Hánákvæmni skynjari aðstoðar hálfleiðara nákvæmni framleiðslu
Aðallýsing
Lanbao's hár-nákvæmni leysir bilun skynjari og tilfærslu skynjari, litróf confocal skynjari og 3D leysir skönnun skynjari geta veitt sérsniðna þjónustu og fjölbreyttar nákvæmni mælingar lausnir fyrir hálfleiðara iðnaður.
Umsókn Lýsing
Sjónnemi Lanbao, kraftskynjari, ljósnemi, nálægðarskynjari, hindrunarskynjari, svæðisljóstjaldskynjari o.s.frv. aðgerðir.
Undirflokkar
Efni lýsingarinnar
Photoresist Coater
Hánákvæmni leysir tilfærslunemi skynjar hæð ljósþolshúðarinnar til að viðhalda stöðugri nákvæmni húðunar.
Teningavél
Þykkt skurðarblaðsins er aðeins tugir míkrona og greiningarnákvæmni leysirfærslunema með mikilli nákvæmni getur náð 5um, þannig að hægt er að mæla þykkt blaðsins með því að setja upp 2 skynjara augliti til auglitis, sem getur dregið mikið úr viðhaldstíma.
Wafer skoðun
Skoðunarbúnaður á útliti obláta er nauðsynlegur fyrir gæðaskoðun við framleiðslu á oblátulotu.Þessi búnaður byggir á sjónskoðun á hánákvæmri leysifærsluskynjara til að átta sig á fókusstillingu.