반도체 제조는 오늘날 첨단 산업 분야에서 가장 높은 정밀도와 기술적인 복잡성을 요구하는 분야 중 하나입니다. 칩 공정이 3nm, 나아가 그보다 더 작은 노드로 발전함에 따라 웨이퍼 두께, 표면 평탄도, 미세 구조 치수 측정의 정확도는 칩 수율과 성능에 직접적인 영향을 미칩니다. 이러한 맥락에서, 비접촉식 작동 방식, 탁월한 정밀도, 빠른 응답 속도, 그리고 향상된 안정성을 갖춘 레이저 변위 센서는 반도체 제조 공정 전반에 걸쳐 없어서는 안 될 "측정 도구"로 자리매김했습니다.
반도체 소자 제조의 핵심 기판인 웨이퍼는 생산 과정에서 극도의 정밀도와 신뢰성을 요구합니다. 웨이퍼 제조의 여러 중요한 단계 중에서도 정확한 변위 측정은 최종 칩의 성능과 수율에 직접적인 영향을 미치기 때문에 매우 중요합니다. 중국 산업용 센싱 분야의 혁신 선도 기업인 란센서(Lansensor)의 PDE 시리즈 레이저 변위 센서는 마이크론 수준의 해상도, 지능형 알고리즘, 그리고 산업용 수준의 신뢰성을 바탕으로 웨이퍼 제조 공정에 최적화된 솔루션으로 자리매김했습니다.
웨이퍼 제조의 정밀도 문제와 레이저 변위 센서의 장점
웨이퍼 제조는 포토리소그래피, 에칭, 박막 증착 및 접합과 같은 일련의 복잡한 공정을 포함하며, 각 공정은 마이크로미터 또는 나노미터 수준의 엄격한 정밀도를 요구합니다. 예를 들면 다음과 같습니다.
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포토리소그래피에서 포토마스크와 웨이퍼 사이의 정확한 정렬은 웨이퍼 표면에 정확한 패턴을 전사하는 데 매우 중요합니다.
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박막 증착 과정에서 소자의 전기적 성능을 보장하기 위해서는 박막 두께를 정확하게 제어하는 것이 필수적입니다.
아주 작은 오차라도 제품 결함을 초래하거나 심지어 웨이퍼 전체 배치를 사용할 수 없게 만들 수 있습니다.
기존의 기계적 측정 방식은 이러한 높은 정밀도 요구 사항을 충족하는 데 종종 부족합니다. 더욱이, 이러한 방식은 취약한 웨이퍼 표면을 손상시키거나 오염시킬 위험이 있으며, 느린 응답 속도로 인해 최첨단 계측 기술 요구 사항에 적합하지 않습니다.
란바오감지기PDE 시리즈 레이저 변위 센서웨이퍼 응용 분야를 위한 최적의 솔루션
◆비접촉 레이저 측정
레이저 빔을 대상 표면에 투사하고 반사/산란된 신호를 분석하여 변위 데이터를 얻습니다. 이를 통해 웨이퍼와의 물리적 접촉을 없애 기계적 손상 및 오염 위험을 방지합니다.
◆마이크론 수준의 정밀도
첨단 레이저 기술과 신호 처리 알고리즘은 마이크로미터 규모의 측정 정확도와 해상도를 제공하여 웨이퍼 제조 공정의 극한 정밀도 요구 사항을 충족합니다.
◆초고속 응답(<10ms)
실시간으로 변화하는 생산 상황을 모니터링하여 즉각적인 편차 감지 및 수정을 통해 제조 효율성을 향상시킬 수 있습니다.
◆탁월한 소재 호환성
다양한 재료 및 표면 유형을 측정할 수 있으며, 뛰어난 환경 적응성을 갖추고 있어 여러 반도체 공정 단계에 적합합니다.
◆컴팩트한 산업 디자인
콤팩트한 형태로 자동화 장비 및 제어 시스템에 원활하게 통합되어 지능형 공정 모니터링 및 폐루프 조정이 가능합니다.
응용 시나리오PDE 시리즈 레이저 변위 센서웨이퍼 가공에서
란바오 센서PDE 시리즈 레이저 변위 센서웨이퍼 제조 분야의 핵심 응용 분야
탁월한 성능을 자랑하는 Lansensor PDE 레이저 변위 센서는 다양한 웨이퍼 제조 공정에서 중요한 역할을 수행합니다.
◆웨이퍼 정렬 및 위치 지정
마이크론 수준의 정확도가 요구되는 포토리소그래피 및 본딩 공정에서 당사의 센서는 웨이퍼 위치와 기울기 각도를 정밀하게 측정하여 마스크와 웨이퍼의 완벽한 정렬 및 본딩 암 위치 지정을 보장함으로써 패턴 전송 정밀도를 향상시킵니다.
◆웨이퍼 두께 측정
증착 공정 중 실시간 모니터링을 통한 비접촉식 두께 측정을 가능하게 하여 최적의 박막 품질 관리를 보장합니다.
◆웨이퍼 평탄도 검사
웨이퍼의 휜 정도와 표면 변형을 서브마이크론 해상도로 감지하여 불량 웨이퍼가 다음 공정으로 넘어가는 것을 방지합니다.
◆박막 두께 모니터링
CVD/PVD 공정 중 증착 두께를 실시간으로 추적하여 엄격한 전기적 성능 사양을 유지합니다.
◆표면 결함 감지
고해상도 변위 매핑을 통해 마이크론 규모의 표면 이상(긁힘, 입자)을 식별하여 결함 탐지율을 크게 향상시킵니다.
◆장비 상태 모니터링
로봇 팔, 스테이지 움직임 등 주요 부품의 변위와 기계 진동을 추적하여 예측 유지보수 및 안정성 최적화를 수행합니다.
란바오 센서의 PDE 시리즈는 중국 고급 산업용 센서 시장의 핵심 기술 격차를 해소할 뿐만 아니라 탁월한 성능으로 새로운 글로벌 기준을 제시합니다. 수율 향상, 생산 비용 절감, 차세대 공정 개발 가속화 등 어떤 목표를 달성하든, PDE 시리즈는 정밀 반도체 제조의 난제를 극복하는 데 있어 최고의 무기가 될 것입니다!
게시 시간: 2025년 5월 8일