Sensori Lanbao PDE Laser Displacement Sensor: Mundësimi i Prodhimit të Gjysmëpërçuesve me Precizion

Prodhimi i gjysmëpërçuesve qëndron si një nga fushat më të kërkuara për saktësi dhe teknologjikisht komplekse në industrinë e teknologjisë së lartë të sotme. Ndërsa proceset e çipave përparojnë drejt nyjeve 3nm dhe edhe më të vogla, saktësia e matjeve për trashësinë e pllakës së paketimit, sheshtësinë e sipërfaqes dhe dimensionet e mikrostrukturës përcakton drejtpërdrejt rendimentin dhe performancën e çipit. Në këtë kontekst, sensorët e zhvendosjes me lazer, me funksionimin e tyre pa kontakt, saktësinë superiore, kohën më të shpejtë të reagimit dhe stabilitetin e përmirësuar, janë bërë "sytë e matjes" të domosdoshëm në të gjithë procesin e prodhimit të gjysmëpërçuesve.

4

Si substrati kryesor i prodhimit të pajisjeve gjysmëpërçuese, pllakat e montuara kërkojnë saktësi dhe besueshmëri ekstreme gjatë prodhimit. Ndër shumë fazat kritike të prodhimit të pllakave të montuara, matja e saktë e zhvendosjes është parësore - ajo ndikon drejtpërdrejt në performancën dhe rendimentin e çipit përfundimtar. Si një lider inovacioni në sektorin e sensorëve industrialë të Kinës, sensorët e zhvendosjes me lazer PDE të serisë Lansensor, të cilët paraqesin rezolucion në nivel mikroni, algoritme inteligjente dhe besueshmëri të nivelit industrial, janë shfaqur si zgjidhja e preferuar për proceset e prodhimit të pllakave të montuara.

Sfidat e Precizionit në Prodhimin e Pllakave dhe Avantazhet e Sensorëve të Zhvendosjes me Lazer

Prodhimi i pllakave të pllakës përfshin një sërë procesesh komplekse si fotolitografia, gdhendja, depozitimi i filmit të hollë dhe ngjitja - secila prej të cilave kërkon saktësi të lartë në nivelin e mikrometrit ose edhe nanometrit. Për shembull:

  • Në fotolitografi, rreshtimi i saktë midis fotomaskës dhe pllakës së mbështjelljes është thelbësor për të siguruar transferimin e saktë të modelit në sipërfaqen e pllakës së mbështjelljes.

  • Gjatë depozitimit të filmit të hollë, kontrolli i saktë i trashësisë së filmit është thelbësor për të garantuar performancën elektrike të pajisjeve.
    Edhe devijimi më i vogël mund të çojë në defekte të produktit ose madje ta bëjë një grup të tërë napolitanësh të papërdorshëm.

Metodat tradicionale të matjes mekanike shpesh nuk arrijnë të përmbushin kërkesa të tilla me saktësi të lartë. Për më tepër, ato rrezikojnë të dëmtojnë ose kontaminojnë sipërfaqen e brishtë të pllakës së paketimit, ndërsa shpejtësitë e tyre të ngadalta të reagimit i bëjnë ato të papërshtatshme për kërkesat e metrologjisë së përparuar.

LanbaosensorSensorë Zhvendosjeje me Lazer të Serisë PDEZgjidhja Optimale për Aplikimet e Pllakave

2

Matje me lazer pa kontakt
Përdor projeksionin e rrezes lazer në sipërfaqet e synuara, duke analizuar sinjalet e reflektuara/të shpërndara për të marrë të dhëna zhvendosjeje - duke eliminuar kontaktin fizik me pllakat e pllakave për të parandaluar dëmtimet mekanike dhe rreziqet e kontaminimit.

Precizion në nivel mikroni
Teknologjia e përparuar me lazer dhe algoritmet e përpunimit të sinjalit ofrojnë saktësi dhe rezolucion matjeje në shkallë mikrometri, duke përmbushur kërkesat ekstreme të saktësisë së proceseve të prodhimit të pllakave të precizionit.

Përgjigje ultra e shpejtë (<10ms)
Mundëson monitorimin në kohë reale të ndryshimeve dinamike të prodhimit, duke lejuar zbulimin dhe korrigjimin e menjëhershëm të devijimeve për të rritur efikasitetin e prodhimit.

Përputhshmëri e jashtëzakonshme materialesh
I aftë të matë materiale dhe lloje të ndryshme sipërfaqesh me përshtatshmëri të fortë mjedisore, i përshtatshëm për faza të shumëfishta të procesit gjysmëpërçues.

Dizajn Industrial Kompakt
Faktori i formës kompakte lehtëson integrimin pa probleme në pajisjet dhe sistemet e kontrollit të automatizuara, duke mundësuar monitorimin inteligjent të procesit dhe rregullimin me lak të mbyllur.

Skenarët e Zbatimit tëSensorë Zhvendosjeje me Lazer të Serisë PDEnë Përpunimin e Vaferave

3

Sensori LanbaoSensorë Zhvendosjeje me Lazer të Serisë PDEZbatime kritike në prodhimin e pllakave

Me performancë të jashtëzakonshme, sensorët e zhvendosjes me lazer PDE të Lansensor luajnë role jetësore në shumë procese të prodhimit të pllakave të pllakës:

Rreshtimi dhe Pozicionimi i Pllakave të Ngjitura
Për proceset e fotolitografisë dhe ngjitjes që kërkojnë saktësi në nivel mikroni, sensorët tanë matin me saktësi pozicionin e pllakës së metalit dhe këndet e pjerrësisë për të siguruar shtrirjen perfekte maskë-pllakë dhe pozicionimin e krahut të ngjitjes - duke rritur saktësinë e transferimit të modelit.

Metrologjia e Trashësisë së Pllakave
Mundësimi i matjes së trashësisë pa kontakt me monitorim në kohë reale gjatë proceseve të depozitimit, duke siguruar kontroll optimal të cilësisë së filmit të hollë.

Inspektimi i rrafshësisë së pllakës
Zbulimi i deformimit të pllakave të suvatuara dhe deformimit sipërfaqësor me rezolucion nën mikron për të parandaluar përparimin e pllakave defektoze në rrjedhën e poshtme.

Monitorimi i Trashësisë së Filmit të Hollë
Ofron ndjekjen e trashësisë së depozitimit në kohë reale gjatë proceseve CVD/PVD për të ruajtur specifikimet strikte të performancës elektrike.

Zbulimi i defekteve sipërfaqësore
Identifikimi i anomalive sipërfaqësore në shkallë mikroni (gërvishtje, grimca) përmes hartëzimit të zhvendosjes me rezolucion të lartë, duke përmirësuar ndjeshëm shkallët e zbulimit të defekteve.

Monitorimi i Gjendjes së Pajisjeve
Gjurmimi i zhvendosjeve kritike të komponentëve (krahët e robotit, lëvizjet e skenës) dhe dridhjet e makinës për mirëmbajtje parashikuese dhe optimizim të stabilitetit. 

5

Seria PDE e sensorëve Lanbao jo vetëm që mbush boshllëqet kritike teknologjike në tregun e sensorëve industrialë të nivelit të lartë në Kinë, por vendos standarde të reja globale me performancën e saj të jashtëzakonshme. Qoftë duke rritur normat e rendimentit, duke ulur kostot e prodhimit apo duke përshpejtuar zhvillimin e proceseve të gjeneratës së ardhshme, seria PDE qëndron si arma juaj përfundimtare për të kapërcyer sfidat e prodhimit të gjysmëpërçuesve me precizion!


Koha e postimit: 08 Maj 2025