Proizvodnja polprevodnikov je eno najbolj natančno zahtevnih in tehnološko kompleksnih področij v današnji visokotehnološki industriji. Ker se procesi izdelave čipov premikajo proti 3 nm in celo manjšim vozlom, natančnost meritev debeline rezin, ravnosti površine in dimenzij mikrostrukture neposredno določa izkoristek in zmogljivost čipa. V tem kontekstu so laserski senzorji premika s svojim brezkontaktnim delovanjem, vrhunsko natančnostjo, hitrejšim odzivnim časom in izboljšano stabilnostjo postali nepogrešljive "merilne oči" v celotnem procesu izdelave polprevodnikov.
Kot osrednji substrat za izdelavo polprevodniških naprav zahtevajo rezine med proizvodnjo izjemno natančnost in zanesljivost. Med številnimi kritičnimi fazami izdelave rezin je natančno merjenje premika izjemnega pomena – neposredno vpliva na zmogljivost in izkoristek končnega čipa. Kot vodilni na področju inovacij v kitajskem sektorju industrijskega zaznavanja so se laserski senzorji premika serije PDE podjetja Lansensor z ločljivostjo na mikronski ravni, inteligentnimi algoritmi in zanesljivostjo industrijskega razreda izkazali kot prednostna rešitev za procese izdelave rezin.
Izzivi natančnosti pri izdelavi rezin in prednosti laserskih senzorjev premika
Proizvodnja rezin vključuje vrsto kompleksnih procesov, kot so fotolitografija, jedkanje, nanašanje tankih filmov in lepljenje – vsak od njih zahteva visoko natančnost na mikrometrski ali celo nanometrski ravni. Na primer:
-
Pri fotolitografiji je natančna poravnava med fotomasko in rezino ključnega pomena za zagotovitev natančnega prenosa vzorca na površino rezine.
-
Med nanašanjem tankih plasti je natančen nadzor debeline plasti bistvenega pomena za zagotovitev električnih lastnosti naprav.
Že najmanjše odstopanje lahko povzroči napake na izdelku ali celo naredi celotno serijo rezin neuporabno.
Tradicionalne mehanske merilne metode pogosto ne izpolnjujejo tako zahtev glede visoke natančnosti. Poleg tega tvegajo poškodbo ali kontaminacijo krhke površine rezin, zaradi počasnega odzivnega časa pa niso primerne za najsodobnejše metrološke zahteve.
LanbaosenzorLaserski senzorji premika serije PDEOptimalna rešitev za uporabo z rezinami
◆Brezkontaktno lasersko merjenje
Uporablja projiciranje laserskega žarka na ciljne površine in analizira odbite/razpršene signale za pridobitev podatkov o premiku – s čimer se odpravi fizični stik z rezinami, da se preprečijo mehanske poškodbe in tveganja kontaminacije.
◆Mikronska natančnost
Napredna laserska tehnologija in algoritmi za obdelavo signalov zagotavljajo natančnost in ločljivost meritev v mikrometrskem merilu, kar izpolnjuje ekstremne zahteve glede natančnosti pri izdelavi rezin.
◆Ultra hiter odziv (<10 ms)
Omogoča spremljanje dinamičnih proizvodnih sprememb v realnem času, kar omogoča takojšnje zaznavanje in odpravljanje odstopanj za povečanje učinkovitosti proizvodnje.
◆Izjemna združljivost materialov
Zmožen merjenja različnih materialov in vrst površin z močno prilagodljivostjo okolju, primeren za več faz polprevodniškega procesa.
◆Kompaktna industrijska zasnova
Kompaktna oblika omogoča brezhibno integracijo v avtomatizirano opremo in krmilne sisteme, kar omogoča inteligentno spremljanje procesov in prilagajanje v zaprti zanki.
Scenariji uporabeLaserski senzorji premika serije PDEpri predelavi rezin
Lanbao senzorLaserski senzorji premika serije PDEKritične aplikacije pri proizvodnji rezin
Z izjemno zmogljivostjo imajo laserski senzorji premika Lansensor PDE ključno vlogo v več procesih izdelave rezin:
◆Poravnava in pozicioniranje rezin
Za fotolitografijo in procese lepljenja, ki zahtevajo natančnost na mikronski ravni, naši senzorji natančno merijo položaj rezine in kote nagiba, da zagotovijo popolno poravnavo maske in rezine ter pozicioniranje roke za lepljenje – s čimer se izboljša natančnost prenosa vzorca.
◆Metrologija debeline rezin
Omogočanje brezkontaktnega merjenja debeline s spremljanjem v realnem času med postopki nanašanja, kar zagotavlja optimalen nadzor kakovosti tankih plasti.
◆Pregled ravnosti rezin
Zaznavanje upogibanja rezin in deformacije površine s submikronsko ločljivostjo za preprečevanje napredovanja okvarjenih rezin naprej.
◆Spremljanje debeline tankih plasti
Zagotavljanje sledenja debeline nanosa v realnem času med postopki CVD/PVD za vzdrževanje strogih specifikacij električnih zmogljivosti.
◆Zaznavanje površinskih napak
Prepoznavanje površinskih anomalij (prask, delcev) v mikronskem merilu z visokoločljivostnim kartiranjem premikov, kar znatno izboljša stopnje odkrivanja napak.
◆Spremljanje stanja opreme
Sledenje premikom kritičnih komponent (robotskih rok, premikov odra) in vibracijam strojev za napovedno vzdrževanje in optimizacijo stabilnosti.
Serija PDE senzorjev Lanbao ne le premošča kritične tehnološke vrzeli na kitajskem trgu vrhunskih industrijskih senzorjev, temveč s svojo izjemno zmogljivostjo postavlja tudi nove svetovne standarde. Ne glede na to, ali gre za povečanje izkoristka, zmanjšanje proizvodnih stroškov ali pospeševanje razvoja procesov naslednje generacije, je serija PDE vaše končno orožje za premagovanje izzivov natančne proizvodnje polprevodnikov!
Čas objave: 8. maj 2025