E fesoasoani le Sensor Maualuga i le Gaosiga Sa'o o le Semiconductor
Fa'amatalaga Autū
E mafai e le sensor laser maualuga-sa'o ma le sensor displacement, le sensor spectral confocal ma le sensor 3D laser scanning a Lanbao ona tu'uina atu auaunaga fa'apitoa ma fofo eseese o le fuaina o le sa'o mo le alamanuia semiconductor.
Fa'amatalaga o le Talosaga
E mafai e le masini e iloa ai le va'ai, le masini e iloa ai le malosi, le masini e iloa ai le malamalama o le eria, le masini e iloa ai le latalata, le masini e iloa ai le 'alo 'ese mai fa'alavelave, le masini e iloa ai le malamalama o le eria, ma isi mea fa'apena ona tu'uina atu fa'amatalaga talafeagai mo roboti feavea'i ma roboti fa'apisinisi ina ia fa'atino sa'o ai galuega talafeagai, e pei o le su'eina, tu'uina, 'alo 'ese mai fa'alavelave, ma le fetu'una'iina o gaioiga.
Vaega laiti
Mataupu o le pepa fa'asalalau
Ufiufi Fa'a-Fo'ese'ese
E iloa e le masini fa'ase'e maualuga le sa'o o le laser le maualuga o le ufiufi photoresist ina ia fa'atumauina ai le mautu o le sa'o o le ufiufi.
Masini Ta'i
E na'o le sefulu microns le mafiafia o le lau tipi, ma e mafai ona o'o atu le sa'o o le iloa o le masini fa'apipi'i laser maualuga i le 5um, o lea e mafai ai ona fuaina le mafiafia o le lau e ala i le fa'apipi'iina o masini fa'apipi'i e 2 e feagai ma mata, lea e mafai ona fa'aitiitia ai le taimi o le tausiga.
Su'esu'ega o le Wafer
E manaʻomia masini e siaki ai foliga vaaia o le wafer mo le siakiina lelei i le taimi o le gaosiga o le wafer batch. O lenei masini e faʻalagolago i le siakiina o le vaʻai o le masini e maualuga le saʻo o le laser displacement sensor e iloa ai le fetuʻunaʻiga o le taulaʻi.