Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл нь өнөөгийн өндөр технологийн салбарын хамгийн нарийвчлал шаарддаг, технологийн хувьд нарийн төвөгтэй салбаруудын нэг юм. Чипийн процессууд 3нм ба түүнээс бага зангилаа руу шилжих тусам ваферын зузаан, гадаргуугийн тэгш байдал, бичил бүтцийн хэмжээсийн хэмжилтийн нарийвчлал нь чипийн гарц болон гүйцэтгэлийг шууд тодорхойлдог. Энэ хүрээнд лазерын шилжилтийн мэдрэгч нь контактгүй ажиллагаа, дээд зэргийн нарийвчлал, хурдан хариу үйлдэл үзүүлэх хугацаа, сайжруулсан тогтвортой байдал зэрэг нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн процессын туршид зайлшгүй шаардлагатай "хэмжилтийн нүд" болсон.
Хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн үйлдвэрлэлийн гол суурь болох вафли нь үйлдвэрлэлийн явцад маш нарийн, найдвартай байдлыг шаарддаг. Вафли үйлдвэрлэх олон чухал үе шатуудын дунд шилжилтийн нарийвчлалыг хэмжих нь хамгийн чухал бөгөөд энэ нь эцсийн чипийн гүйцэтгэл болон гарцад шууд нөлөөлдөг. Хятадын үйлдвэрлэлийн мэдрэгчийн салбарын инновацийн тэргүүлэгч болохын хувьд Lansensor-ийн PDE цуврал лазер шилжилтийн мэдрэгч нь микрон түвшний нягтрал, ухаалаг алгоритм, үйлдвэрлэлийн түвшний найдвартай байдалтай тул вафли үйлдвэрлэх процессын хамгийн тохиромжтой шийдэл болж гарч ирсэн.
Вафер үйлдвэрлэлийн нарийвчлалын бэрхшээлүүд ба лазер шилжилтийн мэдрэгчийн давуу талууд
Вафли үйлдвэрлэх нь фотолитографи, сийлбэр, нимгэн хальсан тунадасжуулалт, наалдуулах зэрэг хэд хэдэн нарийн төвөгтэй процессуудыг хамардаг бөгөөд тус бүр нь микрометр эсвэл бүр нанометрийн түвшинд нарийн нарийвчлал шаарддаг. Жишээлбэл:
-
Фотолитографийн хувьд фотомаск болон вафлийн хоорондох нарийн уялдаа холбоо нь вафлийн гадаргуу дээр хээг зөв шилжүүлэхийг баталгаажуулах нь чухал юм.
-
Нимгэн хальсан бүрхүүлийн үед төхөөрөмжийн цахилгаан гүйцэтгэлийг баталгаажуулахын тулд хальсан бүрхүүлийн зузааныг нарийн хянах нь чухал юм.
Бага зэрэг хазайлт ч гэсэн бүтээгдэхүүний согог үүсгэж эсвэл бүхэл бүтэн багц вафли ашиглах боломжгүй болгож болзошгүй.
Уламжлалт механик хэмжилтийн аргууд нь ийм өндөр нарийвчлалтай шаардлагыг хангахад ихэвчлэн дутагдалтай байдаг. Түүнчлэн, тэдгээр нь эмзэг хавтангийн гадаргууг гэмтээх эсвэл бохирдуулах эрсдэлтэй байдаг бол хариу үйлдэл үзүүлэх хурд нь удаан байдаг тул хэмжилзүйн хамгийн сүүлийн үеийн шаардлагад нийцэхгүй байна.
ЛанбаомэдрэгчPDE цувралын лазер шилжилтийн мэдрэгчүүдВафлины хэрэглээнд зориулсан оновчтой шийдэл
◆Холбоо барихгүй лазер хэмжилт
Байны гадаргуу дээр лазер туяаны тусгалыг ашиглан, шилжилтийн өгөгдлийг олж авахын тулд ойсон/тархсан дохиог шинжилж, механик гэмтэл, бохирдлын эрсдэлээс урьдчилан сэргийлэхийн тулд вафлитай физик холбоо барихыг арилгана.
◆Микрон түвшний нарийвчлал
Дэвшилтэт лазер технологи болон дохио боловсруулах алгоритмууд нь микрометрийн масштабын хэмжилтийн нарийвчлал болон нягтралыг хангаж, хавтангийн үйлдвэрлэлийн процессын хэт нарийвчлалын шаардлагыг хангадаг.
◆Хэт хурдан хариу үйлдэл (<10мс)
Үйлдвэрлэлийн үр ашгийг дээшлүүлэхийн тулд динамик үйлдвэрлэлийн хэлбэлзлийг бодит цагийн хяналт хийх боломжийг олгож, хазайлтыг шууд илрүүлж, залруулах боломжийг олгодог.
◆Онцгой материалын нийцтэй байдал
Олон төрлийн материал болон гадаргуугийн төрлийг хэмжих чадвартай, хүрээлэн буй орчинд дасан зохицох чадвартай, хагас дамжуулагчийн олон үе шатанд тохиромжтой.
◆Компакт үйлдвэрлэлийн дизайн
Авсаархан хэлбэр хүчин зүйл нь автоматжуулсан тоног төхөөрөмж болон хяналтын системд жигд нэгтгэх боломжийг олгож, ухаалаг процессын хяналт болон хаалттай гогцооны тохируулга хийх боломжийг олгодог.
Хэрэглээний хувилбаруудPDE цувралын лазер шилжилтийн мэдрэгчүүдВафли боловсруулах чиглэлээр
Ланбао мэдрэгчPDE цувралын лазер шилжилтийн мэдрэгчүүдВафли үйлдвэрлэхэд чухал хэрэглээ
Онцгой гүйцэтгэлтэй тул Lansensor PDE лазерын шилжилтийн мэдрэгч нь олон тооны хавтангийн үйлдвэрлэлийн процесст чухал үүрэг гүйцэтгэдэг:
◆Ваферын тохиргоо ба байрлал
Микрон түвшний нарийвчлал шаарддаг фотолитографи болон холбох процессын хувьд манай мэдрэгчүүд нь маск болон ваферын төгс тохируулга, холбох гарны байрлалыг хангахын тулд ваферын байрлал болон хазайлтын өнцгийг нарийн хэмждэг бөгөөд энэ нь хээ дамжуулах нарийвчлалыг сайжруулдаг.
◆Ваферын зузааны хэмжил зүй
Нимгэн хальсны чанарын оновчтой хяналтыг хангахын тулд тунадасжуулалтын процессын явцад бодит цагийн хяналттайгаар холбоо барихгүйгээр зузааны хэмжилтийг идэвхжүүлнэ.
◆Ваферын хавтгай байдлын үзлэг
Согогтой вафли урсгалын дагуу урагшлахаас урьдчилан сэргийлэхийн тулд субмикрон нарийвчлалтайгаар вафлийн хэв гажилт болон гадаргын деформацийг илрүүлэх.
◆Нимгэн хальсны зузааны хяналт
Цахилгааны гүйцэтгэлийн хатуу үзүүлэлтүүдийг хадгалахын тулд CVD/PVD процессын явцад хуримтлалын зузааныг бодит цагийн хяналтаар хангах.
◆Гадаргуугийн согогийг илрүүлэх
Өндөр нарийвчлалтай шилжилтийн зураглалаар дамжуулан микрон хэмжээний гадаргуугийн гажиг (зураас, бөөмс)-ийг тодорхойлж, согог илрүүлэх түвшинг мэдэгдэхүйц сайжруулсан.
◆Тоног төхөөрөмжийн нөхцөл байдлын хяналт
Урьдчилан таамаглах засвар үйлчилгээ болон тогтвортой байдлыг оновчтой болгохын тулд чухал бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн шилжилт хөдөлгөөн (роботын гар, тайзны хөдөлгөөн) болон машины чичиргээг хянах.
Lanbao мэдрэгчийн PDE цуврал нь Хятадын өндөр зэрэглэлийн үйлдвэрлэлийн мэдрэгчийн зах зээл дэх технологийн чухал цоорхойг нөхөөд зогсохгүй онцгой гүйцэтгэлээрээ дэлхийн шинэ жишиг тогтоодог. Ургацын хэмжээг нэмэгдүүлэх, үйлдвэрлэлийн зардлыг бууруулах, эсвэл дараагийн үеийн процессын хөгжлийг хурдасгахаас үл хамааран PDE цуврал нь нарийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн сорилтуудыг даван туулах таны эцсийн зэвсэг болж байна!
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 5-р сарын 8