Tá déantúsaíocht leathsheoltóra ar cheann de na réimsí is cruinne agus is casta ó thaobh na teicneolaíochta de i dtionscal ardteicneolaíochta an lae inniu. De réir mar a théann próisis sliseanna i dtreo 3nm agus nóid níos lú fós, is é cruinneas na dtomhas le haghaidh tiús na vaiféar, cothromaíocht an dromchla, agus toisí micreastruchtúir a chinneann toradh agus feidhmíocht na sliseanna go díreach. Sa chomhthéacs seo, tá braiteoirí díláithrithe léasair, lena n-oibriú neamh-theagmhála, cruinneas níos fearr, amanna freagartha níos tapúla, agus cobhsaíocht fheabhsaithe, anois ina "súile tomhais" riachtanacha ar fud an phróisis déantúsaíochta leathsheoltóra.
Ós rud é gurb iad príomhfhoshraith déantúsaíochta gléasanna leathsheoltóra, éilíonn na vaiféirí cruinneas agus iontaofacht mhór le linn an táirgthe. I measc na gcéimeanna criticiúla iomadúla i ndéantúsaíocht vaiféirí, tá tomhas cruinn díláithrithe ríthábhachtach—tá tionchar díreach aige ar fheidhmíocht agus ar tháirgeacht an tslis chríochnaithigh. Mar cheannaire nuálaíochta in earnáil braite tionsclaíoch na Síne, tá braiteoirí díláithrithe léasair sraith PDE Lansensor, a bhfuil taifeach micreonleibhéil, halgartaim chliste, agus iontaofacht ghrád tionsclaíoch acu, tagtha chun cinn mar an réiteach is fearr le haghaidh próisis déantúsaíochta vaiféirí.
Dúshláin Beachtais i nDéantúsaíocht Vaiféir agus Buntáistí Braiteoirí Díláithrithe Léasair
Bíonn sraith próiseas casta i gceist le monarú vaiféir amhail fótailithagrafaíocht, greanadh, taisceadh scannáin thanaí, agus nascadh—agus éilíonn gach ceann acu cruinneas dian ag an leibhéal micriméadair nó fiú nanaiméadar. Mar shampla:
-
I bhfótalithagrafaíocht, tá ailíniú beacht idir an fótamasc agus an vaiféar ríthábhachtach chun a chinntiú go ndéantar patrún a aistriú go cruinn chuig dromchla an vaiféir.
-
Le linn taisceadh scannáin tanaí, tá rialú beacht ar thiús an scannáin riachtanach chun feidhmíocht leictreach na bhfeistí a ráthú.
Is féidir fiú an diall is lú lochtanna táirge a bheith mar thoradh air nó fiú baisc iomlán vaiféir a fhágáil neamh-inúsáidte.
Is minic nach mbíonn modhanna traidisiúnta tomhais mheicniúla in ann freastal ar riachtanais chomh hardchruinnis sin. Ina theannta sin, bíonn baol ann go ndéanfaidh siad damáiste nó truailliú ar dhromchla leochaileach na vaiféir, agus mar gheall ar a luas freagartha mall ní leor iad do riachtanais mhéadreolaíochta ceannródaíocha.
LanbaobraiteoirBraiteoirí Díláithrithe Léasair Sraith PDEAn Réiteach is Fearr d'Fheidhmchláir Vaiféir
◆Tomhas Léasair Neamhtheagmhála
Úsáideann sé teilgean bhíoma léasair ar dhromchlaí sprice, ag anailísiú comharthaí frithchaite/scaipthe chun sonraí díláithrithe a fháil - ag deireadh a chur le teagmháil fhisiciúil le sceallóga chun damáiste meicniúil agus rioscaí éillithe a chosc.
◆Beachtas Leibhéal Micreon
Soláthraíonn teicneolaíocht léasair agus halgartaim próiseála comharthaí chun cinn cruinneas agus réiteach tomhais ar scála micrimhéadair, ag freastal ar éilimh chruinnis mhóra na bpróiseas monaraíochta vaiféil.
◆Freagairt thar a bheith gasta (<10ms)
Cumasaíonn sé monatóireacht fíor-ama ar athruithe dinimiciúla táirgthe, rud a ligeann do bhrath agus ceartú diall láithreach chun éifeachtúlacht déantúsaíochta a fheabhsú.
◆Comhoiriúnacht Ábhar Eisceachtúil
In ann ábhair agus cineálacha dromchla éagsúla a thomhas le hoiriúnaitheacht láidir don chomhshaol, atá oiriúnach do chéimeanna éagsúla den phróiseas leathsheoltóra.
◆Dearadh Tionsclaíoch Dlúth
Éascaíonn an fhoirm dhlúth comhtháthú gan uaim i dtrealamh uathoibrithe agus i gcórais rialaithe, rud a chuireann ar chumas monatóireacht chliste ar phróisis agus coigeartú lúb dúnta.
Cásanna IarrataisBraiteoirí Díláithrithe Léasair Sraith PDEi bPróiseáil Vaiféir
Braiteoir LanbaoBraiteoirí Díláithrithe Léasair Sraith PDEFeidhmeanna Criticiúla i nDéantúsaíocht Vaiféir
Le feidhmíocht eisceachtúil, tá róil ríthábhachtacha ag braiteoirí díláithrithe léasair Lansensor PDE i bpróisis éagsúla monaraíochta vaiféir:
◆Ailíniú & Suíomh na Sliseanna
I gcás próiseas fótailitagrafaíochta agus nasctha a éilíonn cruinneas ar leibhéal na micrón, déanann ár braiteoirí suíomh na vaiféar agus uillinneacha claonta a thomhas go beacht chun ailíniú foirfe an masc go dtí an vaiféar agus suíomh na láimhe nasctha a chinntiú - rud a fheabhsaíonn cruinneas aistrithe patrún.
◆Méadreolaíocht Tiús na Vaiféir
Ag cur ar chumas tomhas tiús neamh-theagmhála le monatóireacht fhíor-ama le linn próiseas taiscthe, rud a chinntíonn rialú cáilíochta is fearr is féidir ar scannáin tanaí.
◆Cigireacht ar Chomhréidh an tSabhlair
Ag braiteadh castachta agus dífhoirmíochta dromchla vaiféir le rún fo-mhicrón chun cosc a chur ar vaiféir lochtacha dul chun cinn síos an abhainn.
◆Monatóireacht Tiús Scannán Tanaí
Rianú tiús taiscthe fíor-ama a sholáthar le linn próiseas CVD/PVD chun sonraíochtaí feidhmíochta leictreacha dochta a choinneáil.
◆Brath Lochtanna Dromchla
Aimhrialtachtaí dromchla ar scála micrón (scratches, cáithníní) a aithint trí mhapáil díláithrithe ardtaifigh, rud a fheabhsaíonn rátaí braite lochtanna go suntasach.
◆Monatóireacht ar Choinníoll Trealamh
Rianú a dhéanamh ar dhíláithrithe comhpháirteanna ríthábhachtacha (airm róbait, gluaiseachtaí stáitse) agus ar chreathadh meaisín le haghaidh cothabhála réamhinsinteach agus optamú cobhsaíochta.
Ní hamháin go ndúnann sraith PDE braiteora Lanbao bearnaí teicneolaíochta ríthábhachtacha i margadh braiteoirí tionsclaíocha ard-deireadh na Síne ach bunaíonn sé tagarmharcanna domhanda nua lena fheidhmíocht eisceachtúil. Cibé acu rátaí toraidh a mhéadú, costais táirgthe a laghdú, nó forbairt phróisis den chéad ghlúin eile a luathú, seasann an tsraith PDE mar d’arm deiridh chun dúshláin déantúsaíochta leathsheoltóra beachtais a shárú!
Am an phoist: 8 Bealtaine 2025