Sa sektor sa paghimo sa semiconductor, ang abnormal nga pag-stack sa chip usa ka grabe nga isyu sa produksiyon. Ang wala damha nga pag-stack sa mga chips sa panahon sa proseso sa paggama mahimong mosangput sa pagkadaot sa kagamitan ug pagkapakyas sa proseso, ug mahimo usab nga moresulta sa daghang pag-scrap sa mga produkto, hinungdan sa daghang pagkawala sa ekonomiya sa mga negosyo.
Sa padayon nga pagpino sa mga proseso sa paghimo sa semiconductor, mas taas nga mga panginahanglan ang gibutang sa pagkontrol sa kalidad sa panahon sa produksiyon. Ang mga sensor sa pagbalhin sa laser, ingon usa ka non-contact, high-precision nga teknolohiya sa pagsukod, naghatag usa ka epektibo nga solusyon alang sa pag-ila sa mga abnormalidad sa pag-stack sa chip sa ilang paspas ug tukma nga kapabilidad sa pagkakita.
Prinsipyo sa Detection ug Logic sa Paghukom sa Anomaliya
Sa proseso sa paghimo sa semiconductor, ang mga chips kasagarang gibutang sa mga carrier o mga track sa transportasyon sa usa ka layer, patag nga kahikayan. Niini nga panahon, ang gitas-on sa chip surface usa ka preset nga baseline value, kasagaran ang sumada sa gibag-on sa chip ug ang gitas-on sa carrier. Kung ang mga chips aksidenteng na-stack, ang ilang gitas-on sa ibabaw modako pag-ayo. Kini nga pagbag-o naghatag usa ka hinungdanon nga sukaranan sa pag-ila sa mga abnormalidad sa stacking.
Transport Track Stacking Detection
Ang mga track sa transportasyon kritikal nga mga agianan alang sa paglihok sa chip sa panahon sa proseso sa paghimo. Bisan pa, ang mga chips mahimong mag-ipon sa mga track tungod sa electrostatic adsorption o mekanikal nga mga kapakyasan sa panahon sa transportasyon, nga mosangpot sa pagbara sa track. Ang ingon nga mga pagbabag dili lamang makabalda sa dagan sa produksiyon apan makadaot usab sa mga chips.
Aron mamonitor ang walay babag nga pag-agos sa mga track sa transportasyon, ang mga sensor sa laser displacement mahimong i-deploy sa ibabaw sa mga track aron ma-scan ang gitas-on sa cross-section sa track. Kung ang gitas-on sa usa ka lokal nga lugar dili normal (pananglitan, mas taas o mas ubos kaysa sa gibag-on sa usa ka layer sa mga chips), ang mga sensor magtino niini ingon usa ka stacking blockage ug mag-trigger sa mekanismo sa alarma aron mapahibalo ang mga operator alang sa tukma sa panahon nga pagdumala, pagsiguro nga hapsay ang dagan sa produksiyon.
Proseso sa Pagsusi
Ang Lanbao laser displacement sensors tukma nga nagsukod sa gitas-on sa target nga mga ibabaw pinaagi sa pagpagawas sa usa ka laser beam, pagdawat sa gipakita nga signal, ug paggamit sa triangulation nga pamaagi.
Ang sensor vertically aligned sa chip detection area, padayon nga nagpagawas ug laser ug nakadawat sa gipakita nga signal. Atol sa transportasyon sa chip, ang sensor makakuha og real-time nga impormasyon sa gitas-on sa ibabaw.
Ang sensor naggamit sa usa ka internal nga algoritmo sa pag-compute sa chip surface height value gikan sa nakuha nga reflected signal. Aron matubag ang mga kinahanglanon sa high-speed nga pagbalhin sa mga linya sa produksiyon sa semiconductor, kinahanglan niini nga ang sensor adunay parehas nga taas nga katukma ug taas nga frequency sa sampling.
Gitakda ang gitugot nga lainlain nga gitas-on, kasagaran ±30 µm gikan sa gitas-on sa baseline. Kung ang gisukod nga kantidad molapas sa kini nga sakup sa threshold, determinado kini nga usa ka abnormalidad sa stacking. Kini nga lohika sa pagdeterminar sa threshold epektibo nga makalahi tali sa normal nga single-layer chips ug stacked chips.
Sa pagkakita sa usa ka stacking abnormality, ang sensor mag-trigger sa usa ka madungog ug biswal nga alarma, ug dungan nga pagpaaktibo sa usa ka robotic bukton sa pagtangtang sa abnormal nga lokasyon, o mohunong sa produksyon linya sa pagpugong sa dugang nga pagkadaut sa sitwasyon. Kining paspas nga mekanismo sa pagtubag makapamenos sa mga kapildihan nga gipahinabo sa pagtapok sa mga abnormalidad sa labing dako nga gidak-on.
Ang tinuud nga oras, taas nga katukma nga pagkakita sa mga abnormalidad sa pag-stack sa chip gamit ang mga sensor sa pag-displace sa laser mahimo’g mapauswag ang kasaligan ug abot sa mga linya sa produksiyon sa semiconductor. Sa padayon nga pag-uswag sa teknolohiya, ang mga sensor sa pagbalhin sa laser adunay labi ka dako nga papel sa paghimo sa semiconductor, nga naghatag lig-on nga suporta alang sa malungtarong pag-uswag sa industriya.
Oras sa pag-post: Mar-25-2025