Výroba polovodičů patří v dnešním high-tech průmyslu k nejnáročnějším a technologicky nejsložitějším oborům. S postupným směřováním procesů výroby čipů k 3nm a ještě menším uzlům přímo určuje výtěžnost a výkon čipu přesnost měření tloušťky destičky, rovinnosti povrchu a rozměrů mikrostruktury. V této souvislosti se laserové senzory posunutí díky svému bezkontaktnímu provozu, vynikající přesnosti, rychlejší době odezvy a zvýšené stabilitě staly nepostradatelnými „měřicími očima“ v celém procesu výroby polovodičů.
Jakožto základní substrát pro výrobu polovodičových součástek vyžadují destičky během výroby extrémní přesnost a spolehlivost. Mezi mnoha kritickými fázemi výroby destiček je přesné měření posunutí prvořadé – přímo ovlivňuje výkon a výtěžnost konečného čipu. Jakožto lídr v oblasti inovací v čínském sektoru průmyslové senzoriky se laserové senzory posunutí řady PDE od společnosti Lansensor s rozlišením na úrovni mikronů, inteligentními algoritmy a spolehlivostí průmyslové úrovně staly preferovaným řešením pro procesy výroby destiček.
Problémy s přesností při výrobě destiček a výhody laserových senzorů posunutí
Výroba destiček zahrnuje řadu složitých procesů, jako je fotolitografie, leptání, nanášení tenkých vrstev a lepení – každý z nich vyžaduje přísnou přesnost na úrovni mikrometrů nebo dokonce nanometrů. Například:
-
Ve fotolitografii je přesné zarovnání mezi fotomaskou a destičkou zásadní pro zajištění přesného přenosu vzoru na povrch destičky.
-
Během nanášení tenkých vrstev je pro zajištění elektrického výkonu zařízení nezbytná přesná kontrola tloušťky vrstvy.
I sebemenší odchylka může vést k vadám produktu nebo dokonce k nepoužitelné celé šarži waferů.
Tradiční mechanické metody měření často nedokážou splnit takové požadavky na vysokou přesnost. Navíc hrozí poškození nebo kontaminace křehkého povrchu destičky a jejich pomalá rychlost odezvy je činí nedostatečnými pro nejmodernější metrologické požadavky.
LanbaosenzorLaserové senzory posunutí řady PDEOptimální řešení pro aplikace s destičkami
◆Bezkontaktní laserové měření
Využívá projekci laserového paprsku na cílové povrchy, analyzuje odražené/rozptýlené signály k získání dat o posunutí – eliminuje fyzický kontakt s destičkami, aby se zabránilo mechanickému poškození a riziku kontaminace.
◆Přesnost na mikronové úrovni
Pokročilá laserová technologie a algoritmy pro zpracování signálu poskytují přesnost a rozlišení měření v mikrometrovém měřítku a splňují tak extrémní požadavky na přesnost procesů výroby destiček.
◆Ultrarychlá odezva (<10 ms)
Umožňuje sledování dynamických výrobních odchylek v reálném čase, což umožňuje okamžitou detekci a korekci odchylek pro zvýšení efektivity výroby.
◆Výjimečná kompatibilita materiálů
Schopný měřit různé materiály a typy povrchů se silnou adaptabilitou na prostředí, vhodný pro více fází polovodičového procesu.
◆Kompaktní průmyslový design
Kompaktní provedení usnadňuje bezproblémovou integraci do automatizovaných zařízení a řídicích systémů, což umožňuje inteligentní monitorování procesů a nastavení v uzavřené smyčce.
Scénáře použitíLaserové senzory posunutí řady PDEve zpracování oplatek
Senzor LanbaoLaserové senzory posunutí řady PDEKritické aplikace ve výrobě destiček
Díky výjimečnému výkonu hrají laserové senzory posunutí Lansensor PDE zásadní roli v mnoha procesech výroby destiček:
◆Zarovnání a polohování destiček
Pro fotolitografické a spojovací procesy vyžadující přesnost na úrovni mikronů naše senzory přesně měří polohu destičky a úhly náklonu, aby zajistily perfektní zarovnání masky s destičkou a polohování spojovacího ramene – a tím zvýšily přesnost přenosu vzoru.
◆Metrologie tloušťky destiček
Umožňuje bezkontaktní měření tloušťky s monitorováním v reálném čase během procesů nanášení, což zajišťuje optimální kontrolu kvality tenkých vrstev.
◆Kontrola rovinnosti destiček
Detekce deformace a deformace povrchu destiček s rozlišením submikronů, aby se zabránilo šíření vadných destiček dále do systému.
◆Monitorování tloušťky tenkých vrstev
Sledování tloušťky nanášení v reálném čase během procesů CVD/PVD pro dodržení přísných specifikací elektrického výkonu.
◆Detekce povrchových vad
Identifikace povrchových anomálií (škrábance, částice) v mikronovém měřítku pomocí mapování posunutí s vysokým rozlišením, což výrazně zlepšuje míru detekce defektů.
◆Monitorování stavu zařízení
Sledování posunů kritických součástí (robotických ramen, pohybů stolu) a vibrací strojů pro prediktivní údržbu a optimalizaci stability.
Řada PDE od senzorů Lanbao nejen překlenuje kritické technologické mezery na čínském trhu s high-end průmyslovými senzory, ale také svým výjimečným výkonem nastavuje nová globální měřítka. Ať už se jedná o zvýšení výtěžnosti, snížení výrobních nákladů nebo urychlení vývoje procesů nové generace, řada PDE představuje vaši ultimátní zbraň pro zvládnutí výzev v oblasti výroby přesných polovodičů!
Čas zveřejnění: 8. května 2025