Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл нь орчин үеийн өндөр технологийн салбарын хамгийн нарийвчлал шаардсан, технологийн нарийн төвөгтэй салбаруудын нэг юм. Чипийн процессууд 3 нм ба түүнээс ч жижиг зангилаанууд руу урагшлах тусам хавтанцарын зузаан, гадаргуугийн тэгш байдал, бичил бүтцийн хэмжээсийг хэмжих нарийвчлал нь чипний гарц, гүйцэтгэлийг шууд тодорхойлдог. Энэ хүрээнд лазерын шилжилтийн мэдрэгч нь контактгүй ажиллагаа, өндөр нарийвчлал, хурдан хариу өгөх хугацаа, тогтвортой байдал зэрэг нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн явцад зайлшгүй шаардлагатай "хэмжилтийн нүд" болсон.
Хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн үйлдвэрлэлийн үндсэн суурь болох хавтан нь үйлдвэрлэлийн явцад маш нарийвчлал, найдвартай байдлыг шаарддаг. Өргөст ялтсын үйлдвэрлэлийн олон чухал үе шатуудын дунд нүүлгэн шилжүүлэлтийг үнэн зөв хэмжих нь хамгийн чухал бөгөөд энэ нь эцсийн чипийн гүйцэтгэл, гарцад шууд нөлөөлдөг. Хятадын аж үйлдвэрийн мэдрэгчийн салбарт инновацийн тэргүүлэгч болохын хувьд микрон түвшний нарийвчлал, ухаалаг алгоритм, үйлдвэрлэлийн түвшний найдвартай байдлыг агуулсан Lansensor-ийн PDE цуврал лазерын шилжилтийн мэдрэгч нь өрөм үйлдвэрлэх процесст илүүд үздэг шийдэл болж байна.
Вафель үйлдвэрлэхэд тулгарч буй нарийн сорилтууд ба лазерын шилжилтийн мэдрэгчийн давуу талууд
Өргөст цаасны үйлдвэрлэл нь фотолитографи, сийлбэр, нимгэн хальсан тунадас, наалт зэрэг хэд хэдэн нарийн төвөгтэй процессуудыг хамардаг бөгөөд энэ нь микрометр эсвэл бүр нанометрийн түвшинд нарийн нарийвчлал шаарддаг. Жишээ нь:
-
Фотолитографийн хувьд зургийн маск ба вафель хоёрын хооронд нарийн тохируулга хийх нь хээг вафель гадаргуу дээр үнэн зөв дамжуулахад чухал үүрэгтэй.
-
Нимгэн хальсан дээр буулгах үед төхөөрөмжийн цахилгаан гүйцэтгэлийг баталгаажуулахын тулд хальсны зузааныг нарийн хянах нь чухал юм.
Бага зэргийн хазайлт нь бүтээгдэхүүний согог, тэр ч байтугай бүхэл бүтэн багцыг ашиглах боломжгүй болгож болзошгүй юм.
Уламжлалт механик хэмжилтийн аргууд нь ийм өндөр нарийвчлалтай шаардлагыг хангахад ихэвчлэн дутагдалтай байдаг. Түүнээс гадна тэдгээр нь хэврэг хавтангийн гадаргууг гэмтээж, бохирдуулах эрсдэлтэй бөгөөд хариу үйлдэл үзүүлэх хурд нь удаашрал нь хэмжилзүйн хамгийн сүүлийн үеийн шаардлагад хангалтгүй болгодог.
ЛанбаомэдрэгчPDE цуврал лазерын шилжилт мэдрэгч: Өрөөнд хэрэглэх хамгийн оновчтой шийдэл
◆Холбоо барихгүй лазерын хэмжилт
Зорилтот гадаргуу дээр лазер туяаны проекцийг ашиглан шилжилтийн мэдээллийг олж авахын тулд туссан/тарсан дохиог шинжилдэг - механик гэмтэл, бохирдох эрсдэлээс урьдчилан сэргийлэхийн тулд хавтантай бие махбодийн холбоо барихыг арилгадаг.
◆Микроны түвшний нарийвчлал
Лазерын дэвшилтэт технологи, дохио боловсруулах алгоритмууд нь микрометрийн хэмжилтийн нарийвчлал, нарийвчлалыг хангаж, вафель үйлдвэрлэх үйл явцын өндөр нарийвчлалын шаардлагыг хангадаг.
◆Хэт хурдан хариу үйлдэл (<10мс)
Үйлдвэрлэлийн динамик өөрчлөлтийн бодит цагийн хяналтыг идэвхжүүлж, үйлдвэрлэлийн үр ашгийг дээшлүүлэхийн тулд хазайлтыг нэн даруй илрүүлж, засах боломжийг олгодог.
◆Материалын онцгой нийцтэй байдал
Хагас дамжуулагч процессын олон үе шатанд тохиромжтой, байгаль орчинд хүчтэй дасан зохицох чадвартай төрөл бүрийн материал, гадаргуугийн төрлийг хэмжих чадвартай.
◆Аж үйлдвэрийн авсаархан дизайн
Компакт хэлбэрийн хүчин зүйл нь автоматжуулсан тоног төхөөрөмж, хяналтын системд саадгүй нэгтгэх, үйл явцыг ухаалаг хянах, хаалттай горимд тохируулах боломжийг олгодог.
Хэрэглээний хувилбаруудPDE цуврал лазерын шилжилт мэдрэгчWafer Processing-д
Lanbao мэдрэгчPDE цуврал лазерын шилжилт мэдрэгч: Өрөөн цаасны үйлдвэрлэл дэх чухал хэрэглээ
Гайхамшигтай гүйцэтгэлээр Lansensor PDE лазер нүүлгэн шилжүүлэлтийн мэдрэгч нь вафель үйлдвэрлэх олон процесст чухал үүрэг гүйцэтгэдэг.
◆Өргөст ялтсын тэгшитгэл ба байрлал
Микроны түвшний нарийвчлал шаарддаг фотолитографи болон холбох үйл явцын хувьд манай мэдрэгч нь хавтанцарын байрлал болон хазайлтын өнцгийг нарийн хэмжиж, маскыг ваффер хооронд төгс тэгшлэх, холбох гарын байрлалыг баталгаажуулж, хээ дамжуулах нарийвчлалыг нэмэгдүүлдэг.
◆Өрөөний зузаан хэмжил зүй
Тунадасжилтын явцад бодит цагийн хяналт бүхий контактгүй зузааныг хэмжих боломжийг олгож, нимгэн хальсны чанарын оновчтой хяналтыг хангана.
◆Өргөст хальсны тэгш байдлыг шалгах
Согогтой ялтсуудыг урсгалын дагуу урагшлахаас урьдчилан сэргийлэхийн тулд жижиг микрон нягтаршилтай хавтангийн эвдрэл, гадаргуугийн хэв гажилтыг илрүүлэх.
◆Нимгэн хальсны зузааныг хянах
Цахилгааны гүйцэтгэлийн хатуу үзүүлэлтүүдийг хадгалахын тулд CVD/PVD процессын явцад хуримтлалын зузааныг бодит цаг хугацаанд хянах боломжийг олгодог.
◆Гадаргуугийн согогийг илрүүлэх
Өндөр нарийвчлалтай нүүлгэн шилжүүлэлтийн зураглалаар дамжуулан микрон хэмжээний гадаргуугийн гажиг (зураас, тоосонцор) тодорхойлох, согог илрүүлэх түвшинг мэдэгдэхүйц сайжруулах.
◆Тоног төхөөрөмжийн нөхцөл байдлын хяналт
Урьдчилан таамаглах засвар үйлчилгээ, тогтвортой байдлыг оновчтой болгохын тулд чухал бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн шилжилт (робот гар, тайзны хөдөлгөөн) болон машины чичиргээг хянах.
Lanbao мэдрэгчийн PDE цуврал нь Хятадын дээд зэрэглэлийн үйлдвэрлэлийн мэдрэгчийн зах зээл дэх чухал технологийн цоорхойг нөхөөд зогсохгүй, онцгой гүйцэтгэлээрээ дэлхийн шинэ жишиг үзүүлэлтүүдийг бий болгож байна. Ургацын хэмжээг нэмэгдүүлэх, үйлдвэрлэлийн зардлыг бууруулах эсвэл дараагийн үеийн процессын хөгжлийг хурдасгах эсэхээс үл хамааран PDE цуврал нь нарийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн сорилтуудыг даван туулах хамгийн шилдэг зэвсэг болно!
Шуудангийн цаг: 2025-05-08