Puolijohdelaiteteollisuus

Korkean tarkkuuden anturi auttaa puolijohteiden tarkkuustuotantoa

Pääkuvaus

Lanbaon erittäin tarkka laseretäisyysanturi ja siirtymäanturi, spektraalinen konfokaalianturi ja 3D-laserskannausanturi voivat tarjota räätälöityjä palveluita ja monipuolisia tarkkuusmittausratkaisuja puolijohdeteollisuudelle.

Puolijohdelaiteteollisuus2

Sovelluksen kuvaus

Lanbaon näköanturi, voima-anturi, valosähköinen anturi, läheisyysanturi, esteiden välttämisanturi, aluevaloverhoanturi jne. voivat tarjota mobiiliroboteille ja teollisuusroboteille tarvittavat tiedot, jotta ne voivat suorittaa oikein asiaankuuluvia toimintoja, kuten seurannan, paikannuksen, esteiden välttämisen ja toimintojen säätämisen.

Alaluokat

Esitteen sisältö

Puolijohdelaiteteollisuus3

Fotoresistipinnoitin

Tarkka lasersädeanturi havaitsee fotoresistin pinnoitteen korkeuden ja ylläpitää siten vakaan pinnoitteen tarkkuuden.

Puolijohdelaiteteollisuus4

Kuutiointikone

Leikkuuterän paksuus on vain kymmeniä mikroneja, ja tarkan lasersiirtymäanturin tunnistustarkkuus voi olla jopa 5 μm, joten terän paksuus voidaan mitata asentamalla kaksi anturia vastakkain, mikä voi lyhentää huoltoaikaa huomattavasti.

Puolijohdelaiteteollisuus5

Kiekkojen tarkastus

Kiekkojen ulkonäön tarkastuslaitteita tarvitaan laaduntarkastukseen kiekkoerän tuotannon aikana. Nämä laitteet perustuvat tarkan lasersiirtymäanturin konenäkötarkastukseen tarkennuksen säätöä varten.