Lanbao սենսոր PDE լազերային տեղաշարժի սենսոր. ճշգրիտ կիսահաղորդչային արտադրության հնարավորություն

◆Անկոնտակտային լազերային չափում
Օգտագործում է լազերային ճառագայթի պրոյեկցիան թիրախային մակերեսների վրա, վերլուծելով անդրադարձված/ցրված ազդանշանները՝ տեղաշարժի տվյալներ ստանալու համար՝ վերացնելով ֆիզիկական շփումը թիթեղների հետ՝ կանխելու համար մեխանիկական վնասը և աղտոտման ռիսկերը։

◆Միկրոնային մակարդակի ճշգրտություն
Առաջադեմ լազերային տեխնոլոգիան և ազդանշանի մշակման ալգորիթմները ապահովում են միկրոմետրային մասշտաբի չափման ճշգրտություն և լուծաչափ՝ բավարարելով թիթեղների արտադրության գործընթացների ծայրահեղ ճշգրտության պահանջները։

◆Գերարագ արձագանք (<10 մվ)
Հնարավորություն է տալիս իրական ժամանակում մոնիթորինգի ենթարկել դինամիկ արտադրության տատանումները՝ թույլ տալով անհապաղ հայտնաբերել և ուղղել շեղումները՝ արտադրության արդյունավետությունը բարձրացնելու համար։

◆Բացառիկ նյութերի համատեղելիություն
Կարող է չափել տարբեր նյութեր և մակերևույթների տեսակներ՝ ուժեղ շրջակա միջավայրի հարմարվողականությամբ, հարմար է կիսահաղորդչային գործընթացների բազմաթիվ փուլերի համար։

◆Կոմպակտ արդյունաբերական դիզայն
Կոմպակտ ձևը նպաստում է ավտոմատացված սարքավորումների և կառավարման համակարգերի հետ անխափան ինտեգրմանը՝ հնարավորություն տալով իրականացնել ինտելեկտուալ գործընթացների մոնիթորինգ և փակ ցիկլի կարգավորում։

Կիրառման սցենարներPDE շարքի լազերային տեղաշարժի սենսորներվաֆլիների մշակման մեջ

Լանբաո սենսորPDE շարքի լազերային տեղաշարժի սենսորներԿարևոր կիրառություններ վաֆլիների արտադրության մեջ

Բացառիկ կատարողականությամբ, Lansensor PDE լազերային տեղահանման սենսորները կարևոր դեր են խաղում վաֆլերի արտադրության բազմաթիվ գործընթացներում.

◆Վաֆերի հավասարեցում և դիրքավորում
Միկրոնային մակարդակի ճշգրտություն պահանջող ֆոտոլիտոգրաֆիայի և կապման գործընթացների համար մեր սենսորները ճշգրտորեն չափում են թիթեղների դիրքը և թեքության անկյունները՝ ապահովելու համար դիմակի և թիթեղի կատարյալ հավասարեցում և կապման թևերի դիրքավորում՝ բարելավելով նախշի փոխանցման ճշգրտությունը։

◆Վաֆերի հաստության չափագիտություն
Հնարավորություն է տալիս իրականացնել անհպում հաստության չափում՝ իրական ժամանակի մոնիթորինգի միջոցով նստեցման գործընթացների ընթացքում, ապահովելով բարակ թաղանթի որակի օպտիմալ վերահսկողություն։

◆Վաֆերի հարթության ստուգում
Վեֆերի ծռվածքի և մակերևույթի դեֆորմացիայի հայտնաբերում ենթամիկրոնային լուծաչափով՝ թերի վեֆերի հոսանքն ի վար տարածումը կանխելու համար։

◆Բարակ թաղանթի հաստության մոնիթորինգ
CVD/PVD գործընթացների ընթացքում նստվածքի հաստության իրական ժամանակի հետևում՝ էլեկտրական կատարողականի խիստ պահանջները պահպանելու համար։

◆Մակերեսային արատների հայտնաբերում
Բարձր թույլտվության տեղաշարժի քարտեզագրման միջոցով միկրոնային մասշտաբի մակերևութային անոմալիաների (քերծվածքներ, մասնիկներ) նույնականացում, որը զգալիորեն բարելավում է թերությունների հայտնաբերման մակարդակը։

◆Սարքավորումների վիճակի մոնիթորինգ
Կրիտիկական բաղադրիչների տեղաշարժերի (ռոբոտի ձեռքերի, բեմի շարժումների) և մեքենայի տատանումների հետևում՝ կանխատեսողական սպասարկման և կայունության օպտիմալացման համար։