Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish zamonaviy yuqori texnologiyali sanoatda eng aniq talab va texnologik jihatdan murakkab sohalardan biri hisoblanadi. Chip jarayonlari 3nm va undan ham kichikroq tugunlar tomon siljiganligi sababli, gofret qalinligi, sirt tekisligi va mikroyapı o'lchamlari uchun o'lchovlarning aniqligi chipning rentabelligi va ishlashini bevosita aniqlaydi. Shu nuqtai nazardan, lazerni almashtirish sensorlari kontaktsiz ishlashi, yuqori aniqligi, tezroq javob berish vaqtlari va mustahkamlangan barqarorligi bilan yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish jarayonida ajralmas "o'lchov ko'zlari" ga aylandi.
Yarimo'tkazgichli qurilmalarni ishlab chiqarishning asosiy substrati sifatida gofretlar ishlab chiqarish jarayonida o'ta aniqlik va ishonchlilikni talab qiladi. Gofret ishlab chiqarishning ko'plab muhim bosqichlari orasida joy almashishni aniq o'lchash muhim ahamiyatga ega - bu oxirgi chipning ishlashi va hosildorligiga bevosita ta'sir qiladi. Xitoyning sanoat zondlash sektorida innovatsion yetakchi sifatida Lansensorning mikron darajasidagi ruxsati, aqlli algoritmlari va sanoat darajasidagi ishonchliligi bilan ajralib turadigan PDE seriyali lazerli siljish sensorlari gofret ishlab chiqarish jarayonlari uchun afzal qilingan yechim sifatida paydo bo'ldi.
Gofret ishlab chiqarishdagi aniq qiyinchiliklar va lazerli joy almashish sensorlarining afzalliklari
Gofret ishlab chiqarish bir qator murakkab jarayonlarni o'z ichiga oladi, masalan, fotolitografiya, etching, yupqa plyonkali qatlam va yopishtirish - ularning har biri mikrometr yoki hatto nanometr darajasida qat'iy aniqlikni talab qiladi. Masalan:
-
Fotolitografiyada fotomaska va gofret o'rtasidagi aniq hizalanish gofret yuzasiga naqshning aniq o'tkazilishini ta'minlash uchun juda muhimdir.
-
Yupqa plyonkali cho'kma paytida asboblarning elektr ishlashini kafolatlash uchun plyonka qalinligini aniq nazorat qilish kerak.
Hatto eng kichik og'ish mahsulotdagi nuqsonlarga olib kelishi yoki hatto gofretlarning butun partiyasini yaroqsiz holga keltirishi mumkin.
An'anaviy mexanik o'lchash usullari ko'pincha bunday yuqori aniqlik talablarini qondirish uchun etarli emas. Bundan tashqari, ular mo'rt gofret yuzasiga zarar etkazish yoki ifloslanish xavfini tug'diradi, shu bilan birga ularning sekin javob tezligi ularni zamonaviy metrologiya talablariga mos kelmaydi.
LanbaosensorPDE seriyali lazerli joy almashish sensorlari: Gofretli ilovalar uchun optimal yechim
◆Kontaktsiz lazer o'lchash
Maqsadli sirtlarga lazer nurlarining proektsiyasidan foydalanadi, ko'chish ma'lumotlarini olish uchun aks ettirilgan/tarqalgan signallarni tahlil qiladi - mexanik shikastlanish va ifloslanish xavfini oldini olish uchun gofretlar bilan jismoniy aloqani yo'q qiladi.
◆Mikron darajasidagi aniqlik
Ilg'or lazer texnologiyasi va signalni qayta ishlash algoritmlari mikrometr shkalasidagi o'lchov aniqligi va ruxsatini ta'minlaydi, gofret ishlab chiqarish jarayonlarining o'ta aniqlik talablariga javob beradi.
◆Ultra tezkor javob (<10ms)
Ishlab chiqarish samaradorligini oshirish uchun og'ishlarni darhol aniqlash va tuzatish imkonini beruvchi dinamik ishlab chiqarish o'zgarishlarini real vaqt rejimida kuzatish imkonini beradi.
◆Materiallarning ajoyib muvofiqligi
Ko'p yarimo'tkazgichli jarayon bosqichlari uchun mos bo'lgan kuchli atrof-muhitga moslashuvchanligi bilan har xil materiallar va sirt turlarini o'lchashga qodir.
◆Yilni sanoat dizayni
Yilni shakl omili avtomatlashtirilgan uskunalar va boshqaruv tizimlariga uzluksiz integratsiyani osonlashtiradi, bu jarayonni aqlli monitoring qilish va yopiq tsiklni sozlash imkonini beradi.
Qo'llash stsenariylariPDE seriyali lazerli joy almashish sensorlariGofretni qayta ishlashda
Lanbao sensoriPDE seriyali lazerli joy almashish sensorlari: Gofret ishlab chiqarishda muhim ilovalar
Ajoyib ishlashi bilan Lansensor PDE lazerli siljish sensorlari bir nechta gofret ishlab chiqarish jarayonlarida muhim rol o'ynaydi:
◆Gofretni tekislash va joylashtirish
Mikron darajasidagi aniqlikni talab qiluvchi fotolitografiya va bog‘lash jarayonlari uchun datchiklarimiz niqobni gofretga mukammal moslashtirish va bog‘lovchi qo‘l joylashishini ta’minlash uchun gofret o‘rnini va egilish burchaklarini aniq o‘lchaydi – naqsh uzatish aniqligini oshiradi.
◆Gofret qalinligi metrologiyasi
Cho'kma jarayonlari davomida real vaqt monitoringi bilan kontaktsiz qalinlikni o'lchashni yoqish, optimal yupqa plyonka sifatini nazorat qilishni ta'minlash.
◆Gofret tekisligini tekshirish
Nosoz gofretlarning quyi oqimga o'tishiga yo'l qo'ymaslik uchun pastki mikron o'lchamlari bilan gofretning emirilishi va sirt deformatsiyasini aniqlash.
◆Yupqa qatlam qalinligi monitoringi
Qattiq elektr ishlash spetsifikatsiyalarini saqlab qolish uchun CVD/PVD jarayonlarida real vaqt rejimida cho'kma qalinligini kuzatishni ta'minlash.
◆Yuzaki nuqsonlarni aniqlash
Mikron miqyosdagi sirt anomaliyalarini (chizishlar, zarralar) yuqori aniqlikdagi joy almashish xaritalash orqali aniqlash, nuqsonlarni aniqlash tezligini sezilarli darajada yaxshilash.
◆Uskunaning holatini kuzatish
Prognozli texnik xizmat ko'rsatish va barqarorlikni optimallashtirish uchun muhim komponentlarning joy almashishlarini (robot qo'llari, sahna harakatlari) va mashina tebranishlarini kuzatish.
Lanbao sensorining PDE seriyasi nafaqat Xitoyning yuqori darajadagi sanoat sensorlar bozoridagi muhim texnologik bo'shliqlarni bartaraf qiladi, balki o'zining ajoyib ishlashi bilan yangi global mezonlarni ham o'rnatadi. Hosildorlikni oshirish, ishlab chiqarish xarajatlarini kamaytirish yoki keyingi avlod jarayonlarini rivojlantirishni tezlashtirishdan qat'i nazar, PDE seriyasi nozik yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish qiyinchiliklarini engish uchun sizning yakuniy qurolingiz bo'ladi!
Xabar vaqti: 2025 yil 08-may