Производството на полупроводници е една од најпрецизните и технолошки најсложени области во денешната високотехнолошка индустрија. Како што процесите на чипови напредуваат кон 3nm и уште помали јазли, точноста на мерењата за дебелината на плочките, рамноста на површината и димензиите на микроструктурата директно го одредуваат приносот и перформансите на чипот. Во овој контекст, сензорите за ласерско поместување, со нивното бесконтактно работење, супериорна прецизност, побрзо време на одговор и подобрена стабилност, станаа неопходни „очи за мерење“ во текот на целиот процес на производство на полупроводници.
Како основна подлога за производство на полупроводнички уреди, плочките бараат екстремна прецизност и сигурност за време на производството. Меѓу многуте критични фази на производство на плочки, точното мерење на поместувањето е од најголема важност - тоа директно влијае на перформансите и приносот на финалниот чип. Како лидер во иновациите во индустрискиот сектор за сензори во Кина, ласерските сензори за поместување од серијата PDE на Lansensor, со резолуција на микронско ниво, интелигентни алгоритми и сигурност од индустриско ниво, се појавија како претпочитано решение за процесите на производство на плочки.
Прецизни предизвици во производството на плочки и предностите на ласерските сензори за поместување
Производството на плочки вклучува низа сложени процеси како што се фотолитографија, бакроење, таложење со тенок филм и лепење - секој од нив бара строга прецизност на микрометарско или дури и нанометарско ниво. На пример:
-
Во фотолитографијата, прецизното усогласување помеѓу фотомаската и плочката е клучно за да се обезбеди точен пренос на шаблонот на површината на плочката.
-
За време на нанесувањето на тенок филм, точната контрола на дебелината на филмот е од суштинско значење за да се гарантираат електричните перформанси на уредите.
Дури и најмалото отстапување може да доведе до дефекти на производот или дури и да ја направи целата серија плочки неупотреблива.
Традиционалните механички методи на мерење честопати не успеваат да ги задоволат таквите барања за висока прецизност. Покрај тоа, тие ризикуваат оштетување или контаминација на кревката површина на плочката, додека нивните бавни брзини на одговор ги прават несоодветни за најсовремените метролошки барања.
ЛанбаосензорЛасерски сензори за поместување од серијата PDEОптимално решение за апликации на плочки
◆Бесконтактно ласерско мерење
Користи проекција на ласерски зрак врз целните површини, анализирајќи ги рефлектираните/расејаните сигнали за да добие податоци за поместување - елиминирајќи го физичкиот контакт со плочките за да се спречат механички оштетувања и ризици од контаминација.
◆Прецизност на микронско ниво
Напредната ласерска технологија и алгоритмите за обработка на сигнали овозможуваат точност и резолуција на мерење на микрометарска скала, задоволувајќи ги екстремните прецизни барања на процесите на производство на плочки.
◆Ултра-брз одговор (<10ms)
Овозможува следење во реално време на динамичките варијации во производството, овозможувајќи моментално откривање и корекција на отстапувањата за да се подобри ефикасноста на производството.
◆Исклучителна компатибилност на материјалите
Способни за мерење на различни материјали и типови површини со силна прилагодливост кон животната средина, погодни за повеќе фази на полупроводнички процес.
◆Компактен индустриски дизајн
Компактниот формат овозможува беспрекорна интеграција во автоматизирана опрема и контролни системи, овозможувајќи интелигентно следење на процесите и прилагодување во затворена јамка.
Сценарија за примена наЛасерски сензори за поместување од серијата PDEво обработка на вафли
Lanbao сензорЛасерски сензори за поместување од серијата PDEКритични апликации во производството на плочки
Со исклучителни перформанси, ласерските сензори за поместување на Lansensor PDE играат витална улога во повеќе процеси на производство на плочки:
◆Порамнување и позиционирање на плочки
За процеси на фотолитографија и лепење кои бараат точност на микронско ниво, нашите сензори прецизно ја мерат положбата на плочката и аглите на навалување за да обезбедат совршено порамнување помеѓу маската и плочката и позиционирање на раката за лепење - подобрувајќи ја прецизноста на преносот на шаблонот.
◆Метрологија на дебелината на плочката
Овозможување на бесконтактно мерење на дебелината со мониторинг во реално време за време на процесите на нанесување, со што се обезбедува оптимална контрола на квалитетот на тенкото платно.
◆Инспекција на рамнината на плочката
Детектирање на искривување на плочките и површинска деформација со субмикронска резолуција за да се спречи движење на дефектните плочки низводно.
◆Мониторинг на дебелината на тенок филм
Обезбедување следење на дебелината на таложењето во реално време за време на CVD/PVD процесите за одржување на строги спецификации за електрични перформанси.
◆Детекција на површински дефекти
Идентификување на површински аномалии во микронска скала (гребнатини, честички) преку мапирање на поместување со висока резолуција, значително подобрување на стапките на откривање на дефекти.
◆Мониторинг на состојбата на опремата
Следење на поместувањата на критичните компоненти (роботски раце, движења на сцената) и вибрациите на машината за предвидливо одржување и оптимизација на стабилноста.
Серијата PDE на сензорот Lanbao не само што ги премостува критичните технолошки празнини на кинескиот пазар на индустриски сензори од висока класа, туку воспоставува и нови глобални стандарди со своите исклучителни перформанси. Без разлика дали ги зголемува стапките на принос, ги намалува трошоците за производство или го забрзува развојот на процеси од следната генерација, серијата PDE претставува ваше врвно оружје за освојување на предизвиците во производството на прецизно полупроводници!
Време на објавување: 08.05.2025