ಅರೆವಾಹಕ ನಿಖರತೆಯ ಉತ್ಪಾದನೆಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಸಂವೇದಕ ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ
ಮುಖ್ಯ ವಿವರಣೆ
ಲ್ಯಾನ್ಬಾವೊದ ಹೈ-ನಿಖರ ಲೇಸರ್ ರೇಂಜ್ ಸೆನ್ಸರ್ ಮತ್ತು ಡಿಸ್ಪ್ಲೇಸ್ಮೆಂಟ್ ಸೆನ್ಸರ್, ಸ್ಪೆಕ್ಟ್ರಲ್ ಕಾನ್ಫೋಕಲ್ ಸೆನ್ಸರ್ ಮತ್ತು 3D ಲೇಸರ್ ಸ್ಕ್ಯಾನಿಂಗ್ ಸೆನ್ಸರ್ಗಳು ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮಕ್ಕೆ ಕಸ್ಟಮೈಸ್ ಮಾಡಿದ ಸೇವೆಗಳು ಮತ್ತು ವೈವಿಧ್ಯಮಯ ನಿಖರ ಮಾಪನ ಪರಿಹಾರಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸಬಹುದು.

ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ವಿವರಣೆ
ಲ್ಯಾನ್ಬಾವೊದ ದೃಷ್ಟಿ ಸಂವೇದಕ, ಬಲ ಸಂವೇದಕ, ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುತ್ ಸಂವೇದಕ, ಸಾಮೀಪ್ಯ ಸಂವೇದಕ, ಅಡಚಣೆ ತಪ್ಪಿಸುವ ಸಂವೇದಕ, ಪ್ರದೇಶ ಬೆಳಕಿನ ಪರದೆ ಸಂವೇದಕ ಇತ್ಯಾದಿಗಳು ಮೊಬೈಲ್ ರೋಬೋಟ್ಗಳು ಮತ್ತು ಕೈಗಾರಿಕಾ ರೋಬೋಟ್ಗಳಿಗೆ ಟ್ರ್ಯಾಕಿಂಗ್, ಸ್ಥಾನೀಕರಣ, ಅಡಚಣೆ ತಪ್ಪಿಸುವ ಮತ್ತು ಹೊಂದಾಣಿಕೆಯ ಕ್ರಿಯೆಗಳಂತಹ ಸಂಬಂಧಿತ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಗಳನ್ನು ಸರಿಯಾಗಿ ನಿರ್ವಹಿಸಲು ಅಗತ್ಯವಾದ ಮಾಹಿತಿಯನ್ನು ಒದಗಿಸಬಹುದು.
ಉಪವರ್ಗಗಳು
ಪ್ರಾಸ್ಪೆಕ್ಟಸ್ನ ವಿಷಯ

ಫೋಟೋರೆಸಿಸ್ಟ್ ಕೋಟಿಂಗ್
ಸ್ಥಿರವಾದ ಲೇಪನ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳಲು ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಲೇಸರ್ ಸ್ಥಳಾಂತರ ಸಂವೇದಕವು ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್ ಲೇಪನದ ಎತ್ತರವನ್ನು ಪತ್ತೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.

ಡೈಸಿಂಗ್ ಯಂತ್ರ
ಕತ್ತರಿಸುವ ಬ್ಲೇಡ್ನ ದಪ್ಪವು ಕೇವಲ ಹತ್ತಾರು ಮೈಕ್ರಾನ್ಗಳು, ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಲೇಸರ್ ಸ್ಥಳಾಂತರ ಸಂವೇದಕದ ಪತ್ತೆ ನಿಖರತೆ 5um ತಲುಪಬಹುದು, ಆದ್ದರಿಂದ 2 ಸಂವೇದಕಗಳನ್ನು ಮುಖಾಮುಖಿಯಾಗಿ ಸ್ಥಾಪಿಸುವ ಮೂಲಕ ಬ್ಲೇಡ್ ದಪ್ಪವನ್ನು ಅಳೆಯಬಹುದು, ಇದು ನಿರ್ವಹಣಾ ಸಮಯವನ್ನು ಬಹಳವಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.

ವೇಫರ್ ತಪಾಸಣೆ
ವೇಫರ್ ಬ್ಯಾಚ್ ಉತ್ಪಾದನೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಗುಣಮಟ್ಟದ ತಪಾಸಣೆಗಾಗಿ ವೇಫರ್ ಗೋಚರತಾ ತಪಾಸಣೆ ಉಪಕರಣಗಳು ಅಗತ್ಯವಿದೆ. ಫೋಕಸ್ ಹೊಂದಾಣಿಕೆಯನ್ನು ಅರಿತುಕೊಳ್ಳಲು ಈ ಉಪಕರಣವು ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಲೇಸರ್ ಸ್ಥಳಾಂತರ ಸಂವೇದಕದ ದೃಷ್ಟಿ ತಪಾಸಣೆಯನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿದೆ.