Hoge precisiesensor ondersteunt precisieproductie van halfgeleiders
Hoofdbeschrijving
De uiterst nauwkeurige laserafstandssensor en verplaatsingssensor, spectrale confocale sensor en 3D-laserscansensor van Lanbao kunnen op maat gemaakte diensten en uiteenlopende precisiemeetoplossingen bieden voor de halfgeleiderindustrie.
Toepassingsbeschrijving
De visuele sensor, krachtsensor, foto-elektrische sensor, nabijheidssensor, obstakelvermijdingssensor, lichtgordijnsensor en dergelijke van Lanbao kunnen mobiele robots en industriële robots de nodige informatie verschaffen om relevante handelingen, zoals volgen, positioneren, obstakelvermijden en aanpassingsacties, correct uit te voeren.
Subcategorieën
Inhoud van het prospectus
Fotoresist Coater
Een uiterst nauwkeurige laserverplaatsingssensor detecteert de hoogte van de fotoresist-coating om een stabiele coatingnauwkeurigheid te behouden.
Snijmachine
De dikte van het snijblad bedraagt slechts enkele tientallen micrometers en de detectienauwkeurigheid van de uiterst precieze laserverplaatsingssensor kan 5 µm bedragen. Door twee sensoren tegenover elkaar te installeren, kan de dikte van het blad worden gemeten, wat de onderhoudstijd aanzienlijk kan verkorten.
Waferinspectie
Apparatuur voor inspectie van het uiterlijk van wafers is nodig voor kwaliteitsinspectie tijdens de productie van wafers. Deze apparatuur maakt gebruik van visuele inspectie met behulp van een zeer nauwkeurige laserverplaatsingssensor om de focus aan te passen.