Halbleiteranlagenindustrie

Hochpräzisionssensor unterstützt die Präzisionsfertigung von Halbleitern

Hauptbeschreibung

Die hochpräzisen Laserentfernungs- und Wegsensoren, die spektralen konfokalen Sensoren und die 3D-Laserscanning-Sensoren von Lanbao bieten maßgeschneiderte Dienstleistungen und vielfältige Präzisionsmesslösungen für die Halbleiterindustrie.

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Anwendungsbeschreibung

Die Bildsensoren, Kraftsensoren, fotoelektrischen Sensoren, Näherungssensoren, Hindernisvermeidungssensoren, Flächenlichtvorhangsensoren usw. von Lanbao können mobile Roboter und Industrieroboter mit den notwendigen Informationen ausstatten, um relevante Operationen wie Verfolgung, Positionierung, Hindernisvermeidung und Anpassungsaktionen korrekt durchzuführen.

Unterkategorien

Inhalt des Prospekts

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Fotolackbeschichter

Ein hochpräziser Laser-Wegsensor erfasst die Höhe der Fotolackschicht, um eine gleichbleibende Beschichtungsgenauigkeit zu gewährleisten.

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Würfelmaschine

Die Dicke des Schneidmessers beträgt nur wenige zehn Mikrometer, und die Detektionsgenauigkeit des hochpräzisen Laser-Wegsensors kann 5 µm erreichen, sodass die Dicke des Messers durch die Installation von 2 Sensoren gegenüberliegend gemessen werden kann, was den Wartungsaufwand erheblich reduziert.

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Waferinspektion

Für die Qualitätskontrolle während der Wafer-Chargenproduktion wird eine Ausrüstung zur Wafer-Oberflächenprüfung benötigt. Diese Ausrüstung nutzt die visuelle Inspektion mittels eines hochpräzisen Laser-Wegsensors zur Fokusjustierung.