Højpræcisionssensorer understøtter præcisionsproduktion af halvledere
Hovedbeskrivelse
Lanbaos højpræcisionslaserafstandssensor og forskydningssensor, spektralkonfokalsensor og 3D-laserscanningssensor kan tilbyde skræddersyede tjenester og diversificerede præcisionsmåleløsninger til halvlederindustrien.
Applikationsbeskrivelse
Lanbaos visionssensorer, kraftsensorer, fotoelektriske sensorer, nærhedssensorer, forhindringsundgåelsessensorer, områdelysgardinsensorer osv. kan give nødvendige oplysninger, så mobile robotter og industrirobotter korrekt kan udføre relevante operationer, såsom sporing, positionering, forhindringsundgåelse og justering.
Underkategorier
Prospektets indhold
Fotoresistbelægningsmaskine
Højpræcisionslaserforskydningssensor registrerer fotoresistbelægningens højde for at opretholde stabil belægningsnøjagtighed.
Terningsmaskine
Skærebladets tykkelse er kun ti mikrometer, og detektionsnøjagtigheden af den højpræcisions laserforskydningssensor kan nå 5 µm, så bladets tykkelse kan måles ved at installere 2 sensorer ansigt mod ansigt, hvilket kan reducere vedligeholdelsestiden betydeligt.
Waferinspektion
Udstyr til inspektion af waferudseende er nødvendigt for kvalitetsinspektion under waferproduktion. Dette udstyr er afhængig af visuell inspektion af en højpræcisionslaserforskydningssensor for at opnå fokusjustering.