Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish bugungi yuqori texnologiyali sanoatda eng aniqlikni talab qiladigan va texnologik jihatdan murakkab sohalardan biri hisoblanadi. Chip jarayonlari 3 nm va undan ham kichikroq tugunlarga qarab rivojlanib borgan sari, plastinka qalinligi, sirt tekisligi va mikrotuzilma o'lchamlari bo'yicha o'lchovlarning aniqligi chipning chiqishi va ishlashini bevosita belgilaydi. Shu nuqtai nazardan, kontaktsiz ishlashi, yuqori aniqligi, tezroq javob berish vaqti va yaxshilangan barqarorligi bilan lazer siljish sensorlari yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish jarayonida ajralmas "o'lchov ko'zlari"ga aylandi.
Yarimo'tkazgichli qurilmalar ishlab chiqarishning asosiy substrati sifatida plastinkalar ishlab chiqarish jarayonida o'ta aniqlik va ishonchlilikni talab qiladi. Plitalar ishlab chiqarishning ko'plab muhim bosqichlari orasida aniq siljishni o'lchash juda muhim - bu oxirgi chipning ishlashi va samaradorligiga bevosita ta'sir qiladi. Xitoyning sanoat sensorlar sektorida innovatsion yetakchi sifatida, Lansensorning mikron darajasidagi aniqlik, aqlli algoritmlar va sanoat darajasidagi ishonchlilikka ega PDE seriyali lazer siljishi sensorlari plastinka ishlab chiqarish jarayonlari uchun afzal ko'rilgan yechim sifatida paydo bo'ldi.
Plitalar ishlab chiqarishda aniqlik muammolari va lazerli siljish sensorlarining afzalliklari
Plitalar ishlab chiqarish fotolitografiya, o'yib ishlov berish, yupqa plyonkali cho'ktirish va bog'lash kabi bir qator murakkab jarayonlarni o'z ichiga oladi - ularning har biri mikrometr yoki hatto nanometr darajasida qat'iy aniqlikni talab qiladi. Masalan:
-
Fotolitografiyada, naqshning plastinka yuzasiga aniq o'tishini ta'minlash uchun fotoniqob va plastinka o'rtasidagi aniq hizalanish juda muhimdir.
-
Yupqa plyonkali cho'ktirish paytida, qurilmalarning elektr ishlashini kafolatlash uchun plyonka qalinligini aniq nazorat qilish juda muhimdir.
Hatto eng kichik og'ish ham mahsulotdagi nuqsonlarga olib kelishi yoki hatto gofretlarning butun partiyasini yaroqsiz holga keltirishi mumkin.
An'anaviy mexanik o'lchash usullari ko'pincha bunday yuqori aniqlikdagi talablarni qondirishda kamchilikka ega. Bundan tashqari, ular mo'rt plastinka yuzasiga zarar yetkazish yoki uni ifloslantirish xavfini tug'diradi, shu bilan birga ularning sekin javob berish tezligi ularni zamonaviy metrologiya talablariga javob bermaydi.
LanbaosensorPDE seriyali lazerli siljish sensorlariGofret ilovalari uchun optimal yechim
◆Kontaktsiz lazer o'lchovi
Nishon yuzalarga lazer nurlarining proektsiyasidan foydalanadi, siljish ma'lumotlarini olish uchun aks etgan/tarqoq signallarni tahlil qiladi - mexanik shikastlanish va ifloslanish xavfini oldini olish uchun plastinkalar bilan jismoniy aloqani yo'q qiladi.
◆Mikron darajasidagi aniqlik
Ilg'or lazer texnologiyasi va signalni qayta ishlash algoritmlari mikrometr o'lchov aniqligi va piksellar sonini ta'minlaydi, plastinka ishlab chiqarish jarayonlarining o'ta aniqlik talablariga javob beradi.
◆Ultra tezkor javob (<10ms)
Ishlab chiqarish samaradorligini oshirish uchun dinamik ishlab chiqarish o'zgarishlarini real vaqt rejimida kuzatish imkonini beradi, bu esa og'ishlarni darhol aniqlash va tuzatish imkonini beradi.
◆Istisno materiallar mosligi
Turli materiallar va sirt turlarini kuchli atrof-muhitga moslashuvchanligi bilan o'lchashga qodir, bir nechta yarimo'tkazgichli jarayon bosqichlari uchun mos keladi.
◆Yilni sanoat dizayni
Yilni shakl omili avtomatlashtirilgan uskunalar va boshqaruv tizimlariga uzluksiz integratsiyani osonlashtiradi, bu esa aqlli jarayonlarni kuzatish va yopiq tsiklli sozlash imkonini beradi.
Qo'llash stsenariylariPDE seriyali lazerli siljish sensorlariGofretni qayta ishlashda
Lanbao sensoriPDE seriyali lazerli siljish sensorlariGofret ishlab chiqarishda muhim qo'llanmalar
Ajoyib ishlashi bilan Lansensor PDE lazerli joy almashtirish sensorlari bir nechta plastinka ishlab chiqarish jarayonlarida muhim rol o'ynaydi:
◆Gofretni tekislash va joylashtirish
Mikron darajasidagi aniqlikni talab qiladigan fotolitografiya va bog'lash jarayonlari uchun bizning sensorlarimiz niqobdan plastinkaga mukammal moslashishni va bog'lash qo'lining joylashishini ta'minlash uchun plastinka holatini va egilish burchaklarini aniq o'lchaydi - bu naqsh uzatish aniqligini oshiradi.
◆Gofret qalinligi metrologiyasi
Cho'ktirish jarayonlari davomida real vaqt rejimida monitoring qilish orqali kontaktsiz qalinlikni o'lchashni ta'minlash, yupqa plyonka sifatini optimal nazorat qilishni ta'minlash.
◆Gofretning tekisligini tekshirish
Nosoz plastinkalarning oqim bo'ylab harakatlanishining oldini olish uchun submikronli aniqlik bilan plastinkaning egriligini va sirt deformatsiyasini aniqlash.
◆Yupqa plyonka qalinligini monitoring qilish
Qattiq elektr ishlash xususiyatlarini saqlab qolish uchun CVD/PVD jarayonlari davomida real vaqt rejimida cho'kma qalinligini kuzatishni ta'minlash.
◆Sirt nuqsonlarini aniqlash
Yuqori aniqlikdagi siljish xaritasi orqali mikron masshtabli sirt anomaliyalarini (tirnalishlar, zarrachalar) aniqlash, nuqsonlarni aniqlash tezligini sezilarli darajada yaxshilash.
◆Uskunalar holatini monitoring qilish
Bashoratli texnik xizmat ko'rsatish va barqarorlikni optimallashtirish uchun muhim komponentlarning siljishlarini (robot qo'llari, sahna harakatlari) va mashina tebranishlarini kuzatish.
Lanbao sensorining PDE seriyasi nafaqat Xitoyning yuqori darajadagi sanoat sensorlari bozoridagi muhim texnologik bo'shliqlarni bartaraf etadi, balki o'zining ajoyib ishlashi bilan yangi global mezonlarni o'rnatadi. Hosildorlik darajasini oshirish, ishlab chiqarish xarajatlarini kamaytirish yoki keyingi avlod jarayonlarini rivojlantirishni tezlashtirishdan qat'i nazar, PDE seriyasi aniq yarimo'tkazgich ishlab chiqarishdagi qiyinchiliklarni yengish uchun eng yaxshi qurolingiz bo'lib xizmat qiladi!
Joylashtirilgan vaqt: 2025-yil 8-may