Halvlederutstyrsindustri

Høypresisjonssensorer hjelper presisjonsproduksjon av halvledere

Hovedbeskrivelse

Lanbaos høypresisjonslaseravstandssensor og forskyvningssensor, spektralkonfokalsensor og 3D-laserskanningssensor kan tilby tilpassede tjenester og varierte presisjonsmåleløsninger for halvlederindustrien.

Halvlederutstyrsindustri2

Applikasjonsbeskrivelse

Lanbaos synssensorer, kraftsensorer, fotoelektriske sensorer, nærhetssensorer, sensorer for å unngå hindringer, lysgardinsensorer for området osv. kan gi nødvendig informasjon for at mobile roboter og industriroboter skal kunne utføre relevante operasjoner på riktig måte, for eksempel sporing, posisjonering, unngåelse av hindringer og justeringshandlinger.

Underkategorier

Prospektets innhold

Halvlederutstyrsindustri3

Fotoresistbelegger

Høypresisjonslaserforskyvningssensor registrerer høyden på fotoresistbelegget for å opprettholde stabil beleggnøyaktighet.

Halvlederutstyrsindustri4

Terningsmaskin

Tykkelsen på skjærebladet er bare titalls mikron, og deteksjonsnøyaktigheten til høypresisjonslaserforskyvningssensoren kan nå 5 µm, slik at bladtykkelsen kan måles ved å installere to sensorer ansikt til ansikt, noe som kan redusere vedlikeholdstiden betraktelig.

Halvlederutstyrsindustri5

Waferinspeksjon

Utstyr for inspeksjon av waferutseende er nødvendig for kvalitetsinspeksjon under waferproduksjon. Dette utstyret er avhengig av visuell inspeksjon av høypresisjonslaserforskyvningssensor for å oppnå fokusjustering.