เซ็นเซอร์ความแม่นยำสูงช่วยให้การผลิตเซมิคอนดักเตอร์มีความแม่นยำ
คำอธิบายหลัก
เซ็นเซอร์วัดระยะเลเซอร์ความแม่นยำสูงและเซ็นเซอร์การเคลื่อนที่ เซ็นเซอร์คอนโฟคอลสเปกตรัม และเซ็นเซอร์สแกนเลเซอร์ 3 มิติของ Lanbao สามารถให้บริการแบบกำหนดเองได้และโซลูชันการวัดความแม่นยำที่หลากหลายสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
คำอธิบายการใช้งาน
เซ็นเซอร์วิสัยทัศน์ เซ็นเซอร์แรง เซ็นเซอร์โฟโตอิเล็กทริก เซ็นเซอร์ระยะใกล้ เซ็นเซอร์หลีกเลี่ยงสิ่งกีดขวาง เซ็นเซอร์ม่านแสงพื้นที่ ฯลฯ ของ Lanbao สามารถให้ข้อมูลที่จำเป็นแก่หุ่นยนต์เคลื่อนที่และหุ่นยนต์อุตสาหกรรมเพื่อดำเนินการที่เกี่ยวข้องได้อย่างถูกต้อง เช่น การติดตาม การวางตำแหน่ง การหลีกเลี่ยงสิ่งกีดขวาง และการปรับการดำเนินการ
หมวดหมู่ย่อย
เนื้อหาของหนังสือชี้ชวน
สารเคลือบโฟโตเรซิสต์
เซ็นเซอร์การเคลื่อนที่ด้วยเลเซอร์ที่มีความแม่นยำสูงจะตรวจจับความสูงของการเคลือบโฟโตเรซิสต์เพื่อรักษาความแม่นยำของการเคลือบให้คงที่
เครื่องหั่นเต๋า
ความหนาของใบมีดตัดมีเพียงไม่กี่สิบไมครอน และความแม่นยำในการตรวจจับของเซนเซอร์การเคลื่อนที่ด้วยเลเซอร์ที่มีความแม่นยำสูงสามารถเข้าถึงได้ถึง 5 ไมโครเมตร ดังนั้นจึงสามารถวัดความหนาของใบมีดได้โดยการติดตั้งเซนเซอร์ 2 ตัวแบบประกบกัน ซึ่งจะช่วยลดเวลาในการบำรุงรักษาได้มาก
การตรวจสอบเวเฟอร์
อุปกรณ์ตรวจสอบลักษณะภายนอกของแผ่นเวเฟอร์เป็นสิ่งจำเป็นสำหรับการตรวจสอบคุณภาพระหว่างการผลิตแผ่นเวเฟอร์แบบแบตช์ อุปกรณ์นี้ใช้การตรวจสอบด้วยภาพจากเซ็นเซอร์เลเซอร์ดิสเพลสเมนต์ความแม่นยำสูงเพื่อปรับโฟกัส