半導体の精密生産を支える高精度センサー
主な説明
Lanbao の高精度レーザー測距センサーと変位センサー、スペクトル共焦点センサー、および 3D レーザー スキャニング センサーは、半導体業界にカスタマイズされたサービスと多様な精密測定ソリューションを提供できます。
アプリケーションの説明
Lanbaoのビジョンセンサー、力センサー、光電センサー、近接センサー、障害物回避センサー、エリアライトカーテンセンサーなどは、移動ロボットや産業用ロボットが追跡、位置決め、障害物回避、調整などの関連作業を正しく実行するために必要な情報を提供できます。行動。
サブカテゴリー
目論見書の内容
フォトレジストコーター
高精度レーザー変位センサーによりフォトレジスト塗布高さを検出し、安定した塗布精度を維持します。
ダイシングマシン
切断刃の厚さはわずか数十ミクロンですが、高精度レーザー変位センサの検出精度は5μmに達するため、2つのセンサを対向して設置することで刃厚を測定することができ、メンテナンス時間を大幅に短縮できます。
ウェーハ検査
ウェーハのバッチ生産時の品質検査にはウェーハ外観検査装置が必要です。本装置は高精度レーザー変位計による視覚検査によりピント調整を実現します。