Iṣẹ iṣelọpọ Semikondokito duro bi ọkan ninu ibeere pipe julọ ati awọn aaye eka imọ-ẹrọ ni ile-iṣẹ imọ-ẹrọ giga ode oni. Bii awọn ilana chirún ṣe nlọ siwaju si 3nm ati paapaa awọn apa kekere, deede ti awọn wiwọn fun sisanra wafer, fifẹ dada, ati awọn iwọn microstructure taara pinnu ikore ërún ati iṣẹ ṣiṣe. Ni aaye yii, awọn sensọ iṣipopada laser, pẹlu iṣẹ ti kii ṣe olubasọrọ, konge giga, awọn akoko idahun yiyara, ati imudara imudara, ti di “oju wiwọn” pataki jakejado ilana iṣelọpọ semikondokito.
Gẹgẹbi sobusitireti mojuto ti iṣelọpọ ẹrọ semikondokito, awọn wafers nilo pipe to gaju ati igbẹkẹle lakoko iṣelọpọ. Lara ọpọlọpọ awọn ipele to ṣe pataki ti iṣelọpọ wafer, wiwọn iṣipopada deede jẹ pataki julọ-o ni ipa taara iṣẹ ṣiṣe chirún ikẹhin ati ikore. Gẹgẹbi adari ĭdàsĭlẹ ni eka ti oye ile-iṣẹ ti Ilu China, awọn sensọ ipapopada laser jara Lansensor's PDE, ti o nfihan ipinnu ipele micron, awọn algoridimu oye, ati igbẹkẹle-ite ile-iṣẹ, ti farahan bi ojutu ayanfẹ fun awọn ilana iṣelọpọ wafer.
Awọn italaya Itọkasi ni Ṣiṣe iṣelọpọ Wafer ati Awọn anfani ti Awọn sensọ Iṣipopada Laser
Ṣiṣẹda Wafer jẹ lẹsẹsẹ awọn ilana ti o nipọn gẹgẹbi fọtolithography, etching, ifisilẹ fiimu tinrin, ati isunmọ — ọkọọkan nilo pipe pipe ni micrometer tabi paapaa ipele nanometer. Fun apere:
-
Ninu fọtolithography, titete deede laarin fotomask ati wafer jẹ pataki lati rii daju gbigbe ilana deede sori dada wafer.
-
Lakoko ifisilẹ fiimu tinrin, iṣakoso gangan ti sisanra fiimu jẹ pataki lati ṣe iṣeduro iṣẹ itanna ti awọn ẹrọ.
Paapaa iyapa kekere le ja si awọn abawọn ọja tabi paapaa jẹ ki gbogbo ipele ti wafers ko ṣee lo.
Awọn ọna wiwọn darí aṣa nigbagbogbo kuna ni ipade iru awọn ibeere pipe-giga. Pẹlupẹlu, wọn ṣe eewu ibajẹ tabi ibajẹ oju wafer ẹlẹgẹ, lakoko ti awọn iyara idahun ti o lọra jẹ ki wọn ko pe fun awọn ibeere metrology gige-eti.
LanbaosensọPDE Series Lesa nipo sensosi: Solusan ti o dara julọ fun Awọn ohun elo Wafer
◆Ti kii-olubasọrọ lesa wiwọn
Nlo isọsọ ina ina lesa sori awọn ibi-afẹde, itupalẹ awọn ifihan agbara ti o tan kaakiri/ti o tuka lati gba data nipo kuro - imukuro olubasọrọ ti ara pẹlu awọn wafers lati ṣe idiwọ ibajẹ ẹrọ ati awọn eewu ibajẹ.
◆Micron-ipele konge
Imọ-ẹrọ laser ti ilọsiwaju ati awọn algoridimu ṣiṣafihan ifihan agbara ṣe ifijiṣẹ deede iwọn iwọn micrometer ati ipinnu, pade awọn ibeere pipe ti awọn ilana iṣelọpọ wafer.
◆Idahun-iyara (<10ms)
Ṣiṣe ibojuwo akoko gidi ti awọn iyatọ iṣelọpọ agbara, gbigba wiwa iyapa lẹsẹkẹsẹ ati atunse lati jẹki ṣiṣe iṣelọpọ.
◆Ibamu Ohun elo Iyatọ
Agbara lati wiwọn awọn ohun elo Oniruuru ati awọn iru dada pẹlu isọdọtun ayika ti o lagbara, o dara fun awọn ipele ilana semikondokito pupọ.
◆Iwapọ Industrial Design
Fọọmu fọọmu iwapọ n ṣe irọrun iṣọpọ ailopin sinu ohun elo adaṣe ati awọn eto iṣakoso, ṣiṣe ibojuwo ilana oye ati atunṣe-pipade.
Ohun elo Awọn oju iṣẹlẹ tiPDE Series Lesa nipo sensosini Wafer Processing
Lanbao sensọPDE Series Lesa nipo sensosiAwọn ohun elo to ṣe pataki ni iṣelọpọ Wafer
Pẹlu iṣẹ ṣiṣe alailẹgbẹ, awọn sensọ iṣipopada laser Lansensor PDE ṣe awọn ipa pataki kọja awọn ilana iṣelọpọ wafer lọpọlọpọ:
◆Wafer titete & Ipo
Fun fọtolithography ati awọn ilana isọpọ ti o nilo deede ipele micron, awọn sensosi wa ni iwọn gangan ipo wafer ati awọn igun tẹ lati rii daju titete iboju-boju-si-wafer pipe ati ipo ihamọra apa - imudara deede gbigbe ilana.
◆Wafer Sisanra Metrology
Muu wiwọn sisanra ti kii ṣe olubasọrọ pẹlu ibojuwo akoko gidi lakoko awọn ilana ifisilẹ, aridaju iṣakoso didara fiimu tinrin to dara julọ.
◆Wafer Flatness Ayewo
Ṣiṣawari oju-iwe ogun wafer ati abuku oju ilẹ pẹlu ipinnu ipin-micron lati ṣe idiwọ awọn wafers abawọn lati ni ilọsiwaju si isalẹ.
◆Abojuto Sisanra Fiimu
Pese ipasẹ sisanra akoko gidi lakoko awọn ilana CVD/PVD lati ṣetọju awọn pato iṣẹ ṣiṣe itanna to muna.
◆Dada abawọn erin
Idanimọ awọn asemase oju iwọn micron (awọn abẹrẹ, awọn patikulu) nipasẹ aworan agbaye nipo nipo, ni ilọsiwaju awọn oṣuwọn wiwa abawọn ni pataki.
◆Abojuto Ipò Ohun elo
Titọpa awọn iyipada paati pataki (awọn apa roboti, awọn agbeka ipele) ati awọn gbigbọn ẹrọ fun itọju asọtẹlẹ ati iṣapeye iduroṣinṣin.
Lanbao sensọ PDE jara kii ṣe awọn afara awọn ela imọ-ẹrọ to ṣe pataki ni ọja sensọ ile-iṣẹ giga ti Ilu China ṣugbọn ṣe agbekalẹ awọn aṣepari agbaye tuntun pẹlu iṣẹ ṣiṣe alailẹgbẹ rẹ. Boya igbega awọn oṣuwọn ikore, idinku awọn idiyele iṣelọpọ, tabi isare idagbasoke ilana-itẹsiwaju, jara PDE duro bi ohun ija ti o ga julọ fun bibori awọn italaya iṣelọpọ semikondokito pipe!
Akoko ifiweranṣẹ: May-08-2025