يُعد تصنيع أشباه الموصلات أحد أكثر المجالات تطلبًا للدقة وتعقيدًا من الناحية التكنولوجية في صناعة التكنولوجيا المتقدمة اليوم. ومع تقدم عمليات الرقائق نحو عُقد 3 نانومتر وحتى أصغر، فإن دقة قياسات سُمك الرقاقة، واستواء السطح، وأبعاد البنية الدقيقة تُحدد بشكل مباشر إنتاجية الرقاقة وأدائها. في هذا السياق، أصبحت مستشعرات الإزاحة بالليزر، بفضل عملها بدون تلامس، ودقتها الفائقة، وأوقات استجابتها السريعة، واستقرارها المُحسّن، بمثابة "عين قياس" لا غنى عنها طوال عملية تصنيع أشباه الموصلات.
باعتبارها الركيزة الأساسية لتصنيع أجهزة أشباه الموصلات، تتطلب الرقائق دقةً وموثوقيةً فائقتين أثناء الإنتاج. ومن بين المراحل الحرجة العديدة لتصنيع الرقائق، يُعدّ قياس الإزاحة الدقيق أمرًا بالغ الأهمية، إذ يؤثر بشكل مباشر على أداء الشريحة النهائية وإنتاجيتها. وبصفتها شركة رائدة في مجال الابتكار في قطاع الاستشعار الصناعي في الصين، برزت مستشعرات الإزاحة بالليزر من سلسلة PDE من Lansensor، التي تتميز بدقة ميكرونية عالية، وخوارزميات ذكية، وموثوقية عالية المستوى، كحلٍّ مثالي لعمليات تصنيع الرقائق.
تحديات الدقة في تصنيع الرقائق ومزايا أجهزة استشعار الإزاحة بالليزر
تتضمن صناعة الرقاقات سلسلة من العمليات المعقدة، مثل الطباعة الضوئية، والحفر، وترسيب الأغشية الرقيقة، والترابط، وكل منها يتطلب دقة متناهية على مستوى الميكرومتر أو حتى النانومتر. على سبيل المثال:
-
في الطباعة الضوئية، يعد المحاذاة الدقيقة بين قناع الصورة والرقاقة أمرًا بالغ الأهمية لضمان نقل النمط بدقة إلى سطح الرقاقة.
-
أثناء ترسيب الفيلم الرقيق، يعد التحكم الدقيق في سمك الفيلم أمرًا ضروريًا لضمان الأداء الكهربائي للأجهزة.
حتى أدنى انحراف يمكن أن يؤدي إلى عيوب في المنتج أو حتى جعل دفعة كاملة من الرقائق غير صالحة للاستخدام.
غالبًا ما تعجز طرق القياس الميكانيكية التقليدية عن تلبية متطلبات الدقة العالية هذه. علاوة على ذلك، فإنها تُعرّض سطح الرقاقة الهشّ للتلف أو التلوث، كما أن سرعة استجابتها البطيئة تجعلها غير كافية لتلبية متطلبات القياس المتطورة.
لانباوجهاز استشعارمستشعرات الإزاحة بالليزر من سلسلة PDE:الحل الأمثل لتطبيقات الرقاقة
◆القياس بالليزر بدون تلامس
يستخدم إسقاط شعاع الليزر على الأسطح المستهدفة، وتحليل الإشارات المنعكسة/المتناثرة للحصول على بيانات الإزاحة - مما يزيل الاتصال المادي مع الرقائق لمنع الأضرار الميكانيكية ومخاطر التلوث.
◆دقة على مستوى الميكرون
توفر تقنية الليزر المتقدمة وخوارزميات معالجة الإشارات دقة ووضوح القياس على نطاق الميكرومتر، مما يلبي متطلبات الدقة القصوى لعمليات تصنيع الرقاقة.
◆استجابة فائقة السرعة (<10 مللي ثانية)
يتيح مراقبة التغيرات الديناميكية في الإنتاج في الوقت الفعلي، مما يسمح باكتشاف الانحرافات وتصحيحها على الفور لتعزيز كفاءة التصنيع.
◆توافق استثنائي مع المواد
قادرة على قياس مواد وأنواع سطحية متنوعة مع قدرة قوية على التكيف مع البيئة، ومناسبة لمراحل معالجة أشباه الموصلات المتعددة.
◆التصميم الصناعي المدمج
يسهل عامل الشكل المدمج التكامل السلس في المعدات الآلية وأنظمة التحكم، مما يتيح مراقبة العملية الذكية والتعديل في الحلقة المغلقة.
سيناريوهات التطبيقمستشعرات الإزاحة بالليزر من سلسلة PDEفي معالجة الرقاقة
مستشعر لانباومستشعرات الإزاحة بالليزر من سلسلة PDE:التطبيقات الهامة في تصنيع الرقائق
بفضل الأداء الاستثنائي، تلعب مستشعرات إزاحة الليزر PDE من Lansensor أدوارًا حيوية في عمليات تصنيع الرقاقات المتعددة:
◆محاذاة الرقاقة وتحديد موقعها
بالنسبة لعمليات التصوير الضوئي والترابط التي تتطلب دقة على مستوى الميكرون، تقوم أجهزة الاستشعار الخاصة بنا بقياس موضع الرقاقة وزوايا الميل بدقة لضمان محاذاة مثالية بين القناع والرقاقة وموضع ذراع الترابط - مما يعزز دقة نقل النمط.
◆قياس سمك الرقاقة
تمكين قياس السُمك بدون تلامس مع مراقبة في الوقت الفعلي أثناء عمليات الترسيب، مما يضمن مراقبة جودة الأغشية الرقيقة بشكل مثالي.
◆فحص تسطيح الرقاقة
اكتشاف تشوه الرقاقة وتشوه السطح بدقة دون الميكرون لمنع الرقاقات المعيبة من التقدم نحو مجرى النهر.
◆مراقبة سماكة الأغشية الرقيقة
توفير تتبع سمك الترسيب في الوقت الحقيقي أثناء عمليات CVD/PVD للحفاظ على مواصفات الأداء الكهربائي الصارمة.
◆كشف عيوب السطح
تحديد التشوهات السطحية على نطاق الميكرون (الخدوش والجسيمات) من خلال رسم خرائط الإزاحة عالية الدقة، مما يحسن بشكل كبير معدلات اكتشاف العيوب.
◆مراقبة حالة المعدات
تتبع تحركات المكونات الحرجة (أذرع الروبوت، حركات المسرح) واهتزازات الآلة لتحقيق الصيانة التنبؤية وتحسين الاستقرار.
لا تقتصر سلسلة أجهزة استشعار PDE من Lanbao على سد الثغرات التكنولوجية الحرجة في سوق أجهزة الاستشعار الصناعية عالية الجودة في الصين، بل تُرسي معايير عالمية جديدة بفضل أدائها الاستثنائي. سواءً كنتَ تُعزز معدلات الإنتاجية، أو تُخفّض تكاليف الإنتاج، أو تُسرّع تطوير عمليات الجيل التالي، فإن سلسلة PDE تُمثّل سلاحك الأمثل للتغلب على تحديات تصنيع أشباه الموصلات الدقيقة!
وقت النشر: ٨ مايو ٢٠٢٥