E fa'amalosia e Sensors o le Diameter o Uaea CCD le Fa'aleleia atili o Fa'agasologa o le Semiconductor Wafer

A o ulufale atu le gaosiga o semiconductor i le vaitaimi o le nanometer, o wafers, i le avea ai ma vaega autū e feaveaʻi ai chips, e fuafua saʻo ai le fua ma le tau e ala i lo latou saʻo o le tulaga ma le tutusa o le tulimanu i le taimi o le faagasologaina ma le felauaiga.

 

I le taimi atoa o le tipiina, grining, ufi, tipiina, fa'atulagaina muamua o afifiina ma isi faiga, e faigofie ona i ai ni fa'aletonu laiti, fa'asaga tulimanu ma fa'aletonu o le ala ona o le gatete fa'amekanika, fa'aletonu o le fesiitaiga ma fa'aletonu o meafaigaluega. E o'o lava i fa'aletonu o le tulaga o le micron e mafai ona o'o atu ai i fa'afitauli tetele e pei o le tipiina o le chipping, overlay offset ma le fa'aletonu o le pipii, e matua fa'atapula'aina ai le gafatia o le gaosiga ma le fa'aleleia atili o le fua. O auala masani o le tu'uina atu fa'amekanika ma le fa'atulagaina fa'a-lima e maualalo le sa'o ma le tali vave, e le mafai ai ona fetu'una'i i le gaosiga tele vave ma ausia mana'oga o faiga fa'aonaponei.

 

I lenei tulaga, ua avea ai le Lanbao CCD wire correction diameter sensor ma se masini autu e lagolago ai le fa'atulagaina sa'o ma le fa'asa'oina o le fa'aletonu i le gaosiga o semiconductor wafer, fa'atasi ai ma ona gafatia autu o le le feso'ota'i, maualuga le sa'o ma le fa'asa'oina o le taimi moni. E maua ai ni fa'amaoniga fa'atuatuaina mo le gaosiga otometi sa'o.

 

I le taimi o le fa'agaioiga, e fa'atupuina e le transmitter se ie pupuni malamalama tutusa e ufiufi ai le pito o le wafer. O le CCD matrix e maua ai le pito e pu'eina ai le tuaoi o le malamalama ma le pogisa ua poloka, e fa'aalia ai tau o le wafer offset i le taimi moni, toe fa'afo'i atu i le faiga o le puleaina o le laina gaosiga, ma fa'agaoioia le UVW platform e fa'amae'a ai le fa'asa'oga fa'a-milisekone, ma fausia ai se pulega tapuni o le fuaina - fa'atusatusaga - fa'asa'oga. O le faiga atoa e na'o le fa'atinoina o le iloa o tulaga e fa'avae i fa'amaumauga, e aunoa ma le pueina o ata, fa'ata'ita'iga po'o le iloa o mea sese. E vave ona tali atu, mautu malosi ma tau maualalo, e fetaui lelei ma tulaga o le gaosiga tele o semiconductor.

 

Ua fa'aleleia atili le masini fa'asa'o o le lautele o le uaea CCD Lanbao, ma ua ausia ai le sa'o atoatoa o le aoina o le ±1 μm, lea e mafai ona pu'eina ma le sa'o ni nai suiga laiti ma ni fa'aletonu tulimanu o pito o le wafer e 8/12-inisi. Ua fa'apipi'iina i se algorithm fa'apitoa mo le fa'aleleia o le vevela, e mitamita i le maualalo o le vevela e o'o atu i le ±8 μm/℃, e tete'e lelei ai i suiga o le vevela o le fale faigaluega, ni gatete laiti ma le fa'alavelaveina o le pefu. E tausia ai fa'amaumauga mautu e aunoa ma ni mea sese o le fa'aletonu po'o le fa'atulagaina i le taimi o le fa'agaioiga faifai pea mo se taimi umi. Lagolagoina le fa'asa'oga malosi e le fa'alavelaveina i le saoasaoa maualuga e 24/7, e fa'amautinoa ai le sa'o o le fa'atulagaina o le nanometer a'o fa'aleleia atili ai le lelei o le tafe o laina gaosiga, paleni le sa'o ma le lelei.

 

Faatasi ai ma le tele o tausaga o tekinolosi fa'atekonolosi fa'apisinisi ua fa'aputuina, o le Lanbao CCD wire correction diameter sensor e ofoina atu ni fa'amanuiaga autu se tolu i le fa'asa'oga o le wafer, ma fa'afetaui tonu ai mana'oga faigata o le gaosiga tele o semiconductor:

• Fa'asa'oga fa'asolosolo sa'o maualuga:Aoina fa'amatalaga o le lautele o le uaea pito ma le tulaga i le taimi moni, fa'atasi ai ma le tali atu i le tulaga o le milisekone mo le fa'asa'oga o le fa'aletonu. E ave'esea ai le tuai o le fa'atulagaina tumau ma fetu'una'i i laina gaosiga otometi e saoasaoa tele.

• Mausali maualuga ma le fa'agaoioiga e tete'e atu ai i fa'alavelave:Ua fa'apipi'iina i se vaega e fa'amama ai le susulu o le la, e galue mautu i lalo o le 3000 lux molling, e fetu'una'i i tulaga fa'atino o fale faigaluega semiconductor.

• Fetuunaiga e le pa'i ma e le faaleagaina:E fa'aaogaina le fuaina e le o se pa'i i le ie puipui malamalama opitika, e 'alofia ai le pa'i atu i le fogā'ele'ele ma le pito o le apa. E puipuia atoa ai ma'ila ma le fa'aleagaina o apa manifinifi (≤200 μm), ma fa'amautinoa ai le tumau lelei o apa.

 

I le taimi nei, o le masini fa'asa'o o le lautele o le uaea CCD Lanbao e fa'aaogaina lautele i faiga taua e pei o le fa'atulagaina muamua o le wafer, fa'asa'oga o le fa'asalalauga o laina fa'apotopotoga, fa'atulagaina muamua o le dicing ma le fa'atulagaina muamua o le afifiina. E mafai ona faia le mata'ituina o le fa'aletonu o tulaga i le taimi moni, fa'amatalaga toe fa'afo'i mai ma le fa'asa'oga fa'a-dynamic closed-loop control, ma ia mautinoa o lo'o tausia e wafers tulaga masani o le fa'agasologa ma ala o le fa'asalalauga i le faagasologa atoa. E foia ai fa'afitauli o le gaosiga tele e pei o oloa leaga, leiloa o meafaitino ma le toe fa'aleleia o le fa'agasologa e mafua mai i le fa'atulagaina o le fa'atulagaina. O fa'amaumauga ua fuaina e fa'aalia ai o le fofo fa'asa'o o le Lanbao CCD, e fa'aitiitia ai tau o le fa'atulagaina fa'ale-tusilima e 80%, ma e matua'i fa'aitiitia ai le taimi e le fa'aaogaina ai masini, e fesoasoani ai i pisinisi e ausia sini e lua o le fa'aitiitia o tau, fa'aleleia atili o le lelei ma le fa'aleleia atili o le lelei.

 

 

 

I le avea ai ma se pisinisi fa'atekonolosi maualuga e matua'i a'afia i le fa'alogoina o mea tau alamanuia, e taula'i le Lanbao Sensing i le fa'aleleia o tulaga faigata i le gaosiga atamai o semiconductor ma le atina'eina o masini fa'asa'o ma fa'alogoina o mea e fa'apitoa mo le gaosiga maualuga. O lana masini fa'asa'o uaea CCD ua fa'apitoa mo tulaga fa'agasologa sa'o o le wafer, ma fa'ataunu'uina tonu ai tulaga fa'atonuina o le gaosiga tele o le semiconductor. I le lagolagoina o le pasi fa'apisinisi a le EtherCAT, e mafai ona fa'afeso'ota'i lelei i laina gaosiga fa'akomepiuta eseese. I le lumana'i, o le a fa'aauau pea ona fa'alauteleina e le Lanbao Sensing lona i ai i le vaega o semiconductor, fa'aleleia atili le tekinolosi fa'asa'o o mea ma le fa'atinoga o oloa, ma fa'amalosia le fa'aleleia atili o le alamanuia semiconductor a Saina ma le malosi o le fa'alogoina o mea tau alamanuia.