Yarı iletken üretimi, günümüzün yüksek teknoloji endüstrisindeki en hassas ve teknolojik olarak karmaşık alanlardan biridir. Çip süreçleri 3 nm ve hatta daha küçük düğümlere doğru ilerledikçe, gofret kalınlığı, yüzey düzlüğü ve mikro yapı boyutları için ölçümlerin doğruluğu, çip verimliliğini ve performansını doğrudan belirler. Bu bağlamda, temassız çalışma, üstün hassasiyet, daha hızlı tepki süreleri ve artırılmış kararlılık özellikleriyle lazer yer değiştirme sensörleri, yarı iletken üretim sürecinin tamamında vazgeçilmez "ölçüm gözleri" haline gelmiştir.
Yarı iletken cihaz üretiminin temel alt tabakası olan wafer'lar, üretim sırasında son derece hassas ve güvenilir olmalıdır. Wafer üretiminin birçok kritik aşaması arasında, doğru yer değiştirme ölçümü çok önemlidir; çünkü bu, nihai çipin performansını ve verimliliğini doğrudan etkiler. Çin'in endüstriyel algılama sektöründe bir inovasyon lideri olan Lansensor'un mikron seviyesinde çözünürlük, akıllı algoritmalar ve endüstriyel sınıf güvenilirlik özelliklerine sahip PDE serisi lazer yer değiştirme sensörleri, wafer üretim süreçleri için tercih edilen çözüm haline gelmiştir.
Yarı İletken Levha Üretiminde Hassasiyet Zorlukları ve Lazer Yer Değiştirme Sensörlerinin Avantajları
Yarı iletken levha üretimi, fotolitografi, aşındırma, ince film biriktirme ve yapıştırma gibi bir dizi karmaşık işlemden oluşur ve bunların her biri mikrometre hatta nanometre düzeyinde son derece hassaslık gerektirir. Örneğin:
-
Fotolitografide, desenin gofret yüzeyine doğru şekilde aktarılmasını sağlamak için fotomask ile gofret arasında hassas hizalama kritik öneme sahiptir.
-
İnce film kaplama işlemi sırasında, cihazların elektriksel performansını garanti altına almak için film kalınlığının hassas bir şekilde kontrol edilmesi şarttır.
En ufak bir sapma bile ürün kusurlarına yol açabilir, hatta tüm bir parti yonga levhasının kullanılamaz hale gelmesine neden olabilir.
Geleneksel mekanik ölçüm yöntemleri, bu tür yüksek hassasiyet gereksinimlerini karşılamakta genellikle yetersiz kalmaktadır. Dahası, kırılgan gofret yüzeyine zarar verme veya kirletme riski taşırlar ve yavaş tepki hızları, onları en son metroloji gereksinimleri için yetersiz kılmaktadır.
LanbaosensörPDE Serisi Lazer Yer Değiştirme SensörleriYonga Levha Uygulamaları için En Uygun Çözüm
◆Temassız Lazer Ölçümü
Hedef yüzeylere lazer ışını yansıtarak, yansıyan/saçılan sinyalleri analiz eder ve yer değiştirme verilerini elde eder; böylece mekanik hasar ve kirlenme risklerini önlemek için yonga levhalarıyla fiziksel teması ortadan kaldırır.
◆Mikron Seviyesinde Hassasiyet
Gelişmiş lazer teknolojisi ve sinyal işleme algoritmaları, mikrometre ölçeğinde ölçüm doğruluğu ve çözünürlüğü sağlayarak, yarı iletken levha üretim süreçlerinin son derece hassas gereksinimlerini karşılamaktadır.
◆Ultra hızlı yanıt (<10ms)
Üretimdeki dinamik değişimlerin gerçek zamanlı olarak izlenmesini sağlayarak, sapmaların anında tespit edilmesine ve düzeltilmesine olanak tanır, böylece üretim verimliliğini artırır.
◆Olağanüstü Malzeme Uyumluluğu
Çeşitli malzemeleri ve yüzey tiplerini ölçebilme özelliğine sahip, güçlü çevresel uyum yeteneğiyle, çoklu yarı iletken işlem aşamaları için uygundur.
◆Kompakt Endüstriyel Tasarım
Kompakt yapısı, otomatik ekipman ve kontrol sistemlerine sorunsuz entegrasyonu kolaylaştırarak akıllı süreç izleme ve kapalı döngü ayarlama olanağı sağlar.
Uygulama SenaryolarıPDE Serisi Lazer Yer Değiştirme SensörleriYonga Levha İşlemede
Lanbao sensörüPDE Serisi Lazer Yer Değiştirme SensörleriYonga Levha Üretiminde Kritik Uygulamalar
Üstün performanslarıyla Lansensor PDE lazer yer değiştirme sensörleri, çok sayıda yarı iletken levha üretim sürecinde hayati roller oynamaktadır:
◆Yonga Levha Hizalama ve Konumlandırma
Mikron düzeyinde doğruluk gerektiren fotolitografi ve yapıştırma işlemlerinde, sensörlerimiz, maske-yonga hizalaması ve yapıştırma kolu konumlandırmasının mükemmel olmasını sağlamak için yonga levhasının konumunu ve eğim açılarını hassas bir şekilde ölçer ve böylece desen aktarım hassasiyetini artırır.
◆Yonga Kalınlığı Ölçümü
Kaplama işlemleri sırasında gerçek zamanlı izleme ile temassız kalınlık ölçümünü mümkün kılarak, ince film kalitesinin optimum düzeyde kontrol edilmesini sağlar.
◆Yonga Levhası Düzlük Kontrolü
Üretim sürecinin sonraki aşamalarına kusurlu gofretlerin geçmesini önlemek için gofret eğrilmesini ve yüzey deformasyonunu mikron altı çözünürlükte tespit etme.
◆İnce Film Kalınlığı İzleme
CVD/PVD işlemleri sırasında gerçek zamanlı kaplama kalınlığı takibi sağlayarak, katı elektriksel performans özelliklerinin korunmasını sağlar.
◆Yüzey Kusuru Tespiti
Yüksek çözünürlüklü yer değiştirme haritalaması yoluyla mikron ölçekli yüzey anormalliklerini (çizikler, parçacıklar) belirleyerek kusur tespit oranlarını önemli ölçüde iyileştiriyoruz.
◆Ekipman Durum İzleme
Kritik bileşenlerin yer değiştirmelerini (robot kolları, platform hareketleri) ve makine titreşimlerini izleyerek öngörücü bakım ve denge optimizasyonu sağlamak.
Lanbao sensörlerinin PDE serisi, Çin'in üst düzey endüstriyel sensör pazarındaki kritik teknoloji açıklarını kapatmakla kalmıyor, olağanüstü performansıyla küresel ölçekte yeni standartlar belirliyor. Verimlilik oranlarını artırmak, üretim maliyetlerini düşürmek veya yeni nesil süreç geliştirmeyi hızlandırmak olsun, PDE serisi hassas yarı iletken üretimindeki zorlukların üstesinden gelmek için en üstün silahınızdır!
Yayın tarihi: 08 Mayıs 2025