Halvledarutrustningsindustrin

Högprecisionssensorer hjälper till med precisionsproduktion av halvledare

Huvudbeskrivning

Lanbaos högprecisionslaseravståndssensorer och förskjutningssensorer, spektralkonfokalsensorer och 3D-laserskanningssensorer kan erbjuda skräddarsydda tjänster och diversifierade precisionsmätningslösningar för halvledarindustrin.

Halvledarutrustningsindustrin2

Applikationsbeskrivning

Lanbaos visionssensorer, kraftsensorer, fotoelektriska sensorer, närhetssensorer, hinderundvikningssensorer, ljusridåsensorer etc. kan ge nödvändig information för att mobila robotar och industrirobotar korrekt ska kunna utföra relevanta operationer, såsom spårning, positionering, hinderundvikning och justeringsåtgärder.

Underkategorier

Prospektets innehåll

Halvledarutrustningsindustrin3

Fotoresistbeläggare

Högprecisionslaserförskjutningssensor detekterar fotoresistbeläggningens höjd för att bibehålla stabil beläggningsnoggrannhet.

Halvledarutrustningsindustrin4

Tärningsmaskin

Skärbladets tjocklek är bara tiotals mikron, och detekteringsnoggrannheten hos den högprecisionslaserförskjutningssensorn kan nå 5 µm, så bladets tjocklek kan mätas genom att installera två sensorer ansikte mot ansikte, vilket kan minska underhållstiden avsevärt.

Halvledarutrustningsindustrin5

Waferinspektion

Utrustning för inspektion av waferutseende krävs för kvalitetskontroll under waferproduktion. Denna utrustning använder visuell inspektion av en högprecisionslaserförskjutningssensor för att justera fokus.