අධි නිරවද්‍යතා සංවේදකය අර්ධ සන්නායක නිරවද්‍යතා නිෂ්පාදනයට සහාය වේ
ප්‍රධාන විස්තරය
ලැන්බාඕ හි අධි-නිරවද්‍ය ලේසර් පරාස සංවේදකය සහ විස්ථාපන සංවේදකය, වර්ණාවලි කොන්ෆෝකල් සංවේදකය සහ ත්‍රිමාණ ලේසර් ස්කෑනිං සංවේදකය අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තය සඳහා අභිරුචිකරණය කළ සේවාවන් සහ විවිධාංගීකරණය වූ නිරවද්‍ය මිනුම් විසඳුම් සැපයිය හැකිය.
යෙදුම් විස්තරය
ලැන්බාඕ හි දෘෂ්ටි සංවේදකය, බල සංවේදකය, ප්‍රකාශ විද්‍යුත් සංවේදකය, සමීප සංවේදකය, බාධක වළක්වා ගැනීමේ සංවේදකය, ප්‍රදේශ ආලෝක තිර සංවේදකය යනාදිය ජංගම රොබෝවරුන්ට සහ කාර්මික රොබෝවරුන්ට ලුහුබැඳීම, ස්ථානගත කිරීම, බාධක වළක්වා ගැනීම සහ ක්‍රියා ගැලපීම වැනි අදාළ මෙහෙයුම් නිවැරදිව සිදු කිරීම සඳහා අවශ්‍ය තොරතුරු සැපයිය හැකිය.
උපප්‍රවර්ග
ප්‍රස්තාරයේ අන්තර්ගතය
ෆොටෝරෙසිස්ට් ආලේපනය
ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් යුත් ලේසර් විස්ථාපන සංවේදකය, ස්ථායී ආලේපන නිරවද්‍යතාවය පවත්වා ගැනීම සඳහා ප්‍රභා ප්‍රතිරෝධක ආලේපන උස හඳුනා ගනී.
ඩයිසිං යන්ත්‍රය
කැපුම් තලයේ ඝණකම මයික්‍රෝන දස දහස් ගණනක් පමණක් වන අතර, අධි-නිරවද්‍ය ලේසර් විස්ථාපන සංවේදකයේ හඳුනාගැනීමේ නිරවද්‍යතාවය 5um දක්වා ළඟා විය හැකි බැවින්, මුහුණට මුහුණ සංවේදක 2ක් ස්ථාපනය කිරීමෙන් තලයේ ඝණකම මැනිය හැකි අතර එමඟින් නඩත්තු කාලය බෙහෙවින් අඩු කර ගත හැකිය.
වේෆර් පරීක්ෂාව
වේෆර් කාණ්ඩ නිෂ්පාදනයේදී තත්ත්ව පරීක්ෂාව සඳහා වේෆර් පෙනුම පරීක්ෂණ උපකරණ අවශ්‍ය වේ. නාභිගත ගැලපීම සාක්ෂාත් කර ගැනීම සඳහා මෙම උපකරණ ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් යුත් ලේසර් විස්ථාපන සංවේදකයේ දර්ශන පරීක්ෂාව මත රඳා පවතී.