เซ็นเซอร์ความแม่นยำสูงช่วยสนับสนุนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่มีความแม่นยำสูง
คำอธิบายหลัก
เซ็นเซอร์วัดระยะด้วยเลเซอร์ความแม่นยำสูงและเซ็นเซอร์วัดระยะการเคลื่อนที่ เซ็นเซอร์สเปกตรัมแบบคอนโฟกัล และเซ็นเซอร์สแกนเลเซอร์ 3 มิติของ Lanbao สามารถให้บริการที่ปรับแต่งได้และโซลูชันการวัดความแม่นยำที่หลากหลายสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
คำอธิบายแอปพลิเคชัน
เซ็นเซอร์ตรวจจับภาพ เซ็นเซอร์วัดแรง เซ็นเซอร์โฟโตอิเล็กทริก เซ็นเซอร์ตรวจจับระยะใกล้ เซ็นเซอร์ตรวจจับสิ่งกีดขวาง เซ็นเซอร์ม่านแสง ฯลฯ ของ Lanbao สามารถให้ข้อมูลที่จำเป็นแก่หุ่นยนต์เคลื่อนที่และหุ่นยนต์อุตสาหกรรม เพื่อให้สามารถปฏิบัติงานที่เกี่ยวข้องได้อย่างถูกต้อง เช่น การติดตาม การกำหนดตำแหน่ง การหลีกเลี่ยงสิ่งกีดขวาง และการปรับการทำงาน
หมวดหมู่ย่อย
เนื้อหาของเอกสารชี้แจงรายละเอียดโครงการ
เครื่องเคลือบโฟโตเรซิสต์
เซ็นเซอร์วัดระยะด้วยเลเซอร์ความแม่นยำสูง ตรวจจับความสูงของชั้นเคลือบโฟโตเรซิสต์ เพื่อรักษาระดับความแม่นยำในการเคลือบให้คงที่
เครื่องหั่นลูกเต๋า
ความหนาของใบมีดตัดมีเพียงไม่กี่สิบไมครอน และความแม่นยำในการตรวจจับของเซ็นเซอร์วัดระยะด้วยเลเซอร์ความแม่นยำสูงสามารถเข้าถึง 5 ไมครอน ดังนั้นจึงสามารถวัดความหนาของใบมีดได้โดยการติดตั้งเซ็นเซอร์ 2 ตัวหันหน้าเข้าหากัน ซึ่งจะช่วยลดเวลาในการบำรุงรักษาได้อย่างมาก
การตรวจสอบเวเฟอร์
อุปกรณ์ตรวจสอบลักษณะแผ่นเวเฟอร์เป็นสิ่งจำเป็นสำหรับการตรวจสอบคุณภาพในระหว่างการผลิตแผ่นเวเฟอร์เป็นชุด อุปกรณ์นี้อาศัยการตรวจสอบด้วยระบบภาพของเซ็นเซอร์วัดระยะเลเซอร์ความแม่นยำสูงเพื่อปรับโฟกัส