Өндөр нарийвчлалтай мэдрэгч нь хагас дамжуулагчийн нарийвчлалтай үйлдвэрлэлийг дэмждэг
Үндсэн тайлбар
Ланбаогийн өндөр нарийвчлалтай лазерын хүрээ мэдрэгч болон шилжилтийн мэдрэгч, спектрийн конфокал мэдрэгч болон 3D лазер сканнердах мэдрэгч нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн зориулалтаар захиалгат үйлчилгээ болон олон төрлийн нарийвчлалтай хэмжилтийн шийдлүүдийг хангах боломжтой.
Аппликейшний тодорхойлолт
Ланбаогийн харааны мэдрэгч, хүчний мэдрэгч, фотоэлектрик мэдрэгч, ойрын мэдрэгч, саадаас зайлсхийх мэдрэгч, гэрлийн хөшигний мэдрэгч гэх мэт нь хөдөлгөөнт робот болон үйлдвэрлэлийн роботуудад мөрдөх, байрлуулах, саадаас зайлсхийх, тохируулах үйлдэл зэрэг холбогдох үйлдлүүдийг зөв гүйцэтгэхэд шаардлагатай мэдээллийг өгч чадна.
Дэд ангилалууд
Танилцуулгын агуулга
Фоторезист бүрхүүл
Өндөр нарийвчлалтай лазер шилжилтийн мэдрэгч нь фоторезист бүрхүүлийн өндрийг илрүүлж, бүрхүүлийн тогтвортой нарийвчлалыг хадгалдаг.
Шоо дөрвөлжин машин
Зүсэх ирний зузаан нь ердөө хэдэн арван микрон бөгөөд өндөр нарийвчлалтай лазер шилжилтийн мэдрэгчийн илрүүлэх нарийвчлал 5 мкм хүрч чаддаг тул ирний зузааныг 2 мэдрэгчийг нүүр тулан суурилуулснаар хэмжиж болох бөгөөд энэ нь засвар үйлчилгээний хугацааг ихээхэн багасгадаг.
Ваферын үзлэг
Вафлийн багц үйлдвэрлэх явцад чанарын шалгалт хийхэд вафлийн гадаад төрхийг шалгах төхөөрөмж шаардлагатай. Энэхүү төхөөрөмж нь фокусын тохируулгыг хийхийн тулд өндөр нарийвчлалтай лазер шилжилтийн мэдрэгчийн харааны шалгалтад суурилдаг.