Sản xuất chất bán dẫn là một trong những lĩnh vực đòi hỏi độ chính xác cao nhất và phức tạp nhất về mặt công nghệ trong ngành công nghiệp công nghệ cao ngày nay. Khi các quy trình chip tiến tới 3nm và thậm chí là các nút nhỏ hơn, độ chính xác của các phép đo về độ dày wafer, độ phẳng bề mặt và kích thước vi cấu trúc sẽ quyết định trực tiếp đến năng suất và hiệu suất của chip. Trong bối cảnh này, các cảm biến dịch chuyển laser, với hoạt động không tiếp xúc, độ chính xác vượt trội, thời gian phản hồi nhanh hơn và độ ổn định được cải thiện, đã trở thành "mắt đo" không thể thiếu trong suốt quá trình sản xuất chất bán dẫn.
Là chất nền cốt lõi của quá trình chế tạo thiết bị bán dẫn, wafer đòi hỏi độ chính xác và độ tin cậy cực cao trong quá trình sản xuất. Trong số nhiều giai đoạn quan trọng của quá trình sản xuất wafer, phép đo độ dịch chuyển chính xác là tối quan trọng—nó tác động trực tiếp đến hiệu suất và năng suất của chip cuối cùng. Là một công ty tiên phong trong lĩnh vực cảm biến công nghiệp của Trung Quốc, cảm biến dịch chuyển laser dòng PDE của Lansensor, có độ phân giải cấp micron, thuật toán thông minh và độ tin cậy cấp công nghiệp, đã nổi lên như một giải pháp được ưa chuộng cho các quy trình sản xuất wafer.
Những thách thức về độ chính xác trong sản xuất wafer và những lợi thế của cảm biến dịch chuyển laser
Sản xuất wafer bao gồm một loạt các quy trình phức tạp như quang khắc, khắc, lắng đọng màng mỏng và liên kết—mỗi quy trình đều đòi hỏi độ chính xác nghiêm ngặt ở cấp độ micromet hoặc thậm chí nanomet. Ví dụ:
-
Trong quang khắc, sự căn chỉnh chính xác giữa mặt nạ quang học và tấm wafer rất quan trọng để đảm bảo chuyển mẫu chính xác lên bề mặt tấm wafer.
-
Trong quá trình lắng đọng màng mỏng, việc kiểm soát chính xác độ dày của màng là điều cần thiết để đảm bảo hiệu suất điện của thiết bị.
Ngay cả sai lệch nhỏ nhất cũng có thể dẫn đến sản phẩm lỗi hoặc thậm chí khiến toàn bộ lô wafer không sử dụng được.
Các phương pháp đo cơ học truyền thống thường không đáp ứng được các yêu cầu về độ chính xác cao như vậy. Hơn nữa, chúng có nguy cơ làm hỏng hoặc làm bẩn bề mặt wafer mỏng manh, trong khi tốc độ phản hồi chậm khiến chúng không đáp ứng được các yêu cầu đo lường tiên tiến.
Lanbaocảm biếnCảm biến dịch chuyển laser dòng PDE: Giải pháp tối ưu cho ứng dụng wafer
◆Đo Laser Không Tiếp Xúc
Sử dụng chùm tia laser chiếu vào bề mặt mục tiêu, phân tích các tín hiệu phản xạ/tán xạ để thu được dữ liệu dịch chuyển - loại bỏ tiếp xúc vật lý với các tấm bán dẫn để ngăn ngừa hư hỏng cơ học và nguy cơ nhiễm bẩn.
◆Độ chính xác cấp độ micron
Công nghệ laser tiên tiến và thuật toán xử lý tín hiệu mang lại độ chính xác và độ phân giải đo lường ở cấp độ micrômet, đáp ứng nhu cầu cực kỳ chính xác của quy trình chế tạo tấm wafer.
◆Phản hồi cực nhanh (<10ms)
Cho phép theo dõi thời gian thực các biến động sản xuất, phát hiện và điều chỉnh độ lệch ngay lập tức để nâng cao hiệu quả sản xuất.
◆Khả năng tương thích vật liệu đặc biệt
Có khả năng đo nhiều loại vật liệu và bề mặt khác nhau với khả năng thích ứng mạnh mẽ với môi trường, phù hợp với nhiều giai đoạn quy trình bán dẫn.
◆Thiết kế công nghiệp nhỏ gọn
Kiểu dáng nhỏ gọn giúp tích hợp liền mạch vào các thiết bị tự động và hệ thống điều khiển, cho phép giám sát quy trình thông minh và điều chỉnh vòng kín.
Các kịch bản ứng dụng củaCảm biến dịch chuyển laser dòng PDEtrong chế biến wafer
Cảm biến LanbaoCảm biến dịch chuyển laser dòng PDE: Ứng dụng quan trọng trong sản xuất wafer
Với hiệu suất vượt trội, cảm biến dịch chuyển laser Lansensor PDE đóng vai trò quan trọng trong nhiều quy trình chế tạo wafer:
◆Căn chỉnh và định vị wafer
Đối với các quy trình quang khắc và liên kết đòi hỏi độ chính xác ở cấp độ micron, các cảm biến của chúng tôi sẽ đo chính xác vị trí của tấm wafer và góc nghiêng để đảm bảo căn chỉnh hoàn hảo giữa mặt nạ và tấm wafer và định vị cánh tay liên kết - nâng cao độ chính xác của quá trình truyền mẫu.
◆Đo lường độ dày của wafer
Cho phép đo độ dày không tiếp xúc với chức năng giám sát thời gian thực trong quá trình lắng đọng, đảm bảo kiểm soát chất lượng màng mỏng tối ưu.
◆Kiểm tra độ phẳng của wafer
Phát hiện độ cong vênh của tấm wafer và biến dạng bề mặt với độ phân giải dưới micron để ngăn chặn các tấm wafer bị lỗi di chuyển về phía hạ lưu.
◆Giám sát độ dày màng mỏng
Cung cấp khả năng theo dõi độ dày lắng đọng theo thời gian thực trong quá trình CVD/PVD để duy trì các thông số kỹ thuật về hiệu suất điện nghiêm ngặt.
◆Phát hiện khuyết tật bề mặt
Xác định các bất thường bề mặt ở quy mô micron (vết xước, hạt) thông qua việc lập bản đồ dịch chuyển có độ phân giải cao, cải thiện đáng kể tỷ lệ phát hiện khuyết tật.
◆Giám sát tình trạng thiết bị
Theo dõi chuyển dịch của các thành phần quan trọng (cánh tay robot, chuyển động của sân khấu) và độ rung của máy để bảo trì dự đoán và tối ưu hóa độ ổn định.
Dòng PDE của cảm biến Lanbao không chỉ thu hẹp khoảng cách công nghệ quan trọng trong thị trường cảm biến công nghiệp cao cấp của Trung Quốc mà còn thiết lập chuẩn mực toàn cầu mới với hiệu suất vượt trội. Cho dù là tăng tỷ lệ năng suất, giảm chi phí sản xuất hay đẩy nhanh quá trình phát triển thế hệ tiếp theo, dòng PDE vẫn là vũ khí tối thượng của bạn để chinh phục những thách thức trong sản xuất chất bán dẫn chính xác!
Thời gian đăng: 08-05-2025