Høypresisjonssensorer hjelper presisjonsproduksjon av halvledere
Hovedbeskrivelse
Lanbaos høypresisjonslaseravstandssensor og forskyvningssensor, spektralkonfokalsensor og 3D-laserskanningssensor kan tilby tilpassede tjenester og varierte presisjonsmåleløsninger for halvlederindustrien.

Applikasjonsbeskrivelse
Lanbaos synssensorer, kraftsensorer, fotoelektriske sensorer, nærhetssensorer, sensorer for å unngå hindringer, lysgardinsensorer for området osv. kan gi nødvendig informasjon for at mobile roboter og industriroboter skal kunne utføre relevante operasjoner på riktig måte, for eksempel sporing, posisjonering, unngåelse av hindringer og justeringshandlinger.
Underkategorier
Prospektets innhold

Fotoresistbelegger
Høypresisjonslaserforskyvningssensor registrerer høyden på fotoresistbelegget for å opprettholde stabil beleggnøyaktighet.

Terningsmaskin
Tykkelsen på skjærebladet er bare titalls mikron, og deteksjonsnøyaktigheten til høypresisjonslaserforskyvningssensoren kan nå 5 µm, slik at bladtykkelsen kan måles ved å installere to sensorer ansikt til ansikt, noe som kan redusere vedlikeholdstiden betraktelig.

Waferinspeksjon
Utstyr for inspeksjon av waferutseende er nødvendig for kvalitetsinspeksjon under waferproduksjon. Dette utstyret er avhengig av visuell inspeksjon av høypresisjonslaserforskyvningssensor for å oppnå fokusjustering.