ייצור מוליכים למחצה מהווה אחד התחומים הדורשים דיוק והמורכבים ביותר מבחינה טכנולוגית בתעשיית ההייטק של ימינו. ככל שתהליכי שבבים מתקדמים לעבר צמתים של 3 ננומטר ואף קטנים יותר, דיוק המדידות של עובי פרוסות, שטוחות פני השטח ומידות המיקרו-מבנה קובע ישירות את תפוקת השבב והביצועים שלו. בהקשר זה, חיישני תזוזה בלייזר, עם פעולתם ללא מגע, דיוק מעולה, זמני תגובה מהירים יותר ויציבות משופרת, הפכו ל"עיניים מדידה" הכרחיות לאורך כל תהליך ייצור המוליכים למחצה.
בתור המצע המרכזי של ייצור התקני מוליכים למחצה, פרוסות ופלים דורשות דיוק ואמינות קיצוניים במהלך הייצור. בין השלבים הקריטיים הרבים בייצור פרוסות ופלים, מדידת תזוזה מדויקת היא בעלת חשיבות עליונה - היא משפיעה ישירות על ביצועי השבב הסופי ועל התפוקה. כמובילה בחדשנות במגזר החישה התעשייתית של סין, חיישני תזוזה בלייזר מסדרת PDE של Lansensor, הכוללים רזולוציה ברמת מיקרון, אלגוריתמים חכמים ואמינות ברמה תעשייתית, צצו כפתרון המועדף לתהליכי ייצור פרוסות ופלים.
אתגרי דיוק בייצור פרוסות ויתרונות חיישני תזוזה בלייזר
ייצור פרוסות סיליקון כרוך בסדרה של תהליכים מורכבים כגון פוטוליוגרפיה, איכול, שיקוע שכבה דקה והדבקה - כל אחד מהם דורש דיוק מחמיר ברמת המיקרומטר או אפילו הננומטר. לדוגמה:
-
בפוטוליתוגרפיה, יישור מדויק בין הפוטומסכה לפרוסת הוופל הוא קריטי כדי להבטיח העברת תבנית מדויקת על פני הוופל.
-
במהלך שקיעת שכבה דקה, שליטה מדויקת בעובי שכבה חיונית כדי להבטיח את הביצועים החשמליים של המכשירים.
אפילו הסטייה הקטנה ביותר עלולה להוביל לפגמים במוצר או אפילו להפוך אצווה שלמה של ופלים לבלתי שמישה.
שיטות מדידה מכניות מסורתיות לעיתים קרובות אינן עומדות בדרישות דיוק כה גבוהות. יתר על כן, הן מסתכנות בגרימת נזק או זיהום של פני השטח השבריריים של פרוסת הוואפל, בעוד שמהירות התגובה האיטית שלהן הופכת אותן ללא מתאימות לדרישות מטרולוגיה מתקדמות.
לנבאוחיישןחיישני תזוזה לייזר מסדרת PDEהפתרון האופטימלי עבור יישומי ופלים
◆מדידת לייזר ללא מגע
משתמש בהקרנת קרן לייזר על משטחי המטרה, מנתח אותות מוחזרים/מפוזרים כדי לקבל נתוני תזוזה - תוך ביטול מגע פיזי עם פרוסות דמה (wafers) כדי למנוע נזק מכני וסיכוני זיהום.
◆דיוק ברמת מיקרון
טכנולוגיית לייזר מתקדמת ואלגוריתמים לעיבוד אותות מספקים דיוק ורזולוציה של מדידה בקנה מידה מיקרומטר, ועומדים בדרישות הדיוק הקיצוניות של תהליכי ייצור ופלים.
◆תגובה אולטרה מהירה (<10ms)
מאפשר ניטור בזמן אמת של שינויים דינמיים בייצור, ומאפשר זיהוי ותיקון מיידיים של סטיות כדי לשפר את יעילות הייצור.
◆תאימות חומרים יוצאת דופן
מסוגל למדוד מגוון חומרים וסוגי משטחים עם יכולת הסתגלות סביבתית חזקה, מתאים לשלבי תהליך מרובים של מוליכים למחצה.
◆עיצוב תעשייתי קומפקטי
צורתו הקומפקטית מאפשרת שילוב חלק בציוד אוטומטי ובמערכות בקרה, ומאפשרת ניטור תהליכים חכם וכוונון בלולאה סגורה.
תרחישי יישום שלחיישני תזוזה לייזר מסדרת PDEבעיבוד ופלים
חיישן לנבאוחיישני תזוזה לייזר מסדרת PDEיישומים קריטיים בייצור ופלים
עם ביצועים יוצאי דופן, חיישני תזוזה בלייזר PDE של Lansensor ממלאים תפקידים חיוניים בתהליכי ייצור פרוסות ופלים מרובים:
◆יישור ומיקום פרוסות
עבור תהליכי פוטוליתוגרפיה והדבקה הדורשים דיוק ברמת מיקרון, החיישנים שלנו מודדים במדויק את מיקום הוופל ואת זוויות ההטיה כדי להבטיח יישור מושלם בין המסכה לוופל ומיקום זרוע ההדבקה - ובכך משפרים את דיוק העברת התבנית.
◆מטרולוגיית עובי פרוסות
מאפשר מדידת עובי ללא מגע עם ניטור בזמן אמת במהלך תהליכי השקיעה, ומבטיח בקרת איכות אופטימלית של שכבה דקה.
◆בדיקת שטוחות פרוסות
גילוי עיוות ופלים ועיוות פני השטח ברזולוציה תת-מיקרון כדי למנוע ופלים פגומים להתקדם במורד הזרם.
◆ניטור עובי שכבה דקה
מתן מעקב אחר עובי השקיעה בזמן אמת במהלך תהליכי CVD/PVD כדי לשמור על מפרטי ביצועים חשמליים מחמירים.
◆גילוי פגמים במשטח
זיהוי אנומליות פני שטח בקנה מידה מיקרוני (שריטות, חלקיקים) באמצעות מיפוי תזוזה ברזולוציה גבוהה, תוך שיפור משמעותי של שיעורי גילוי פגמים.
◆ניטור מצב הציוד
מעקב אחר תזוזות רכיבים קריטיים (זרועות רובוט, תנועות במה) ורעידות מכונה לצורך תחזוקה ניבויית ואופטימיזציה של יציבות.
סדרת ה-PDE של Lanbao Sensor לא רק מגשרת על פערים טכנולוגיים קריטיים בשוק החיישנים התעשייתיים היוקרתיים של סין, אלא גם קובעת סטנדרטים עולמיים חדשים עם ביצועים יוצאי דופן. בין אם מדובר בהגדלת שיעורי התפוקה, הפחתת עלויות הייצור או האצת פיתוח תהליכים מהדור הבא, סדרת ה-PDE עומדת כנשק האולטימטיבי שלכם להתגברות על אתגרי ייצור מוליכים למחצה מדויקים!
זמן פרסום: 8 במאי 2025