حسگر با دقت بالا به تولید دقیق نیمه‌هادی کمک می‌کند
توضیحات اصلی
حسگر فاصله‌یابی لیزری و حسگر جابجایی با دقت بالای لانبائو، حسگر کانفوکال طیفی و حسگر اسکن لیزری سه‌بعدی می‌توانند خدمات سفارشی و راه‌حل‌های اندازه‌گیری دقیق متنوعی را برای صنعت نیمه‌رسانا ارائه دهند.
شرح برنامه
حسگر بینایی، حسگر نیرو، حسگر فوتوالکتریک، حسگر مجاورت، حسگر اجتناب از مانع، حسگر پرده نوری منطقه‌ای و غیره لانبائو می‌توانند اطلاعات لازم را برای ربات‌های متحرک و ربات‌های صنعتی فراهم کنند تا عملیات مربوطه مانند ردیابی، موقعیت‌یابی، اجتناب از مانع و تنظیم اقدامات را به درستی انجام دهند.
زیرشاخه‌ها
محتوای بروشور
پوشش دهنده فوتورزیست
حسگر جابجایی لیزری با دقت بالا، ارتفاع پوشش مقاوم در برابر نور را تشخیص می‌دهد تا دقت پوشش پایدار حفظ شود.
دستگاه دیسینگ
ضخامت تیغه برش تنها ده‌ها میکرون است و دقت تشخیص حسگر جابجایی لیزری با دقت بالا می‌تواند به 5 میکرومتر برسد، بنابراین می‌توان ضخامت تیغه را با نصب 2 حسگر رو در رو اندازه‌گیری کرد که می‌تواند زمان نگهداری را بسیار کاهش دهد.
بازرسی ویفر
برای بررسی کیفیت در طول تولید دسته‌ای ویفر، به تجهیزات بازرسی ظاهر ویفر نیاز است. این تجهیزات برای تنظیم فوکوس، به بازرسی بصری حسگر جابجایی لیزری با دقت بالا متکی هستند.