Framleiðsla hálfleiðara er eitt af nákvæmniskrefjandi og tæknilega flóknustu sviðum hátækniiðnaðar nútímans. Þar sem örgjörvaframleiðsla þróast í átt að 3nm og jafnvel minni hnútum, hefur nákvæmni mælinga á þykkt skífna, flatneskju yfirborðs og örbyggingarvíddar beint áhrif á afköst og afköst örgjörvans. Í þessu samhengi hafa leysigeislaskynjarar, með snertilausri virkni, yfirburða nákvæmni, hraðari svörunartíma og aukinni stöðugleika, orðið ómissandi „mælingaaugu“ í öllu framleiðsluferli hálfleiðara.
Sem kjarna undirlags í framleiðslu hálfleiðara þurfa skífur mikla nákvæmni og áreiðanleika við framleiðslu. Meðal margra mikilvægra stiga í framleiðslu skífna er nákvæm mæling á tilfærslu afar mikilvæg — hún hefur bein áhrif á afköst og nýtingu lokaflögunnar. Sem leiðandi í nýsköpun í iðnaðarskynjunargeiranum í Kína hafa PDE serían af leysirtilfærsluskynjurum Lansensor, með upplausn á míkrómetrastigi, snjöllum reikniritum og áreiðanleika í iðnaðargæðaflokki, komið fram sem ákjósanleg lausn fyrir framleiðsluferla skífna.
Nákvæmnisáskoranir í framleiðslu á skífum og kostir leysigeislaskynjara
Framleiðsla á skífum felur í sér röð flókinna ferla eins og ljósritun, etsun, þunnfilmuútfellingu og límingu — sem hvert krefst mikillar nákvæmni á míkrómetra- eða jafnvel nanómetrastigi. Til dæmis:
-
Í ljósþrykksmyndatöku er nákvæm röðun milli ljósgrímunnar og skífunnar mikilvæg til að tryggja nákvæma mynsturflutning á yfirborð skífunnar.
-
Við þunnfilmuútfellingu er nauðsynlegt að hafa nákvæma stjórn á filmuþykkt til að tryggja rafmagnsafköst tækja.
Jafnvel minnsta frávik getur leitt til vörugalla eða jafnvel gert heila framleiðslulotu af skífum ónothæfa.
Hefðbundnar vélrænar mæliaðferðir standast oft ekki kröfur um slíka nákvæmni. Þar að auki eru þær í hættu á að skemma eða menga viðkvæma yfirborðið á skífunni, og hæg svörun gerir þær ófullnægjandi fyrir nýjustu mælitæknikröfur.
LanbaoskynjariPDE serían af leysigeislaskynjurumBesta lausnin fyrir skífuforrit
◆Snertilaus leysigeislamæling
Nýtir leysigeislavörpun á markfleti, greinir endurkastað/dreifð merki til að fá tilfærslugögn - og útilokar líkamlega snertingu við skífur til að koma í veg fyrir vélræna skemmdir og mengunarhættu.
◆Nákvæmni á míkronstigi
Háþróuð leysigeislatækni og reiknirit fyrir merkjavinnslu skila mælingum á míkrómetrakvarða og uppfylla þannig miklar kröfur um nákvæmni í framleiðsluferlum á skífum.
◆Mjög hröð svörun (<10ms)
Gerir kleift að fylgjast með breytingum á framleiðslu í rauntíma, sem gerir kleift að greina frávik tafarlaust og leiðrétta þau til að auka skilvirkni framleiðslu.
◆Framúrskarandi efnissamrýmanleiki
Getur mælt fjölbreytt efni og yfirborðsgerðir með sterkri aðlögunarhæfni að umhverfinu, hentugur fyrir mörg stig hálfleiðaraferla.
◆Samþjöppuð iðnaðarhönnun
Þétt hönnun auðveldar óaðfinnanlega samþættingu við sjálfvirkan búnað og stjórnkerfi, sem gerir kleift að fylgjast með ferlum á snjallan hátt og aðlaga kerfið í lokaðri hringrás.
Umsóknarsviðsmyndir afPDE serían af leysigeislaskynjurumí vöffluvinnslu
Lanbao skynjariPDE serían af leysigeislaskynjurumMikilvæg notkun í framleiðslu á skífum
Með einstakri afköstum gegna Lansensor PDE leysirfærsluskynjarar mikilvægu hlutverki í fjölmörgum framleiðsluferlum á skífum:
◆Jöfnun og staðsetning skífa
Fyrir ljósritun og líminguferli sem krefjast nákvæmni á míkrónóstigi mæla skynjarar okkar nákvæmlega staðsetningu skífna og hallahorn til að tryggja fullkomna röðun grímu og skífu og staðsetningu límingararms - sem eykur nákvæmni mynsturflutnings.
◆Mælingar á þykkt skífu
Gerir kleift að mæla þykkt án snertingar með rauntímaeftirliti meðan á útfellingarferlum stendur, sem tryggir bestu mögulegu gæðaeftirlit með þunnfilmu.
◆Skoðun á flatleika skífunnar
Greinir aflögun og aflögun yfirborðs skífa með upplausn undir míkrónum til að koma í veg fyrir að gallaðar skífur þróist niðurstreymis.
◆Þykktarvöktun þunnfilmu
Veitir rauntíma mælingar á útfellingarþykkt meðan á CVD/PVD ferlum stendur til að viðhalda ströngum forskriftum um rafmagnsafköst.
◆Greining á yfirborðsgöllum
Að bera kennsl á frávik á yfirborði á míkrómetrakvarða (rispur, agnir) með því að kortleggja tilfærslu með mikilli upplausn, sem bætir verulega tíðni gallagreiningar.
◆Eftirlit með ástandi búnaðar
Að fylgjast með tilfærslum mikilvægra íhluta (vélmennaörmum, hreyfingum sviðs) og titringi véla til að sjá fyrir um viðhald og hámarka stöðugleika.
PDE-serían frá Lanbao brúar ekki aðeins mikilvæg tæknileg bil á markaði kínverskra iðnaðarskynjara heldur setur hún einnig ný alþjóðleg viðmið með framúrskarandi afköstum. Hvort sem um er að ræða aukna framleiðslugetu, lækkun framleiðslukostnaðar eða flýta fyrir þróun næstu kynslóðar ferla, þá er PDE-serían fullkomin vopn til að sigrast á áskorunum í nákvæmri hálfleiðaraframleiðslu!
Birtingartími: 8. maí 2025