Sản xuất chất bán dẫn là một trong những lĩnh vực đòi hỏi độ chính xác cao nhất và phức tạp về mặt công nghệ trong ngành công nghệ cao hiện nay. Khi quy trình sản xuất chip tiến tới các nút 3nm và thậm chí nhỏ hơn nữa, độ chính xác của các phép đo độ dày wafer, độ phẳng bề mặt và kích thước cấu trúc vi mô quyết định trực tiếp đến năng suất và hiệu năng của chip. Trong bối cảnh này, các cảm biến dịch chuyển laser, với khả năng hoạt động không tiếp xúc, độ chính xác vượt trội, thời gian phản hồi nhanh hơn và độ ổn định được nâng cao, đã trở thành "đôi mắt đo lường" không thể thiếu trong toàn bộ quy trình sản xuất chất bán dẫn.
Là chất nền cốt lõi trong sản xuất thiết bị bán dẫn, các tấm wafer đòi hỏi độ chính xác và độ tin cậy cực cao trong quá trình sản xuất. Trong số nhiều giai đoạn quan trọng của sản xuất wafer, việc đo lường độ dịch chuyển chính xác là tối quan trọng—nó ảnh hưởng trực tiếp đến hiệu suất và năng suất của chip cuối cùng. Là một nhà tiên phong trong lĩnh vực cảm biến công nghiệp tại Trung Quốc, các cảm biến đo độ dịch chuyển laser dòng PDE của Lansensor, với độ phân giải cấp micron, thuật toán thông minh và độ tin cậy cấp công nghiệp, đã trở thành giải pháp được ưa chuộng cho các quy trình sản xuất wafer.
Những thách thức về độ chính xác trong sản xuất tấm bán dẫn và những ưu điểm của cảm biến dịch chuyển bằng laser
Sản xuất tấm bán dẫn bao gồm một loạt các quy trình phức tạp như quang khắc, khắc axit, lắng đọng màng mỏng và liên kết – mỗi quy trình đều đòi hỏi độ chính xác nghiêm ngặt ở cấp độ micromet hoặc thậm chí nanomet. Ví dụ:
-
Trong kỹ thuật quang khắc, việc căn chỉnh chính xác giữa mặt nạ quang học và tấm wafer là rất quan trọng để đảm bảo việc truyền tải mẫu chính xác lên bề mặt wafer.
-
Trong quá trình lắng đọng màng mỏng, việc kiểm soát chính xác độ dày màng là điều cần thiết để đảm bảo hiệu suất điện của thiết bị.
Chỉ cần một sai lệch nhỏ nhất cũng có thể dẫn đến lỗi sản phẩm hoặc thậm chí làm hỏng toàn bộ lô wafer.
Các phương pháp đo cơ học truyền thống thường không đáp ứng được yêu cầu độ chính xác cao như vậy. Hơn nữa, chúng có nguy cơ làm hỏng hoặc nhiễm bẩn bề mặt wafer dễ vỡ, trong khi tốc độ phản hồi chậm khiến chúng không phù hợp với các yêu cầu đo lường tiên tiến.
Lanbaocảm biếnCảm biến dịch chuyển laser dòng PDEGiải pháp tối ưu cho các ứng dụng wafer
◆Đo lường bằng laser không tiếp xúc
Sử dụng phương pháp chiếu chùm tia laser lên bề mặt mục tiêu, phân tích các tín hiệu phản xạ/tán xạ để thu được dữ liệu về độ dịch chuyển - loại bỏ sự tiếp xúc vật lý với các tấm bán dẫn nhằm ngăn ngừa hư hỏng cơ học và nguy cơ ô nhiễm.
◆Độ chính xác ở cấp độ micromet
Công nghệ laser tiên tiến và các thuật toán xử lý tín hiệu mang lại độ chính xác và độ phân giải đo lường ở mức micromet, đáp ứng các yêu cầu về độ chính xác cực cao của quy trình chế tạo tấm bán dẫn.
◆Phản hồi cực nhanh (<10ms)
Cho phép giám sát thời gian thực các biến động sản xuất năng động, giúp phát hiện và khắc phục sai lệch ngay lập tức để nâng cao hiệu quả sản xuất.
◆Khả năng tương thích vật liệu vượt trội
Có khả năng đo lường nhiều loại vật liệu và bề mặt khác nhau với khả năng thích ứng môi trường mạnh mẽ, phù hợp với nhiều giai đoạn trong quy trình sản xuất bán dẫn.
◆Thiết kế công nghiệp nhỏ gọn
Thiết kế nhỏ gọn giúp dễ dàng tích hợp vào các thiết bị tự động và hệ thống điều khiển, cho phép giám sát quy trình thông minh và điều chỉnh vòng kín.
Các kịch bản ứng dụng củaCảm biến dịch chuyển laser dòng PDEtrong quá trình xử lý tấm bán dẫn
Cảm biến LanbaoCảm biến dịch chuyển laser dòng PDECác ứng dụng quan trọng trong sản xuất tấm bán dẫn
Với hiệu năng vượt trội, cảm biến dịch chuyển laser Lansensor PDE đóng vai trò thiết yếu trong nhiều quy trình chế tạo tấm bán dẫn:
◆Căn chỉnh và định vị tấm bán dẫn
Đối với các quy trình quang khắc và liên kết đòi hỏi độ chính xác ở mức micromet, các cảm biến của chúng tôi đo chính xác vị trí và góc nghiêng của tấm wafer để đảm bảo sự căn chỉnh hoàn hảo giữa mặt nạ và wafer cũng như định vị cánh tay liên kết - từ đó nâng cao độ chính xác của quá trình truyền mẫu.
◆Đo lường độ dày tấm bán dẫn
Cho phép đo độ dày không tiếp xúc với khả năng giám sát thời gian thực trong quá trình lắng đọng, đảm bảo kiểm soát chất lượng màng mỏng tối ưu.
◆Kiểm tra độ phẳng của tấm bán dẫn
Phát hiện hiện tượng cong vênh và biến dạng bề mặt của tấm wafer với độ phân giải dưới micromet để ngăn chặn các tấm wafer bị lỗi tiếp tục đến các công đoạn tiếp theo.
◆Giám sát độ dày màng mỏng
Cung cấp khả năng theo dõi độ dày lớp lắng đọng theo thời gian thực trong quá trình CVD/PVD để duy trì các thông số kỹ thuật hiệu suất điện nghiêm ngặt.
◆Phát hiện khuyết tật bề mặt
Xác định các bất thường trên bề mặt ở kích thước micromet (vết xước, hạt bụi) thông qua lập bản đồ dịch chuyển độ phân giải cao, giúp cải thiện đáng kể tỷ lệ phát hiện khuyết tật.
◆Giám sát tình trạng thiết bị
Theo dõi sự dịch chuyển của các bộ phận quan trọng (cánh tay robot, chuyển động của bệ đỡ) và độ rung của máy móc để bảo trì dự đoán và tối ưu hóa độ ổn định.
Dòng cảm biến PDE của Lanbao không chỉ lấp đầy những khoảng trống công nghệ quan trọng trong thị trường cảm biến công nghiệp cao cấp của Trung Quốc mà còn thiết lập các chuẩn mực toàn cầu mới với hiệu suất vượt trội. Cho dù là tăng năng suất, giảm chi phí sản xuất hay đẩy nhanh quá trình phát triển công nghệ thế hệ tiếp theo, dòng PDE luôn là vũ khí tối thượng giúp bạn chinh phục những thách thức trong sản xuất chất bán dẫn chính xác!
Thời gian đăng bài: 08/05/2025