Àwọn Sensọ Ìwọ̀n Okùn CCD ń fún Ìmúdàgbàsókè Àwọn Ìlànà Wafer Semiconductor lágbára

Bí iṣẹ́ ṣíṣe semiconductor ṣe ń wọ àkókò nanometer, àwọn wafers, gẹ́gẹ́ bí àwọn olùgbé mojuto àwọn eerun, ń pinnu èrè àti iye owó taara nípasẹ̀ ìṣedéédé ipò wọn àti ìdúróṣinṣin igun nígbà iṣẹ́ ṣíṣe àti gbigbe.

 

Ní gbogbo ìgbà tí a bá ń gé e, tí a ń rẹ́rìn-ín, tí a ń bò ó, tí a ń gé e, tí a ń gé e, tí a ń tò ṣáájú kí a tó fi pamọ́ àti àwọn iṣẹ́ mìíràn, àwọn wafers máa ń ní ìfàsẹ́yìn kékeré, ìtẹ̀sí igun àti ìyàtọ̀ ipa ọ̀nà nítorí ìgbọ̀nsẹ̀ ẹ̀rọ, àṣìṣe ìgbékalẹ̀ àti ìyàtọ̀ irinṣẹ́. Kódà àwọn ìyàtọ̀ ipele micron lè yọrí sí àwọn ìṣòro bí gígé e, ìyípadà overlay àti ìkùnà ìsopọ̀, tí ó ń dín agbára ìṣelọ́pọ́ àti ìdàgbàsókè èso kù gidigidi. Ọ̀nà ìdúró ẹ̀rọ àti ọ̀nà tí a ń gbà ṣe é ní ìṣedéédé kékeré àti ìdáhùn díẹ̀díẹ̀, tí kò bá ìṣiṣẹ́ ibi-iṣẹ́ gíga mu, tí ó sì ń bá àwọn ohun tí a ń béèrè fún mu.

 

Lójú èyí, sensọ atunṣe iwọn ila opin waya Lanbao CCD ti di ohun elo atilẹyin pataki fun tito deede ati atunṣe iyapa ninu awọn ilana iṣelọpọ wafer semiconductor, pẹlu awọn agbara mojuto rẹ ti aisi ifọwọkan, deede giga ati atunṣe akoko gidi ti o lagbara. O pese awọn iṣeduro ti o gbẹkẹle fun iṣelọpọ deede adaṣe adaṣe.

 

Nígbà tí ó ń ṣiṣẹ́, ẹ̀rọ agbéròyìnjáde náà ń ṣe aṣọ ìbòrí ìmọ́lẹ̀ tí ó jọra tí ó bo etí wafer náà. Matrix CCD tí ó gba ẹ̀gbẹ́ náà gba ààlà ìmọ́lẹ̀-dúdú tí a ti dí, ó ń mú àwọn iye ìyípadà wafer jáde ní àkókò gidi, ó ń fún wọn padà sí ètò ìṣàkóso ìlà iṣẹ́dá, ó sì ń darí ìpele UVW láti parí àtúnṣe ìyípadà ìpele millisecond, tí ó ń ṣe àtúnṣe ìṣàkóṣo ìwọ́n – ìṣirò – ìṣàtúnṣe. Gbogbo iṣẹ́ náà ń ṣe ìwádìí ipò tí ó dá lórí dátà nìkan, láìsí fọ́tò, àwòrán tàbí àbùkù. Ó ń fúnni ní ìdáhùn kíákíá, ìdúróṣinṣin tí ó lágbára àti owó tí ó dínkù, tí ó bá àwọn ìṣẹ̀lẹ̀ iṣẹ́dá ibi-ẹ̀rọ semiconductor mu ní ìbámu pẹ̀lú.

 

Sensọ àtúnṣe ìlà okùn waya Lanbao CCD ti ṣe àgbékalẹ̀ ìfọkànsí, ó sì ṣàṣeyọrí ìṣedéédé ìkójọpọ̀ gíga tó ±1 μm, èyí tó lè mú àwọn ìyípadà kéékèèké àti ìyàtọ̀ igun ti àwọn etí wafer 8/12-inch. Pẹ̀lú algoridimu ìyípadà otutu tó ń yí padà, ó ní ìwọ̀n otutu tó kéré tó ±8 μm/℃, ó ń kojú ìyípadà otutu ìdánilẹ́kọ̀ọ́, ìgbọ̀nsẹ̀ kékeré àti ìdènà eruku. Ó ń tọ́jú data tó dúró ṣinṣin láìsí àṣìṣe ìyípadà tàbí ìyípadà nígbà tí a bá ń ṣiṣẹ́ fún ìgbà pípẹ́. Ó ń ṣe àtìlẹ́yìn fún àtúnṣe oníyàrá gíga tó ń yí padà ní àkókò 24/7 láìsí ìdíwọ́, ó ń rí i dájú pé ìwọ̀n nanometer náà péye, ó sì ń mú kí iṣẹ́ ṣíṣe ìlà iṣẹ́ sunwọ̀n sí i, ó ń ṣe àtúnṣe ìṣedéédé àti iṣẹ́ dáadáa.

 

Pẹ̀lú ọ̀pọ̀ ọdún ti ìmọ̀-ẹ̀rọ ìṣàfihàn ilé-iṣẹ́ tí a kó jọ, sensọ̀ àtúnṣe ìlà-oòrùn waya Lanbao CCD ní àwọn àǹfààní pàtàkì mẹ́ta nínú àtúnṣe wafer, tí ó bá àwọn ìbéèrè líle ti ìṣẹ̀dá ibi-ẹ̀rọ semiconductor mu:

• Àtúnṣe ìyípadà tó péye:Ó kó ìwọ̀n ìlà opin wáyà etí àti ìdúró dátà ní àkókò gidi, pẹ̀lú ìdáhùn ìpele millisecond fún àtúnṣe ìyàtọ̀. Ó mú kí ìdúró àìdúró dúró ṣinṣin kúrò, ó sì ń bá àwọn ìlà ìṣẹ̀dá aládàáṣe gíga mu.

• Iduroṣinṣin giga ati iṣẹ idena-idalọwọ:Ní ìpèsè pẹ̀lú module àlẹ̀mọ́ tí ó ń dènà ìfọ́mọ́, ó ń ṣiṣẹ́ láìsí ìfọ́mọ́ 3000 lux, ó ń bá àwọn ibi iṣẹ́ ìmọ́tótó gíga àti ìdènà gíga ti àwọn ibi iṣẹ́ semiconductor mu.

• Àtúnṣe tí kò ní ìfọwọ́kàn àti tí kò ní ìbàjẹ́:Ó ń lo ìwọ̀n tí kò ní í ṣe pẹ̀lú aṣọ ìkélé ìmọ́lẹ̀ optical, ó sì ń yẹra fún kíkan ojú àti etí wafer náà. Ó ń dènà ìfọ́ àti ìbàjẹ́ sí àwọn wafer tín-tín-tín (≤200 μm), èyí sì ń jẹ́ kí ó jẹ́ pé wafer náà jẹ́ òótọ́.

 

Lọ́wọ́lọ́wọ́, a ń lo sensọ̀ àtúnṣe okùn waya Lanbao CCD ní gbogbogbòò nínú àwọn iṣẹ́ pàtàkì bíi ṣíṣe àtúnṣe ṣáájú wafer, ṣíṣe àtúnṣe ìgbékalẹ̀ ìlà àkójọpọ̀, ṣíṣe àtúnṣe ṣáájú dicing àti ṣíṣe àkójọpọ̀ ṣáájú. Ó lè ṣe àbójútó ìyàtọ̀ ipò gidi, àbájáde dátà àti ìṣàtúnṣe oníyípadà tí a fi ìdènà pa, rí i dájú pé àwọn wafer ń pa àwọn ipò ìṣiṣẹ́ déédéé mọ́ àti àwọn ọ̀nà ìgbékalẹ̀ jákèjádò ilana náà. Ó ń yanjú àwọn ọ̀ràn ìṣẹ̀dá púpọ̀ bí àwọn ọjà tí ó ní àbùkù, àdánù ohun èlò àti àtúnṣe ilana tí àwọn ìyípadà ìṣètò ń fà. Àwọn dátà tí a wọ̀n fihàn pé pẹ̀lú ojútùú àtúnṣe Lanbao CCD, iye owó ìṣàtúnṣe ọwọ́ dínkù ní 80%, àti pé àkókò ìdádúró ohun èlò dínkù gidigidi, èyí tí ó ń ran àwọn ilé-iṣẹ́ lọ́wọ́ láti ṣe àṣeyọrí àwọn góńgó méjì ti ìdínkù owó, ìdàgbàsókè iṣẹ́ ṣiṣe àti ìmúdàgbàsókè dídára.

 

 

 

Gẹ́gẹ́ bí ilé-iṣẹ́ ìmọ̀-ẹ̀rọ gíga kan tí ó ní ìmọ̀-ẹ̀rọ tó jinlẹ̀ nínú ìmọ̀-ẹ̀rọ ilé-iṣẹ́, Lanbao Sensing dojúkọ bí a ṣe ń kojú àwọn ìṣòro nínú iṣẹ́-ṣíṣe semiconductor onímọ̀ àti ṣíṣe àgbékalẹ̀ àwọn ẹ̀rọ ìṣàtúnṣe àti àwọn ẹ̀rọ ìṣàtúnṣe tí a ṣe fún iṣẹ́-ṣíṣe gíga. Sensọ àtúnṣe oníwọ̀n waya CCD rẹ̀ jẹ́ àdáni fún àwọn ipò ìṣiṣẹ́ wafer tí ó péye, tí ó bá àwọn ìwọ̀n iṣẹ́-ṣíṣe gíga, ìdúróṣinṣin gíga àti ìgbẹ́kẹ̀lé gíga ti ilé-iṣẹ́ semiconductor mu. Nípa ṣíṣe àtìlẹ́yìn fún ọkọ̀ akérò ilé-iṣẹ́ EtherCAT, ó lè sopọ̀ mọ́ onírúurú ìlà iṣẹ́-ṣíṣe wafer aládàáṣe láìsí ìṣòro. Ní ọjọ́ iwájú, Lanbao Sensing yóò tẹ̀síwájú láti mú kí wíwà rẹ̀ nínú ẹ̀ka semiconductor jinlẹ̀ sí i, yóò mú kí ìmọ̀-ẹ̀rọ àtúnṣe sensọ̀ àti iṣẹ́ ọjà sunwọ̀n síi, yóò sì fún ìdàgbàsókè ńlá, pípéye àti tí ó munadoko ti ilé-iṣẹ́ semiconductor ti China lágbára pẹ̀lú àwọn agbára ìmọ̀-ẹ̀rọ ilé-iṣẹ́ tí ó lágbára.