අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය අද අධි තාක්‍ෂණික කර්මාන්තයේ වඩාත්ම නිරවද්‍යතාවය-ඉල්ලුම් සහ තාක්‍ෂණිකව සංකීර්ණ ක්ෂේත්‍රවලින් එකක් ලෙස පවතී. චිප් ක්‍රියාවලීන් 3nm සහ ඊටත් වඩා කුඩා නෝඩ් දෙසට ඉදිරියට යන විට, වේෆර් ඝණකම, මතුපිට සමතලා බව සහ ක්ෂුද්‍ර ව්‍යුහ මානයන් සඳහා මිනුම්වල නිරවද්‍යතාවය චිප් අස්වැන්න සහ කාර්ය සාධනය කෙලින්ම තීරණය කරයි. මෙම සන්දර්භය තුළ, ලේසර් විස්ථාපන සංවේදක, ඒවායේ ස්පර්ශ නොවන ක්‍රියාකාරිත්වය, උසස් නිරවද්‍යතාවය, වේගවත් ප්‍රතිචාර කාලයන් සහ වැඩිදියුණු කළ ස්ථායිතාව සමඟ, අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලිය පුරා අත්‍යවශ්‍ය "මිනුම් ඇස්" බවට පත්ව ඇත.
අර්ධ සන්නායක උපාංග නිෂ්පාදනයේ මූලික උපස්ථරය ලෙස, වේෆර් නිෂ්පාදනය අතරතුර අතිශය නිරවද්‍යතාවයක් සහ විශ්වසනීයත්වයක් අවශ්‍ය වේ. වේෆර් නිෂ්පාදනයේ බොහෝ තීරණාත්මක අවධීන් අතර, නිවැරදි විස්ථාපන මැනීම ඉතා වැදගත් වේ - එය අවසාන චිපයේ ක්‍රියාකාරිත්වයට සහ අස්වැන්නට සෘජුවම බලපායි. චීනයේ කාර්මික සංවේදක අංශයේ නවෝත්පාදන ප්‍රමුඛයෙකු ලෙස, මයික්‍රෝන මට්ටමේ විභේදනය, බුද්ධිමත් ඇල්ගොරිතම සහ කාර්මික ශ්‍රේණියේ විශ්වසනීයත්වය ඇතුළත් ලැන්සෙන්සර් හි PDE ශ්‍රේණියේ ලේසර් විස්ථාපන සංවේදක, වේෆර් නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලීන් සඳහා වඩාත් කැමති විසඳුම ලෙස මතු වී ඇත.
වේෆර් නිෂ්පාදනයේ නිරවද්‍ය අභියෝග සහ ලේසර් විස්ථාපන සංවේදකවල වාසි
වේෆර් නිෂ්පාදනය සඳහා ෆොටෝලිතෝග්‍රැෆි, කැටයම් කිරීම, තුනී පටල තැන්පත් කිරීම සහ බන්ධනය වැනි සංකීර්ණ ක්‍රියාවලීන් මාලාවක් ඇතුළත් වේ - ඒ සෑම එකක්ම මයික්‍රෝමීටර හෝ නැනෝමීටර මට්ටමින් පවා දැඩි නිරවද්‍යතාවයක් අවශ්‍ය වේ. උදාහරණයක් ලෙස:
-
ෆොටෝලිතෝග්‍රැෆි වලදී, වේෆර් මතුපිටට නිවැරදි රටා හුවමාරුව සහතික කිරීම සඳහා ෆොටෝමාස්ක් සහ වේෆර් අතර නිරවද්‍ය පෙළගැස්ම ඉතා වැදගත් වේ.
-
තුනී පටල තැන්පත් කිරීමේදී, උපාංගවල විද්‍යුත් ක්‍රියාකාරිත්වය සහතික කිරීම සඳහා පටල ඝණකම නිවැරදිව පාලනය කිරීම අත්‍යවශ්‍ය වේ.
සුළු අපගමනය පවා නිෂ්පාදන දෝෂ වලට තුඩු දිය හැකි අතර වේෆර් සමූහයක්ම භාවිතයට නුසුදුසු තත්වයට පත් කළ හැකිය.
සාම්ප්‍රදායික යාන්ත්‍රික මිනුම් ක්‍රම බොහෝ විට එවැනි ඉහළ නිරවද්‍යතා ඉල්ලීම් සපුරාලීමේදී අසමත් වේ. එපමණක් නොව, ඒවා බිඳෙනසුලු වේෆර් මතුපිටට හානි කිරීමේ හෝ දූෂණය කිරීමේ අවදානමක් ඇති අතර, ඒවායේ මන්දගාමී ප්‍රතිචාර වේගයන් අති නවීන මිනුම් විද්‍යා අවශ්‍යතා සඳහා ප්‍රමාණවත් නොවේ.
ලංබාඕසංවේදකයPDE ශ්‍රේණියේ ලේසර් විස්ථාපන සංවේදක: වේෆර් යෙදුම් සඳහා ප්‍රශස්ත විසඳුම
◆ස්පර්ශ නොවන ලේසර් මිනුම්
ඉලක්ක පෘෂ්ඨ මත ලේසර් කදම්භ ප්‍රක්ෂේපණය භාවිතා කරයි, විස්ථාපන දත්ත ලබා ගැනීම සඳහා පරාවර්තනය වූ/විසිරුණු සංඥා විශ්ලේෂණය කරයි - යාන්ත්‍රික හානි සහ දූෂණය වීමේ අවදානම වැළැක්වීම සඳහා වේෆර් සමඟ භෞතික සම්බන්ධතා ඉවත් කරයි.
◆මයික්‍රෝන මට්ටමේ නිරවද්‍යතාවය
උසස් ලේසර් තාක්ෂණය සහ සංඥා සැකසුම් ඇල්ගොරිතම මඟින් වේෆර් නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලීන්හි අතිශය නිරවද්‍යතා අවශ්‍යතා සපුරාලමින් මයික්‍රෝමීටර පරිමාණ මිනුම් නිරවද්‍යතාවය සහ විභේදනය ලබා දේ.
◆අතිශය වේගවත් ප්‍රතිචාරය (<10ms)
නිෂ්පාදන කාර්යක්ෂමතාව වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා ක්ෂණික අපගමනය හඳුනා ගැනීමට සහ නිවැරදි කිරීමට ඉඩ සලසමින්, ගතික නිෂ්පාදන වෙනස්කම් තත්‍ය කාලීනව නිරීක්ෂණය කිරීමට ඉඩ සලසයි.
◆සුවිශේෂී ද්‍රව්‍ය අනුකූලතාව
බහු අර්ධ සන්නායක ක්‍රියාවලි අදියර සඳහා සුදුසු, ශක්තිමත් පාරිසරික අනුවර්තනයක් සහිත විවිධ ද්‍රව්‍ය සහ මතුපිට වර්ග මැනීමේ හැකියාව ඇත.
◆සංයුක්ත කාර්මික නිර්මාණය
සංයුක්ත ආකෘති සාධකය ස්වයංක්‍රීය උපකරණ සහ පාලන පද්ධතිවලට බාධාවකින් තොරව ඒකාබද්ධ වීමට පහසුකම් සපයයි, බුද්ධිමත් ක්‍රියාවලි අධීක්ෂණය සහ සංවෘත-ලූප් ගැලපීම සක්‍රීය කරයි.
යෙදුම් අවස්ථාPDE ශ්‍රේණියේ ලේසර් විස්ථාපන සංවේදකවේෆර් සැකසුම් තුළ
ලැන්බාඕ සංවේදකයPDE ශ්‍රේණියේ ලේසර් විස්ථාපන සංවේදක: වේෆර් නිෂ්පාදනයේ තීරණාත්මක යෙදුම්
සුවිශේෂී කාර්ය සාධනයක් සහිතව, Lansensor PDE ලේසර් විස්ථාපන සංවේදක බහු වේෆර් නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලීන් හරහා වැදගත් කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි:
◆වේෆර් පෙළගැස්ම සහ ස්ථානගත කිරීම
මයික්‍රෝන මට්ටමේ නිරවද්‍යතාවයක් අවශ්‍ය වන ෆොටෝලිතෝග්‍රැෆි සහ බන්ධන ක්‍රියාවලීන් සඳහා, අපගේ සංවේදක මගින් වේෆර් පිහිටීම සහ ඇලවීමේ කෝණ නිවැරදිව මනිනු ලබන අතර එමඟින් වෙස් මුහුණේ සිට වේෆර් දක්වා පරිපූර්ණ පෙළගැස්ම සහ බන්ධන බාහු ස්ථානගත කිරීම සහතික කෙරේ - රටා මාරු කිරීමේ නිරවද්‍යතාවය වැඩි දියුණු කරයි.
◆වේෆර් ඝණකම මිනුම් විද්‍යාව
තැන්පත් කිරීමේ ක්‍රියාවලීන් අතරතුර තත්‍ය කාලීන අධීක්ෂණය සමඟ ස්පර්ශ නොවන ඝණකම මැනීම සක්‍රීය කිරීම, ප්‍රශස්ත තුනී පටල තත්ත්ව පාලනය සහතික කිරීම.
◆වේෆර් පැතලි බව පරීක්ෂාව
දෝෂ සහිත වේෆර් පහළට ප්‍රගතිය වැළැක්වීම සඳහා උප-මයික්‍රෝන විභේදනය සහිත වේෆර් විකෘති කිරීම සහ මතුපිට විරූපණය හඳුනා ගැනීම.
◆තුනී පටල ඝණකම නිරීක්ෂණය
දැඩි විද්‍යුත් කාර්ය සාධන පිරිවිතරයන් පවත්වා ගැනීම සඳහා CVD/PVD ක්‍රියාවලීන් අතරතුර තත්‍ය කාලීන තැන්පත් ඝණකම නිරීක්ෂණය සැපයීම.
◆මතුපිට දෝෂ හඳුනාගැනීම
අධි-විභේදන විස්ථාපන සිතියම්ගත කිරීම හරහා මයික්‍රෝන පරිමාණ මතුපිට විෂමතා (සීරීම්, අංශු) හඳුනා ගැනීම, දෝෂ හඳුනාගැනීමේ අනුපාත සැලකිය යුතු ලෙස වැඩිදියුණු කිරීම.
◆උපකරණ තත්ත්වය නිරීක්ෂණය කිරීම
පුරෝකථන නඩත්තුව සහ ස්ථායිතා ප්‍රශස්තිකරණය සඳහා තීරණාත්මක සංරචක විස්ථාපන (රොබෝ අත්, වේදිකා චලනයන්) සහ යන්ත්‍ර කම්පන නිරීක්ෂණය කිරීම.
Lanbao සංවේදකයේ PDE ශ්‍රේණිය චීනයේ ඉහළ මට්ටමේ කාර්මික සංවේදක වෙළඳපොලේ තීරණාත්මක තාක්‍ෂණික හිඩැස් පියවනවා පමණක් නොව, එහි සුවිශේෂී ක්‍රියාකාරිත්වය සමඟ නව ගෝලීය මිණුම් සලකුණු ස්ථාපිත කරයි. අස්වැන්න අනුපාත ඉහළ නැංවීම, නිෂ්පාදන පිරිවැය අඩු කිරීම හෝ ඊළඟ පරම්පරාවේ ක්‍රියාවලි සංවර්ධනය වේගවත් කිරීම යන ඕනෑම දෙයක්, නිරවද්‍ය අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන අභියෝග ජය ගැනීම සඳහා PDE ශ්‍රේණිය ඔබේ අවසාන අවිය ලෙස පවතී!
පළ කිරීමේ කාලය: මැයි-08-2025