सेमीकंडक्टर उपकरण उद्योग

कटिंग ब्लेड की मोटाई केवल दसियों माइक्रोन है, और उच्च परिशुद्धता लेजर विस्थापन सेंसर की पहचान सटीकता 5um तक पहुंच सकती है, इसलिए ब्लेड की मोटाई को 2 सेंसर को आमने-सामने स्थापित करके मापा जा सकता है, जिससे रखरखाव का समय बहुत कम हो सकता है।

वेफर बैच उत्पादन के दौरान गुणवत्ता निरीक्षण के लिए वेफर उपस्थिति निरीक्षण उपकरण की आवश्यकता होती है। यह उपकरण फोकस समायोजन को साकार करने के लिए उच्च परिशुद्धता लेजर विस्थापन सेंसर के दृष्टि निरीक्षण पर निर्भर करता है।