Yarımkeçiricilər istehsalı müasir yüksək texnologiyalı sənayedə ən dəqiq tələb olunan və texnoloji cəhətdən mürəkkəb sahələrdən biri kimi dayanır. Çip prosesləri 3nm və hətta daha kiçik qovşaqlara doğru irəlilədikcə, vafli qalınlığı, səthi düzlük və mikro struktur ölçüləri üçün ölçmələrin dəqiqliyi çip məhsuldarlığını və performansını birbaşa müəyyən edir. Bu kontekstdə, lazer yerdəyişmə sensorları təmassız işləməsi, üstün dəqiqliyi, daha sürətli cavab müddəti və gücləndirilmiş sabitliyi ilə yarımkeçiricilərin istehsalı prosesində əvəzolunmaz “ölçmə gözləri”nə çevrilmişdir.
Yarımkeçirici qurğuların istehsalının əsas substratı kimi, vaflilər istehsal zamanı həddindən artıq dəqiqlik və etibarlılıq tələb edir. Gofret istehsalının bir çox kritik mərhələləri arasında dəqiq yerdəyişmənin ölçülməsi vacibdir - bu, son çipin performansına və məhsuldarlığına birbaşa təsir göstərir. Çinin sənaye zondlama sektorunda innovasiya lideri olaraq, mikron səviyyəli ayırdetmə, ağıllı alqoritmlər və sənaye səviyyəli etibarlılığa malik Lansensor-un PDE seriyalı lazer yerdəyişmə sensorları vafli istehsal prosesləri üçün üstünlük verilən həll yolu kimi ortaya çıxdı.
Gofret İstehsalında Dəqiq Problemlər və Lazer Yerləşdirmə Sensorlarının Üstünlükləri
Gofret istehsalı fotolitoqrafiya, aşındırma, nazik təbəqədə çökmə və yapışdırma kimi bir sıra mürəkkəb prosesləri əhatə edir - hər biri mikrometr və hətta nanometr səviyyəsində ciddi dəqiqlik tələb edir. Məsələn:
-
Fotolitoqrafiyada fotomaska və vafli arasında dəqiq uyğunlaşma vafli səthinə naxışın dəqiq ötürülməsini təmin etmək üçün vacibdir.
-
Nazik təbəqənin çökməsi zamanı cihazların elektrik performansını təmin etmək üçün film qalınlığına dəqiq nəzarət vacibdir.
Hətta ən kiçik sapma məhsulun qüsurlarına səbəb ola bilər və ya hətta vaflilərin bütün partiyasını yararsız hala sala bilər.
Ənənəvi mexaniki ölçmə üsulları çox vaxt belə yüksək dəqiqlik tələblərinə cavab vermir. Bundan əlavə, onlar kövrək vafli səthi zədələmək və ya çirkləndirmək riski daşıyır, eyni zamanda onların yavaş reaksiya sürəti onları qabaqcıl metrologiya tələbləri üçün qeyri-adekvat edir.
LanbaosensorPDE seriyalı lazer yerdəyişmə sensorları: Gofret Tətbiqləri üçün Optimal Həll
◆Təmassız Lazer Ölçüsü
Lazer şüasının hədəf səthlərə proyeksiyasından istifadə edir, yerdəyişmə məlumatlarını əldə etmək üçün əks olunan/səpələnmiş siqnalları təhlil edir - mexaniki zədələnmələrin və çirklənmə risklərinin qarşısını almaq üçün vaflilərlə fiziki təması aradan qaldırır.
◆Mikron səviyyəli dəqiqlik
Qabaqcıl lazer texnologiyası və siqnal emal alqoritmləri mikrometr miqyaslı ölçmə dəqiqliyi və həlli təmin edərək, vafli istehsal proseslərinin həddindən artıq dəqiqlik tələblərinə cavab verir.
◆Ultra sürətli cavab (<10ms)
İstehsalın səmərəliliyini artırmaq üçün dərhal sapmaların aşkarlanmasına və korreksiyasına imkan verən dinamik istehsal dəyişikliklərinin real vaxt rejimində monitorinqini təmin edir.
◆Müstəsna Material Uyğunluğu
Çoxlu yarımkeçirici proses mərhələləri üçün uyğun olan güclü ətraf mühitə uyğunlaşma qabiliyyəti ilə müxtəlif materialları və səth növlərini ölçmək qabiliyyətinə malikdir.
◆Kompakt Sənaye Dizaynı
Kompakt forma faktoru avtomatlaşdırılmış avadanlıq və idarəetmə sistemlərinə mükəmməl inteqrasiyanı asanlaşdırır, prosesin ağıllı monitorinqinə və qapalı dövrə tənzimlənməsinə imkan verir.
Tətbiq SsenariləriPDE seriyalı lazer yerdəyişmə sensorlarıGofret emalında
Lanbao sensoruPDE seriyalı lazer yerdəyişmə sensorları: Gofret İstehsalında Kritik Tətbiqlər
Müstəsna performansı ilə Lansensor PDE lazer yerdəyişmə sensorları çoxlu vafli istehsal proseslərində mühüm rol oynayır:
◆Gofretin Hizalanması və Yerləşdirilməsi
Mikron səviyyəli dəqiqlik tələb edən fotolitoqrafiya və yapışdırma prosesləri üçün sensorlarımız vaflinin vəziyyətini və əyilmə bucaqlarını dəqiqliklə ölçürlər ki, maskadan vafliyə mükəmməl uyğunlaşma və yapışdırıcı qolun yerləşdirilməsi - naxış ötürmə dəqiqliyini artırır.
◆Gofret qalınlığının metrologiyası
Çöküntü prosesləri zamanı real vaxt monitorinqi ilə təmassız qalınlığın ölçülməsinə imkan vermək, optimal nazik təbəqə keyfiyyətinə nəzarəti təmin etmək.
◆Gofretin düzlüyünün yoxlanılması
Qüsurlu vaflilərin axının aşağıya doğru irəliləməsinin qarşısını almaq üçün mikronaltı ayırdetmə ilə vafli əyilmə və səth deformasiyasının aşkarlanması.
◆Nazik Film Qalınlığının Monitorinqi
Ciddi elektrik performans spesifikasiyalarını qorumaq üçün CVD/PVD prosesləri zamanı çöküntü qalınlığının real vaxt rejimində izlənilməsinin təmin edilməsi.
◆Səth qüsurlarının aşkarlanması
Yüksək rezolyusiyada yerdəyişmə xəritəsi vasitəsilə mikron miqyaslı səth anomaliyalarının (cızıqlar, hissəciklər) müəyyən edilməsi, qüsurların aşkarlanması dərəcələrini əhəmiyyətli dərəcədə yaxşılaşdırmaq.
◆Avadanlığın Vəziyyətinin Monitorinqi
Proqnozlaşdırılan texniki xidmət və sabitliyin optimallaşdırılması üçün kritik komponent yerdəyişmələrini (robot qolları, səhnə hərəkətləri) və maşın vibrasiyalarını izləmək.
Lanbao sensorunun PDE seriyası təkcə Çinin yüksək səviyyəli sənaye sensor bazarında kritik texnologiya boşluqlarını aradan qaldırmır, həm də müstəsna performansı ilə yeni qlobal meyarlar yaradır. İstər məhsuldarlığın artırılması, istər istehsal xərclərinin azaldılması, istərsə də növbəti nəsil prosesin inkişafının sürətləndirilməsi, PDE seriyası dəqiq yarımkeçirici istehsal problemlərinin öhdəsindən gəlmək üçün əsas silahınız kimi dayanır!
Göndərmə vaxtı: 08 may 2025-ci il