sib dhos kab sib txuas, kev sib dhos ua ntej dicing thiab kev teeb tsa ua ntej ntim khoom. Nws tuaj yeem ua qhov kev saib xyuas qhov chaw tiag tiag, cov ntaub ntawv tawm tswv yim thiab kev kho dynamic kaw-loop tswj, xyuas kom meej tias wafers tswj cov txheej txheem ua tiav thiab cov kev sib kis thoob plaws hauv cov txheej txheem. Nws daws cov teeb meem ntau lawm xws li cov khoom tsis zoo, cov khoom poob thiab cov txheej txheem rov ua dua los ntawm kev sib dhos offsets. Cov ntaub ntawv ntsuas qhia tau hais tias nrog Lanbao CCD kev daws teeb meem, cov nqi calibration tes raug txo los ntawm 80%, thiab cov khoom siv downtime raug txiav ntau heev, pab cov lag luam ua tiav ob lub hom phiaj ntawm kev txo nqi, kev txhim kho kev ua haujlwm zoo thiab kev txhim kho zoo.

 

 

 

Ua ib lub tuam txhab thev naus laus zis siab heev uas koom nrog kev lag luam sensing, Lanbao Sensing tsom mus rau kev daws teeb meem mob hauv kev tsim khoom ntse semiconductor thiab tsim cov khoom siv kho thiab cov khoom siv sensing uas tsim rau kev tsim khoom siab. Nws lub CCD hlau txoj kab uas hla kho sensor yog kho tshwj xeeb rau wafer precision processing scenarios, ua tau raws li cov qauv siab, ruaj khov thiab kev ntseeg siab ntawm kev lag luam semiconductor. Txhawb nqa EtherCAT industrial bus, nws tuaj yeem txuas nrog ntau yam kab ntau lawm wafer. Yav tom ntej, Lanbao Sensing yuav txuas ntxiv mus tob zuj zus nws qhov muaj nyob hauv semiconductor sector, ua kom zoo dua qub sensing kho tshuab thiab kev ua haujlwm ntawm cov khoom, thiab txhawb nqa kev txhim kho loj, meej thiab ua haujlwm tau zoo ntawm Tuam Tshoj txoj kev lag luam semiconductor nrog cov peev xwm sensing muaj zog.