เซ็นเซอร์ความแม่นยำสูงช่วยให้การผลิตเซมิคอนดักเตอร์มีความแม่นยำมากขึ้น
คำอธิบายหลัก
เซ็นเซอร์วัดระยะด้วยเลเซอร์ความแม่นยำสูงและเซ็นเซอร์การเคลื่อนที่ เซ็นเซอร์คอนโฟคัลสเปกตรัม และเซ็นเซอร์สแกนเลเซอร์ 3 มิติของ Lanbao สามารถให้บริการแบบกำหนดเองได้ และโซลูชันการวัดความแม่นยำที่หลากหลายสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
คำอธิบายการใช้งาน
เซ็นเซอร์ภาพของ Lanbao เซ็นเซอร์แรง เซ็นเซอร์โฟโตอิเล็กทริก เซ็นเซอร์ระยะใกล้ เซ็นเซอร์หลีกเลี่ยงสิ่งกีดขวาง เซ็นเซอร์ม่านแสงพื้นที่ ฯลฯ สามารถให้ข้อมูลที่จำเป็นแก่หุ่นยนต์เคลื่อนที่และหุ่นยนต์อุตสาหกรรมเพื่อดำเนินการที่เกี่ยวข้องได้อย่างถูกต้อง เช่น การติดตาม การวางตำแหน่ง การหลีกเลี่ยงสิ่งกีดขวาง และการปรับการกระทำ
หมวดหมู่ย่อย
เนื้อหาของหนังสือชี้ชวน
เครื่องเคลือบโฟโตรีซิสต์
เซ็นเซอร์การเคลื่อนที่ด้วยเลเซอร์ที่มีความแม่นยำสูงตรวจจับความสูงของการเคลือบโฟโตเรซิสต์เพื่อรักษาความแม่นยำของการเคลือบให้คงที่
เครื่องหั่นเต๋า
ความหนาของใบมีดตัดมีเพียงสิบไมครอน และความแม่นยำในการตรวจจับของเซนเซอร์การเคลื่อนที่ด้วยเลเซอร์ที่มีความแม่นยำสูงสามารถเข้าถึง 5 ไมโครเมตร ดังนั้น สามารถวัดความหนาของใบมีดได้โดยการติดตั้งเซนเซอร์ 2 ตัวตรงหน้ากัน ซึ่งสามารถลดเวลาในการบำรุงรักษาได้มาก
การตรวจสอบเวเฟอร์
อุปกรณ์ตรวจสอบลักษณะภายนอกของเวเฟอร์เป็นสิ่งจำเป็นสำหรับการตรวจสอบคุณภาพระหว่างการผลิตแบบแบตช์ของเวเฟอร์ อุปกรณ์นี้ใช้การตรวจสอบด้วยภาพของเซ็นเซอร์การเคลื่อนที่ด้วยเลเซอร์ที่มีความแม่นยำสูงเพื่อปรับโฟกัส