د سیمیکمډکټر تولید د نن ورځې د لوړ ټیکنالوژۍ صنعت کې یو له خورا دقت غوښتونکي او تخنیکي پلوه پیچلي برخو څخه دی. لکه څنګه چې د چپ پروسې د 3nm او حتی کوچنیو نوډونو په لور پرمختګ کوي، د ویفر ضخامت، د سطحې فلیټنس، او مایکروسټرکچر ابعادو لپاره د اندازه کولو دقت په مستقیم ډول د چپ حاصل او فعالیت ټاکي. پدې شرایطو کې، د لیزر بې ځایه کیدنې سینسرونه، د دوی د غیر تماس عملیاتو، غوره دقت، ګړندي غبرګون وختونو، او پرمختللي ثبات سره، د سیمیکمډکټر تولید پروسې په اوږدو کې لازمي "د اندازه کولو سترګې" ګرځیدلي دي.
د سیمیکمډکټر وسیلې جوړولو د اصلي سبسټریټ په توګه، ویفرونه د تولید پرمهال خورا دقت او اعتبار ته اړتیا لري. د ویفر تولید د ډیری مهمو مرحلو په مینځ کې، د بې ځایه کیدو دقیق اندازه کول خورا مهم دي - دا په مستقیم ډول د وروستي چپ فعالیت او حاصل اغیزه کوي. د چین د صنعتي سینسنګ سکتور کې د نوښت مشر په توګه، د لینسینسر PDE لړۍ لیزر بې ځایه کیدو سینسرونه، چې د مایکرون کچې ریزولوشن، هوښیار الګوریتمونه، او صنعتي درجې اعتبار لري، د ویفر تولید پروسو لپاره د غوره حل په توګه راڅرګند شوي.
د ویفر په تولید کې دقت ننګونې او د لیزر بې ځایه کولو سینسرونو ګټې
د ویفر تولید د پیچلو پروسو لړۍ لري لکه فوتولیتوګرافي، ایچنګ، د پتلي فلم زیرمه کول، او تړل - هر یو د مایکرومیټر یا حتی نانومیټر په کچه سخت دقت ته اړتیا لري. د مثال په توګه:
-
په فوتولیتوګرافي کې، د فوټوماسک او ویفر ترمنځ دقیق سمون خورا مهم دی ترڅو د ویفر سطحې ته د نمونې دقیق لیږد ډاډمن شي.
-
د پتلي فلم د زیرمه کولو په جریان کې، د فلم د ضخامت دقیق کنټرول د وسایلو د بریښنایی فعالیت تضمین کولو لپاره اړین دی.
حتی لږ انحراف کولی شي د محصول نیمګړتیاوې رامینځته کړي یا حتی د ویفرونو ټوله ډله د کارولو وړ نه کړي.
د اندازه کولو دودیز میخانیکي میتودونه ډیری وختونه د داسې لوړ دقت غوښتنو په پوره کولو کې پاتې راځي. سربیره پردې، دوی د نازک ویفر سطحې ته زیان رسولو یا ککړتیا خطر لري، پداسې حال کې چې د دوی ورو غبرګون سرعت دوی د عصري میټرولوژي اړتیاو لپاره ناکافي کوي.
لانباوسینسرد PDE لړۍ لیزر بې ځایه کیدو سینسرونه: د ویفر غوښتنلیکونو لپاره غوره حل
◆د غیر تماس لیزر اندازه کول
د لیزر بیم پروجیکشن د هدف په سطحو کاروي، د بې ځایه کیدو معلوماتو ترلاسه کولو لپاره منعکس شوي / خپاره شوي سیګنالونه تحلیل کوي - د میخانیکي زیان او ککړتیا خطرونو مخنیوي لپاره د ویفرونو سره فزیکي تماس له منځه وړي.
◆د مایکرون کچې دقیقیت
د لیزر پرمختللې ټیکنالوژي او د سیګنال پروسس کولو الګوریتمونه د مایکرومیټر پیمانه د اندازه کولو دقت او ریزولوشن وړاندې کوي، د ویفر جوړونې پروسو خورا دقیق اړتیاوې پوره کوي.
◆ډېر چټک غبرګون (<۱۰ ملی ثانیې)
د تولید د متحرک تغیراتو ریښتیني وخت څارنه فعالوي، د تولید موثریت لوړولو لپاره د سمدستي انحراف کشف او سمون ته اجازه ورکوي.
◆د موادو استثنایی مطابقت
د مختلفو موادو او سطحو ډولونو اندازه کولو وړتیا لري د قوي چاپیریالي تطابق سره، د ډیری سیمیکمډکټر پروسې مرحلو لپاره مناسب.
◆کمپیکټ صنعتي ډیزاین
د کمپیکټ فارم فکتور په اتوماتیک تجهیزاتو او کنټرول سیسټمونو کې بې ساري ادغام اسانه کوي، د هوښیار پروسې څارنې او تړل شوي لوپ تنظیم کولو توان ورکوي.
د غوښتنلیک سناریوګانېد PDE لړۍ لیزر بې ځایه کیدو سینسرونهد ویفر پروسس کې
د لانباو سینسرد PDE لړۍ لیزر بې ځایه کیدو سینسرونه: د ویفر په تولید کې مهم غوښتنلیکونه
د استثنایی فعالیت سره، د لینسینسر PDE لیزر بې ځایه کیدنې سینسرونه د ډیری ویفر جوړولو پروسو کې مهم رول لوبوي:
◆د ویفر سمون او موقعیت ورکول
د فوتولیتوګرافي او د تړلو پروسو لپاره چې د مایکرون کچې دقت ته اړتیا لري، زموږ سینسرونه په دقیق ډول د ویفر موقعیت او د ټیلټ زاویې اندازه کوي ترڅو د ماسک څخه تر ویفر پورې بشپړ سمون او د تړلو بازو موقعیت ډاډمن کړي - د نمونې لیږد دقیقیت لوړوي.
◆د ویفر ضخامت میټرولوژي
د زیرمه کولو پروسو په جریان کې د ریښتیني وخت څارنې سره د غیر تماس ضخامت اندازه کول فعالول، د غوره پتلي فلم کیفیت کنټرول ډاډمن کول.
◆د ویفر فلیټنس معاینه
د فرعي مایکرون ریزولوشن سره د ویفر وارپیج او سطحې خرابوالي کشف کول ترڅو د نیمګړتیاو ویفرونو د ښکته جریان مخه ونیسي.
◆د نري فلم ضخامت څارنه
د CVD/PVD پروسو په جریان کې د ریښتیني وخت زیرمو ضخامت تعقیب چمتو کول ترڅو د بریښنایی فعالیت سخت مشخصات وساتي.
◆د سطحې نیمګړتیا کشف کول
د لوړ ریزولوشن بې ځایه کیدنې نقشې له لارې د مایکرون پیمانه سطحې بې نظمۍ (خرابونه، ذرات) پیژندل، د نیمګړتیاوو کشف کولو کچه د پام وړ ښه کوي.
◆د تجهیزاتو حالت څارنه
د وړاندوینې ساتنې او ثبات اصلاح کولو لپاره د مهمو اجزاو بې ځایه کیدو (د روبوټ وسلو، سټیج حرکتونو) او د ماشین وایبریشنونو تعقیب کول.
د لانباو سینسر د PDE لړۍ نه یوازې د چین د لوړ پای صنعتي سینسر بازار کې د ټیکنالوژۍ مهم تشې ډکوي بلکه د خپل استثنایی فعالیت سره نوي نړیوال معیارونه رامینځته کوي. که د حاصلاتو کچه لوړه کړي، د تولید لګښتونه کم کړي، یا د راتلونکي نسل پروسې پراختیا ګړندۍ کړي، د PDE لړۍ د دقیق سیمیکمډکټر تولید ننګونو فتح کولو لپاره ستاسو د وروستۍ وسلې په توګه ولاړه ده!
د پوسټ وخت: می-۰۸-۲۰۲۵