Yarı iletken üretimi, günümüzün yüksek teknoloji endüstrisinde en hassas ve teknolojik olarak karmaşık alanlardan biri olarak karşımıza çıkmaktadır. Yonga süreçleri 3nm'ye ve hatta daha küçük düğümlere doğru ilerledikçe, yonga kalınlığı, yüzey düzlüğü ve mikro yapı boyutları için ölçümlerin doğruluğu yonga verimini ve performansını doğrudan belirlemektedir. Bu bağlamda, temassız çalışması, üstün hassasiyeti, daha hızlı tepki süreleri ve gelişmiş kararlılığı ile lazer yer değiştirme sensörleri, yarı iletken üretim süreci boyunca vazgeçilmez "ölçüm gözleri" haline gelmiştir.
Yarı iletken cihaz imalatının temel alt tabakası olarak, wafer'lar üretim sırasında aşırı hassasiyet ve güvenilirlik gerektirir. Wafer imalatının birçok kritik aşaması arasında, doğru yer değiştirme ölçümü en önemli unsurdur; bu, son çipin performansını ve verimini doğrudan etkiler. Çin'in endüstriyel algılama sektöründe bir yenilik lideri olarak, mikron düzeyinde çözünürlük, akıllı algoritmalar ve endüstriyel düzeyde güvenilirlik sunan Lansensor'un PDE serisi lazer yer değiştirme sensörleri, wafer imalat süreçleri için tercih edilen çözüm olarak ortaya çıkmıştır.
Wafer Üretiminde Hassasiyet Zorlukları ve Lazer Deplasman Sensörlerinin Avantajları
Wafer üretimi, fotolitografi, aşındırma, ince film biriktirme ve bağlama gibi bir dizi karmaşık süreci içerir; her biri mikrometre veya hatta nanometre seviyesinde sıkı bir hassasiyet gerektirir. Örneğin:
-
Fotolitografide, fotomaske ile yonga arasında hassas hizalama, yonga yüzeyine doğru desen aktarımının sağlanması açısından kritik öneme sahiptir.
-
İnce film biriktirme sırasında, cihazların elektriksel performansını garanti altına almak için film kalınlığının tam olarak kontrol edilmesi esastır.
En ufak bir sapma bile üründe arızalara yol açabilir veya tüm gofret partisinin kullanılamaz hale gelmesine neden olabilir.
Geleneksel mekanik ölçüm yöntemleri genellikle bu tür yüksek hassasiyetli talepleri karşılamada yetersiz kalır. Dahası, kırılgan gofret yüzeyini hasara uğratma veya kirletme riski taşırken, yavaş tepki hızları onları son teknoloji metroloji gereksinimleri için yetersiz kılar.
LanbaosensörPDE Serisi Lazer Deplasman Sensörleri: Wafer Uygulamaları için En İyi Çözüm
◆Temassız Lazer Ölçümü
Hedef yüzeylere lazer ışın projeksiyonu uygulanarak yansıyan/saçılan sinyaller analiz edilerek yer değiştirme verileri elde edilir - mekanik hasar ve kontaminasyon risklerini önlemek için plakalarla fiziksel temas ortadan kaldırılır.
◆Mikron düzeyinde hassasiyet
Gelişmiş lazer teknolojisi ve sinyal işleme algoritmaları, mikron ölçeğinde ölçüm doğruluğu ve çözünürlüğü sunarak, yonga üretim süreçlerinin aşırı hassasiyet gereksinimlerini karşılar.
◆Ultra Hızlı Tepki (<10ms)
Dinamik üretim değişikliklerinin gerçek zamanlı izlenmesini sağlayarak, üretim verimliliğini artırmak için anında sapma tespiti ve düzeltme olanağı sağlar.
◆Olağanüstü Malzeme Uyumluluğu
Çeşitli malzeme ve yüzey tiplerini ölçme yeteneğine sahip, güçlü çevresel adaptasyona sahip, çoklu yarı iletken proses aşamaları için uygundur.
◆Kompakt Endüstriyel Tasarım
Kompakt form faktörü, otomatik ekipman ve kontrol sistemlerine kusursuz entegrasyonu kolaylaştırır, akıllı proses izleme ve kapalı devre ayarlama olanağı sağlar.
Uygulama SenaryolarıPDE Serisi Lazer Deplasman SensörleriWafer İşlemede
Lanbao sensörüPDE Serisi Lazer Deplasman Sensörleri: Wafer Üretiminde Kritik Uygulamalar
Olağanüstü performansıyla Lansensor PDE lazer yer değiştirme sensörleri, çok sayıda gofret üretim sürecinde hayati roller oynar:
◆Wafer Hizalama ve Konumlandırma
Mikron düzeyinde doğruluk gerektiren fotolitografi ve yapıştırma işlemleri için sensörlerimiz, mükemmel maske-gofret hizalaması ve yapıştırma kolu konumlandırmasını sağlamak için gofret konumunu ve eğim açılarını hassas bir şekilde ölçerek desen aktarım hassasiyetini artırır.
◆Wafer Kalınlığı Ölçümü
Biriktirme işlemleri sırasında gerçek zamanlı izleme ile temassız kalınlık ölçümü sağlanarak, optimum ince film kalite kontrolü sağlanır.
◆Wafer Düzlük Denetimi
Arızalı gofretlerin aşağı akışa ilerlemesini önlemek için, gofret eğriliğini ve yüzey deformasyonunu alt mikron çözünürlükle tespit etmek.
◆İnce Film Kalınlığı İzleme
CVD/PVD prosesleri sırasında sıkı elektriksel performans spesifikasyonlarını korumak için gerçek zamanlı biriktirme kalınlığı takibi sağlamak.
◆Yüzey Kusur Tespiti
Yüksek çözünürlüklü yer değiştirme haritalaması ile mikron ölçekli yüzey anomalilerinin (çizikler, partiküller) belirlenmesi, hata tespit oranlarının önemli ölçüde iyileştirilmesi.
◆Ekipman Durum İzleme
Öngörücü bakım ve stabilite optimizasyonu için kritik bileşen yer değiştirmelerinin (robot kolları, sahne hareketleri) ve makine titreşimlerinin izlenmesi.
Lanbao sensörünün PDE serisi, Çin'in üst düzey endüstriyel sensör pazarındaki kritik teknoloji boşluklarını kapatmakla kalmıyor, aynı zamanda olağanüstü performansıyla yeni küresel ölçütler oluşturuyor. İster verim oranlarını artırın, ister üretim maliyetlerini azaltın veya yeni nesil süreç geliştirmeyi hızlandırın, PDE serisi hassas yarı iletken üretim zorluklarının üstesinden gelmek için nihai silahınız olarak duruyor!
Gönderi zamanı: May-08-2025