Hochpräziser Sensor unterstützt die Präzisionsfertigung von Halbleitern
Hauptbeschreibung
Lanbaos hochpräziser Laser-Entfernungsmesser und Verschiebungssensor, spektraler Konfokalsensor und 3D-Laser-Scanning-Sensor können maßgeschneiderte Dienste und vielfältige Präzisionsmesslösungen für die Halbleiterindustrie bieten.
Anwendungsbeschreibung
Die Bildsensoren, Kraftsensoren, Fotosensoren, Näherungssensoren, Hindernisvermeidungssensoren, Lichtvorhangsensoren usw. von Lanbao können mobilen Robotern und Industrierobotern die notwendigen Informationen liefern, um relevante Vorgänge wie Verfolgung, Positionierung, Hindernisvermeidung und Anpassungsaktionen korrekt auszuführen.
Unterkategorien
Inhalt des Prospekts
Fotolack-Beschichter
Ein hochpräziser Laser-Wegsensor erkennt die Höhe der Fotolackbeschichtung, um eine stabile Beschichtungsgenauigkeit aufrechtzuerhalten.
Würfelmaschine
Die Dicke der Schneidklinge beträgt nur einige zehn Mikrometer und die Erfassungsgenauigkeit des hochpräzisen Laser-Wegsensors kann 5 µm erreichen. Daher kann die Klingendicke durch die Installation von zwei gegenüberliegenden Sensoren gemessen werden, was den Wartungsaufwand erheblich reduzieren kann.
Waferinspektion
Zur Qualitätsprüfung während der Wafer-Chargenproduktion ist eine Ausrüstung zur Prüfung des Wafer-Erscheinungsbilds erforderlich. Diese Ausrüstung basiert auf der Sichtprüfung eines hochpräzisen Laser-Wegsensors zur Fokuseinstellung.