Halfgeleiderapparatuurindustrie

Zeer nauwkeurige sensor ondersteunt precisieproductie van halfgeleiders

Hoofdomschrijving

De uiterst nauwkeurige laser-afstandssensoren, verplaatsingssensoren, spectrale confocale sensoren en 3D-laserscansensoren van Lanbao bieden maatwerkoplossingen en een breed scala aan precisiemetingen voor de halfgeleiderindustrie.

Halfgeleiderapparatuurindustrie2

Toepassingsbeschrijving

De visionsensor, krachtsensor, fotocelsensor, naderingssensor, obstakeldetectiesensor, lichtschermsensor, enzovoort van Lanbao kunnen de benodigde informatie leveren voor mobiele robots en industriële robots om relevante handelingen correct uit te voeren, zoals volgen, positioneren, obstakeldetectie en bijsturing.

Subcategorieën

Inhoud van het prospectus

Halfgeleiderapparatuurindustrie3

Fotolakcoater

Een uiterst nauwkeurige laserverplaatsingssensor detecteert de hoogte van de fotolaklaag om een ​​stabiele coatingnauwkeurigheid te garanderen.

Halfgeleiderapparatuurindustrie4

Snijmachine

De dikte van een snijblad is slechts enkele tientallen microns, en de detectienauwkeurigheid van een zeer precieze laserverplaatsingssensor kan 5 µm bereiken. Hierdoor kan de bladdikte worden gemeten door twee sensoren tegenover elkaar te plaatsen, wat de onderhoudstijd aanzienlijk kan verkorten.

Halfgeleiderapparatuurindustrie5

Waferinspectie

Apparatuur voor de inspectie van het uiterlijk van wafers is nodig voor kwaliteitscontrole tijdens de productie van waferbatches. Deze apparatuur maakt gebruik van visuele inspectie met een zeer nauwkeurige laserverplaatsingssensor om de focus aan te passen.